MKS HPS® シリーズ 317 対流強化型ピラニ センサー KF16 NW16 (PN 103170010SH) (MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性あり) MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供します。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 100 Torr から 1,000 Torr に増加します。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微量の漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、この KF16 NW16 フランジなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS® シリーズ 317 対流強化型ピラニ センサー KF25 NW25 (PN 103170027SH) (MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性あり) MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供します。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 100 Torr から 1,000 Torr に増加しています。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微量の漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、この KF25 NW25 フランジなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS® シリーズ 317 対流強化ピラニ真空センサーは、0.001 ～ 1000 Torr、Conflat CF 1.33 インチを備えています。MKS 部品番号: 103170013SH。 MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供し、MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性があります。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 0.001 から 1,000 Torr まで増加しています。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微量の漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、CF 1.33 インチ Mini-CF フランジ フィッティングなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS® シリーズ 317 対流強化ピラニ真空センサーは、0.001 ～ 1000 Torr、Conflat CF 2.75 インチを備えています。MKS 部品番号: 103170014SH。 MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供し、MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性があります。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 0.001 から 1,000 Torr まで増加しています。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微細な漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、CF 2.75 コンフラット フランジなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS 真空ゲージ ケーブル、937B および 946 コントローラーに接続する 345 または 317 用、10 フィート。 (3m) 長い。 MKS部品番号：103170006SH。 MKS 真空計信号ケーブルは、345 または 317 真空計センサーを 945、947、937B、および 946 コントローラーに接続します。 MKS コントローラーの背面と MKS 345 または 317 ピラニ センサーの側面に接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 947 対流強化ピラニ コントローラは、多くの標準機能を備え、使いやすいです。圧力に比例するアナログ出力信号が標準装備されており、このケーブルが接続されているコントローラーの背面からアクセスできます。プロセスは、このシングルチャネル コントローラの標準である 2 つの独立したリレー設定値で制御されます。リレーは、コントローラの設定値範囲内のどこにでもトリップするように設定できます。電源オン/オフ スイッチを含むすべての操作コントロールは、コントローラのフロント パネルから簡単にアクセスできます。大きくて読みやすいディスプレイを見ながら、フロントパネルから設定値を調整します。設定値の有効化は赤色の LED インジケーターで示されます。設定値は、プロセス制御を中断することなくいつでも確認できます。

MKS 真空ゲージ ケーブル、945、947、937B または 946 コントローラーに接続する 345 または 317 用、長さ 25 フィート (7.5m)。 MKS部品番号：103170007SH。 MKS 真空計信号ケーブルは、345 または 317 真空計センサーを 945、947、937B、または 946 コントローラーに接続します。 MKS コントローラーの背面と MKS 345 または 317 ピラニ センサーの側面に接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 947 対流強化ピラニ コントローラは、多くの標準機能を備え、使いやすいです。圧力に比例するアナログ出力信号が標準装備されており、このケーブルが接続されているコントローラーの背面からアクセスできます。プロセスは、このシングルチャネル コントローラの標準である 2 つの独立したリレー設定値で制御されます。リレーは、コントローラの設定値範囲内のどこにでもトリップするように設定できます。電源オン/オフ スイッチを含むすべての操作コントロールは、コントローラのフロント パネルから簡単にアクセスできます。大きくて読みやすいディスプレイを見ながら、フロントパネルから設定値を調整します。設定値の有効化は赤色の LED インジケーターで示されます。設定値は、プロセス制御を中断することなくいつでも確認できます。