Inficon PEG050 ペニングゲージ KF40、10-9 Torr、PN 399-511。 INFICON ペニング ゲージ PEG050 は、信頼性の高い高真空測定を提供します。頑丈なペニング冷陰極センサーにはフィラメントが切れません。チタン陰極プレートとプラズマ点火後の高電圧の低下により、このゲージはスパッタリング用途でも動作できます。完全な使用法と仕様については、ダウンロードの左側にある .pdf を参照してください。
主な特徴:
• 頑丈。
• 空気の流入や振動の影響を受けません。
• 測定システムの分解と洗浄が簡単です。
• 交換可能なカソードプレート。
• 特許取得済みのアノード設計により点火特性が向上しました。
• チタン製カソードプレートにより寿命が長くなります。
• 真空範囲: 0.75 X 10-2 ~ 10-9 Torr。
・真空計コントローラ VGC023 を使用してください。