説明
Leybold エキゾーストサイレンサー Scrollvac 7-18 Plus モデル用
KF-25、ライボルト PN: 141102A02
Scrollvac plus サイレンサーは、ポンプダウンおよびガスバラスト動作中の排気騒音を低減し、ポンプ動作中にチップシールの塵を収集して保持します。排気ガスは、プロセス チャンバを排気するためにポンプが使用されているとき、ガス バラスト制御が使用されているとき、またはその両方のときに排気ポートから排出されます。処理量が増加するとポンプダウン時の騒音レベルが上昇するため、この騒音レベルを低減するためにサイレンサーが使用されます。外側の缶はプレス鋼製で、フィルターエレメントにアクセスできるように分割されています。フィルターエレメントのハウジングは Santoprene® 熱可塑性エラストマーで作られています。エレメント自体はポリエステルです。フォームブロックはフィルターフォームから製造されています。注: これらの要素は乾燥用途でのみ使用でき、湿らせてはなりません。サイレンサには圧力リリーフバルブは取り付けられていません。