Inficon Inc. クォーツ モニター クリスタル。6Mhz 合金クリスタル センサー、フラット パック ディスペンサー、10 個/パック。部品番号 750-1002-G10
インフィコン株式会社INFICON 6 MHz クリスタルは、すべての INFICON コントローラーおよびモニターで使用されます。6 MHz クリスタルは、金、銀、または合金電極で提供され、ニーズに応じてさまざまなパッケージで提供されます。
INFICON クリーンルーム水晶振動子パッケージは、水晶をパッケージからセンサーに直接簡単に分配できるため、オペレーターの取り扱いと汚染のリスクを最小限に抑えることができます。水晶パッケージをクリーンルームに適したものにするために、紙とフォームのインサートをなくし、パッケージを積み重ねて簡単に保管できるようにしました。
特徴- 周波数: 6MHz
- 直径: 14 mm (0.550 インチ)
- フロントフルパッド
- ダブルアンカーバック電極パターン
- 金 - 一般的な用途、高熱負荷、低膜応力堆積のプロセスに推奨されます(例:Au、Al、Ag)
- 銀 - 熱負荷が高く、応力の大きいフィルム(SiO2、Si3N4、W、Ta、Cr、Ni、AlN、TiN、ZnO、GaN、Mo、DLCなど)のプロセスに推奨されます。
- 合金 - MgF2、SiO、TiO、HfO2などの光学/誘電体コーティングやその他の高応力アプリケーションの最適化用
ご了承ください:これらの膜の特定の応力特性は、堆積方法 (スパッタリング、化学蒸着、原子層堆積など) と処理条件によって異なります。薄膜応力を制御し理解することは、これらの材料を組み込んだデバイスの信頼性と性能を確保する上で非常に重要です。