MKS 626D 100 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空継手 KF-16。
MKS 部品番号: 626D12TDE。 MKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ~ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 20 ミリ秒未満)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 バール) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ~ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。
これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、100 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16 真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D12TDE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。
互換性のあるコントローラーとケーブル:
製品の特徴:
- 15 ピン D-sub コネクタ付き 0 ~ 10 VDC 比例アナログ出力
- ガスの種類や組成に関係なく、チャンバーの全圧を直接測定
- 長期にわたる出力安定性による最先端のプロセス再現性
- 基本センサーの Inconel® および Incoloy® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します。
- 高い過圧制限により、システム事故時の信頼性が保証されます
- 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定