MKS 248D 汎用流量制御バルブ、5000 sccm、1/4 インチ Swagelok チューブ継手、Viton シール。 MKS 部品番号: 0248D-05000RV。
制御電流が供給されると、この汎用改良型ソレノイド バルブはガスの流れを調整します。 MKS コントローラーおよび適切な流量センサーと併用すると、248D バルブは正確かつ正確な圧力または流量を維持しながらガス流量を調整します。アプリケーションには、流量制御、上流または下流の圧力制御が含まれます。このモデル 0248D-05000RV バルブは、5,000 標準立方センチメートル/分 (sccm) の窒素フルスケール範囲、Swagelok® 1/4 インチ チューブ継手、および Viton シールを備えています。閉じたバルブを通る漏れコンダクタンスは、<1x10 -5 scc/秒 He です。
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