Leybold TurboVac SL300 パージ ベント バルブ、12 sccm、ユニット 115 VAC。部品番号: 800152V0041
これらの Leybold SL300 パージおよびベント バルブの流量は 12 sccm で、バルブは直接接続するか、M8 – DN16KF アダプターを使用して接続できます。 Leybold SL300 ターボ ポンプには、標準として M8 閉鎖ネジが付いているパージおよびガス抜き接続が装備されています。コントローラーのスイッチがオフになっているときや停電中は、通気バルブがポンプとフォアラインから通気し、オイル蒸気が粗引きポンプから逆拡散するのを防ぎます。ベントポートのチョークノズルにより、ポンプのベントが速すぎることがなくなります。
TURBOVAC SL ポンプは、空気とクリーンガスの圧送に適しています。低濃度の反応性ガスをポンプで輸送する必要がある場合は、パージ ガスを使用してターボ ポンプを作動させます。通気およびパージガスとしては、窒素やアルゴンなどの不活性ガスをお勧めします。これらのガスの温度は最大 5°C ~ 80°C でなければなりません。相対湿度は 10 ppm を超えてはなりません。適切な補助ポンプを選択するときは、追加のパージ ガス流量を考慮してください。窒素を含む 0.2 mbar·l/s (12 sccm) のパージ ガス流量を推奨します。ポンプ内の圧力は 1200 mbar (大気圧より 0.2 bar) を超えてはなりません。
これらの新世代の SL TURBOVAC ターボ分子ポンプは、機械式ローター サスペンションが改善されており、新しいコンパクトな設計、真空性能の向上、標準化されたアクセサリ プログラムによって複合ステージが優れています。 SL シリーズ ポンプは、今日の市場で最も静かなターボ ポンプの 1 つであり、SL 300 ポンプの騒音は 49 dB(A) 未満です。 ISO-100 入口フランジを備えた Leybold SL-300 は、窒素のポンピング速度が 270 l/s で、到達圧力は 7.5x10 という低さになります。 油封ロータリーベーンポンプを使用した場合はトル、KF-16 荒引きフランジが付いています。
Leybold TURBOVAC SL ターボ分子ポンプは、コントローラの取り付け位置に関して柔軟性が高く、ベンチトップ ユニットとして、またはラック内にオンボードに配置できます。さらに、ポンプはほぼあらゆる位置および角度で取り付けることができます。 TURBOVAC SL 製品ファミリーのターボ分子ポンプは、研究や産業における最も高度で要求の厳しいアプリケーションや要件、その他多くのアプリケーションに対応できるように設計されています。