Inficon MPG400 ピラニ、冷陰極、反転マグネトロン ゲージ、FPM シール、KF-ISO DN 40、KF40。 PN 351-011。この INFICON ゲージはピラニと冷陰極を組み合わせたゲージ設計で、大気から 7x10-9 Torr までの圧力を測定できます。このゲージは、2 つの別個の測定システム (ピラニ システムと反転マグネトロン原理による冷陰極システム) で構成されています。これらは、ユーザーにとって 1 つの測定システムのように動作するように組み合わされています。 KF-ISO DN 40、KF40 真空フランジ継手を備えており、以下の INFICON 圧力ゲージ コントローラと互換性があります。
INFICON シングル チャネル コントローラ VGC401。
INFICON 2 チャンネル コントローラー VGC402。
INFICON 3 チャンネル コントローラー VGC403。
この UHV 逆マグネトロン ゲージは、適切な INFICON 信号ケーブルと KF-ISO DN 40、KF40 コネクタ フィッティングを備えた INFICON コントローラを備えたほぼすべての真空ポンプまたは真空ポンプ システムで動作できます。完全な取扱説明書は、以下から PDF 形式でダウンロードできます。
INFICON 逆マグネトロン ゲージの再構築と修理も行っています。