MBraun 熱蒸発器 - MB Evap S/A、薄膜共堆積システム、ステンレススチール製ベルジャーチャンバー - 13 x 17 インチ、4 つの熱源と 2 つの Inficon QCM 厚さモニター、新しい Pfeiffer HiPace 300 Turbo 付き、再生品。この再生された Mbraun Evap S/A 真空コーティングチャンバー (2012 年製造) には、新品の HiPace 300 ターボポンプと新品の Edwards 12 ロータリー粗引きポンプが装備されています。ツールは良好な作動状態です。チャンバーの内部はグリットブラスト処理されており、以前の使用による汚染物質がすべて除去されています。このツールは、金、チタン、酸化物などの高融点金属や誘電体の熱蒸発に適しています。直径 13 インチ x 高さ 17 インチのステンレス鋼ベルジャーチャンバーを備えています。最大蒸発投射距離は、基板ホルダーを回転させた場合で 10 インチです。基板回転アセンブリを使用しない場合は 12 インチまで延長でき、リフトオフ金属蒸着に適しています。基板ホルダーは、蒸着中に回転する場合は最大 4 インチ x 4 インチのサンプルサイズ、回転しない場合は 6 インチ x 6 インチのサンプルを収容できます。チャンバーには、それぞれ約 1 cc の積載容量を持つ 4 つの熱蒸発源があります。
この MBraun サーマル エバポレーターには、新しいカスタムメイドの 4 インチ ロータリー サブストレート ホルダーなど、多くの機能が搭載されています。2 つの Inficon QCM センサーと 2 つの新しい水晶振動子、手動および自動プロセス モードを備えた Inficon SQC-310C 共蒸着コントローラーが搭載されています。蒸着プロセスは、シーケンシャルまたは共蒸着が可能です。その他の機能には、コーティングの進行状況を観察するための 6 インチ ビューポート、空気圧ソースとサブストレート シャッター、フェイルセーフ メカニズム、光学安全カーテン、アラーム形式の視覚および音声ステータス インジケーターなどがあります。
この MBraun 蒸発器は 2012 年に製造され、次の機能と能力を備えています。- ステンレススチール製ベルジャーチャンバー(直径13インチ×高さ17インチ)
- ツールの寸法は長さ48インチ x 幅32インチ x 高さ80インチです。
- 4インチ回転基板ホルダー(24VDC電源は付属していません)
- 4つの抵抗加熱ポケット
- 10インチの蒸発距離
- 電動ベルジャーチャンバーホイスト
- 2つのQCM膜厚センサーとInficonのSQC-310C共蒸着コントローラー
- 空気圧源と基板シャッター
- 6インチビューポート
- タッチスクリーンGUI画面
- ファイファー ハイペース 300 ターボポンプ
- オプションの見かけのボートパワー測定と表示(付属していません)
- オプションのボート温度熱電対と読み取り装置(マルチメーターは付属していません)
- フェイルセーフ機構、堆積速度、電力、ドア、真空安全インターロック
- 視覚的および音声的な実行ステータスインジケーター
- 電源システム - 3 x 208V AC、60Hz (3Ph/N/PE)
- 総負荷 - 16A
- 4つのボート電源 - 2kW、ボート温度30 - 1800°C
- ベース圧力5x10-7 Torr、ファイファー冷陰極真空計の交換が必要になる場合があります
- 最大作動圧力 - ユーザー設定、5x10-3 Torr
- 基板の材質、形状、サイズ - 最大4インチのSiウェハ
- 基板回転速度 - ユーザー設定
- 蒸発ボート/ロッドのサイズ - 長さ1~4インチ、積載容量1cc
- 100レシピ保存可能、ほとんどの金属膜堆積レシピがすでにインストール済み
- 手動および自動操作モード
- ボートの材質 - 任意、W、モリブデン、タンタル、るつぼ
- 1年間の限定保証
MBraun エバポコーティングシステム