Leybold TURBOVAC 90i ターボ システム、Conflat CF 4.5 インチ インレット、TURBO.POWER integra、TURBO.CONTROL i、および空冷キット
パッケージ取引。これらの Leybold TURBOVAC 90i ターボ パッケージには、TURBO.CONTROL i リモート ユーザー インターフェイス、TURBO.POWER integra 24 VDC 電源、およびラジアル空冷キットが付属しています。 Leybold TURBO.CONTROL i リモート ユーザー インターフェイスには、TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプの監視と制御を可能にするディスプレイとフロント ソフト キーがあります。これらの i シリーズ ポンプは、完全に機能する内蔵コントローラーを備えており、すぐに使用できます。 TURBO.CONTROL i は、i シリーズ ターボ ポンプの統合コントローラに対して、パラメータの読み取りおよび書き込みとともに開始と停止を発行できます。付属のテーブルトップ ハウジングを使用すると、TURBO.CONTROL i をベンチトップに取り付けることができます。この基本パッケージ取引は、高真空の実験室研究用途に最適です。このパッケージ取引は、多くの個別の部品で構成されるキットとして在庫に保管されており、各部品の入手可能性は以下の「キットのコンポーネント」セクションに示されています。
これらの Leybold TURBOVAC 90i ターボ分子高真空ポンプは、ヘリウムの排気速度が 90 リットル/秒 (l/s) 向上し、Conflat CF 4.5 インチ入口フランジと ISO KF-16 排気フォアライン フランジを備えています。これらの Leybold TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプは、最大 240 ワットで 24 VDC 入力電力を必要とし、統合コントローラを備えています。すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプには、RS485、USB および 3 つのステータス LED を備えたデジタル I/O インターフェイスを備えたコンパクトな標準インターフェイスが含まれており、1 つのアクセサリ (エア クーラー、バルブ、リレー ボックスなど) を制御できます。必要なのは、電源と起動/停止ロジックだけです。この 90i ターボ ポンプの Leybold 部品番号は 810041V1000 です。
ライボルト ターボバック 90i 仕様:- 部品番号: 810041V1000
- インレットフランジ：コンフラットCF 4.5インチ
- 基本圧力: 5 x 10 -10 mbar (3.7 x 10 -10 Torr)
- 動作速度: 72000 RPM
- 操作位置: 任意
- 排気速度: He: 90 l/s
- 冷却: 対流、オプションの強制空気または水
- エキゾーストフランジ：KF-16
- 動作電圧: 24 VDC
- 最大電力: 240 ワット
- RS485、USB、デジタル I/O を備えたコンパクトな標準インターフェイス
- アクセサリポート 1 つ
CF フランジを備えた TURBOVAC 90i ポンプは、到達圧力が 10
-10 Torr の範囲に達する真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属製吸気シール ガスケットが使用され、真空チャンバーが完全にクリーンでベークアウトされている場合)。 ISO-K フランジを備えた Leybold TURBOVAC 90i ターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10
-8 Torr の範囲に制限されます。これらのポンプの吸気フランジは、ターボが水冷されている場合、最大 100 °C まで加熱される可能性があります。
このパッケージ取引には、Leybold TURBO.CONTROL i と TURBO.POWER インテグラの両方が含まれます。 TURBO.CONTROL i は、ベンチトップまたはラックに取り付け可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源であり、RS-485 を介して Leybold TURBOVAC i シリーズ ポンプと通信し、ターボ ポンプの完全な監視と制御を可能にします。 TURBO.CONTROL i は、実験室および研究用途で最も人気のあるオプションです。 TURBO.POWER インテグラはローカル電源専用であり、通常はターボ ポンプの底部に取り付けられます。 Leybold TURBOVAC i シリーズ ポンプは、ポンプの下に TURBO.POWER インテグラ電源が取り付けられており、電子顕微鏡 (SEM、TEM) を含む多くの分析機器アプリケーションに統合される、コンパクトで低コストの高真空排気ソリューションです。集束イオンビームシステム (FIB)。
最大限のパフォーマンスを提供するように設計された Leybold TURBOVAC i シリーズ ターボ分子真空ポンプは、特に軽ガスに対して比類のない速度を提供する最先端のローターとドラッグ ステージ設計を特徴としています。この製品ラインは、インターフェース オプション、ハウジングおよびフランジ構成、アクセサリの幅広い選択肢によって完成します。メンテナンスフリーのボールベアリングを備えた独自のオイルフリーハイブリッドベアリングシステムにより、生産性が向上し、所有コストが削減されます。現在の参考製品よりも最大 60% 高い軽ガスのポンピング速度と、前世代の製品よりも約 100 倍高い圧縮値を備えており、小型の補助ポンプでの動作に特に適しています。利点: 真空システムが大幅に小型化され、初期コストと運用コストが削減され、設置面積がよりコンパクトになります。
パフォーマンス：- 業界トップクラスの軽質ガス排気速度（従来品比最大60％向上）
- 最適化されたローター直径により、最大のポンプ性能を実現
柔軟性:- 真空ポート設計の柔軟性
- 回転可能な前真空ポート
- オンボードターボコントローラー
- 起動/停止ロジックとともに電力のみが必要です
- オプションの TURBO.CONTROL i リモート ユーザー インターフェイス
- オプションのTURBO.POWERインテグラを備えたコンパクト設計
設置、操作、制御:- 統合された 24 VDC ドライブ電子機器により、高価なケーブル配線を回避
- 最も幅広い通信インターフェイス: USB、RS485、リモート 15 ピン デジタル I/O を標準オプションとして装備
- 高効率モーター
- ベアリングの冷却を最適化し、ポンプの寿命を向上させるための設計による熱絶縁
- 革新的なシャフトサポートシステムが振動を軽減
- メンテナンスフリーの上部受動磁気軸受
- オイルフリー、生涯潤滑、下部メカニカルセラミックボールベアリングは現場交換可能
Leybold TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプはプラグ アンド プレイです。これらは、柔軟な製品設計、統合された電子機器、および幅広い通信インターフェイスのおかげで、設置、操作、制御がシンプルで簡単です。これらは、革新的なポンプ設計と、現在市場で入手可能なメンテナンスフリーのボールベアリングを備えた独自のオイルフリーハイブリッドベアリングコンセプトにより、優れた信頼性を提供します。革新的なシャフトサポートシステムは、振動、騒音、機械的ストレスを軽減し、振動に敏感なアプリケーションに対する潜在的な悪影響を軽減します。ベアリングの最適な冷却は、熱絶縁と高効率モーターによって確保されます。ポンプには、重要なガスや粒子からベアリングを保護するパージポートも装備されています。その結果、ポンプの稼働時間と寿命、そして生産性が大幅に向上します。低い所有コストと組み合わせることで、真空システムはこれまで以上に効率的になります。
一般的なターボ ポンプの用途には次のようなものがあります。- 一般的なクリーンポンプ用途
- 走査型電子顕微鏡 - SEM
- ビームラインと高エネルギー物理学
- 質量分析法
- 電子顕微鏡法
- サンプルの準備
- 研究開発
- 高エネルギー物理学
- 産業用
- 半導体
- コーティング
- 表面科学機器
取扱説明書と Leybold i-series TURBOVAC 製品パンフレットをダウンロードしてご利用いただけます。
