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MBraun サーマルエバポレーター、MB Evap S/A、薄膜共蒸着システム、ステンレススチールベルジャーチャンバー、13 x 17 インチ、4 つの熱源と 2 つの Inficon QCM 厚さモニター、新しい Pfeiffer HiPace 300 ターボポンプ付き、再生品

状態:
  使用済み
部品番号:
  P1013688
保証:
  30-Days

今すぐ利用可能   1  

¥13,163,950.00

の上 セール: ¥7,743,500.00

MBraun サーマルエバポレーター、MB Evap S/A、薄膜共蒸着システム、ステンレススチールベルジャーチャンバー、13 x 17 インチ、4 つの熱源と 2 つの Inficon QCM 厚さモニター、新しい Pfeiffer HiPace 300 ターボポンプ付き、再生品 7743500
通貨: Japanese Yen (JPY)

説明

MBraun 熱蒸発器 - MB Evap S/A、薄膜共堆積システム、ステンレススチール製ベルジャーチャンバー - 13 x 17 インチ、4 つの熱源と 2 つの Inficon QCM 厚さモニター、新しい Pfeiffer HiPace 300 Turbo 付き、再生品。

この再生された Mbraun Evap S/A 真空コーティングチャンバー (2012 年製造) には、新品の HiPace 300 ターボポンプと新品の Edwards 12 ロータリー粗引きポンプが装備されています。ツールは良好な作動状態です。チャンバーの内部はグリットブラスト処理されており、以前の使用による汚染物質がすべて除去されています。このツールは、金、チタン、酸化物などの高融点金属や誘電体の熱蒸発に適しています。直径 13 インチ x 高さ 17 インチのステンレス鋼ベルジャーチャンバーを備えています。最大蒸発投射距離は、基板ホルダーを回転させた場合で 10 インチです。基板回転アセンブリを使用しない場合は 12 インチまで延長でき、リフトオフ金属蒸着に適しています。基板ホルダーは、蒸着中に回転する場合は最大 4 インチ x 4 インチのサンプルサイズ、回転しない場合は 6 インチ x 6 インチのサンプルを収容できます。チャンバーには、それぞれ約 1 cc の積載容量を持つ 4 つの熱蒸発源があります。

この MBraun サーマル エバポレーターには、新しいカスタムメイドの 4 インチ ロータリー サブストレート ホルダーなど、多くの機能が搭載されています。2 つの Inficon QCM センサーと 2 つの新しい水晶振動子、手動および自動プロセス モードを備えた Inficon SQC-310C 共蒸着コントローラーが搭載されています。蒸着プロセスは、シーケンシャルまたは共蒸着が可能です。その他の機能には、コーティングの進行状況を観察するための 6 インチ ビューポート、空気圧ソースとサブストレート シャッター、フェイルセーフ メカニズム、光学安全カーテン、アラーム形式の視覚および音声ステータス インジケーターなどがあります。

この MBraun 蒸発器は 2012 年に製造され、次の機能と能力を備えています。
  • ステンレススチール製ベルジャーチャンバー(直径13インチ×高さ17インチ)
  • ツールの寸法は長さ48インチ x 幅32インチ x 高さ80インチです。
  • 4インチ回転基板ホルダー(24VDC電源は付属していません)
  • 4つの抵抗加熱ポケット
  • 10インチの蒸発距離
  • 電動ベルジャーチャンバーホイスト
  • 2つのQCM膜厚センサーとInficonのSQC-310C共蒸着コントローラー
  • 空気圧源と基板シャッター
  • 6インチビューポート
  • タッチスクリーンGUI画面
  • ファイファー ハイペース 300 ターボポンプ
  • オプションの見かけのボートパワー測定と表示(付属していません)
  • オプションのボート温度熱電対と読み取り装置(マルチメーターは付属していません)
  • フェイルセーフ機構、堆積速度、電力、ドア、真空安全インターロック
  • 視覚的および音声的な実行ステータスインジケーター

  • 電源システム - 3 x 208V AC、60Hz (3Ph/N/PE)
  • 総負荷 - 16A
  • 4つのボート電源 - 2kW、ボート温度30 - 1800°C
  • ベース圧力5x10-7 Torr、ファイファー冷陰極真空計の交換が必要になる場合があります
  • 最大作動圧力 - ユーザー設定、5x10-3 Torr
  • 基板の材質、形状、サイズ - 最大4インチのSiウェハ
  • 基板回転速度 - ユーザー設定
  • 蒸発ボート/ロッドのサイズ - 長さ1~4インチ、積載容量1cc
  • 100レシピ保存可能、ほとんどの金属膜堆積レシピがすでにインストール済み
  • 手動および自動操作モード
  • ボートの材質 - 任意、W、モリブデン、タンタル、るつぼ
  • 1年間の限定保証

MBraun エバポコーティングシステム


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お問い合わせ
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, ニューメキシコ州 87109-5805 USA

電話: (505) 872-0037
ファックス: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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