MKS 1179C マスフロー電子絶対圧力コントローラー、500 sccm N2 相当、15 ピン、Swagelok 4 VCR オス。
MKS インスツルメンツの部品番号: 1179C01352CR1BV。 MKS 1179C は、さまざまな用途でガスの流れを測定するために設計された全金属製マスフロー コントローラーです。入力および出力接続は、Viton® O リングを備えた 1/4 インチ Swagelok® です。MKS 1179C マスフロー コントローラーは、10 sccm ~ 20 slm のフルスケールで利用可能で、0.1 sccm までの高速で再現性のある流量計量を提供します。 1179C は、現在市場で最も一般的な質量流量計の直接的な形状と機能の代替品です。標準の 3 インチの設置面積により、1179C は既存のガス ラインを変更することなく、同じスペースに直接設置できます。電気コネクタは同じタイプです。業界の同等品と同様のピン配列、信号、機能を備えた「D」コネクタ 1179C は、MKS または他のメーカーのマスフロー コントローラ電源およびディスプレイ電子機器と互換性があります。
Swagelok、VCR-TM Swagelok Company