MKS Granville Phillips 355 マイクロイオン ATM モジュラー真空圧力トランスデューサー、デジタル ディスプレイ、DeviceNet、イットリア コーティングされたイリジウム フィラメント、2.75 CF

MKS Granville-Phillips 355 Micro-Ion ATM モジュールは、実証済みの Micro-Ion 電離真空計技術と小型 Conductron 熱損失センサーを組み合わせて、高真空から大気まで正確な連続圧力測定を提供します。この製品は、ダイアフラム センサーを使用して、大気までの正確な絶対圧力を提供するとともに、周囲との真空チャンバーの差圧を正確に表示することができます。独自のセンサー設計により、高圧での熱損失センサーの性能に影響を与える可能性のある熱の影響が排除されます。この小さなモジュールは、4 つのセンサーすべてと制御電子機器をコンパクトなモジュラー設計に組み合わせており、チャンバーに必要なゲージの数を減らし、必要なスペースを最小限に抑えます。フルレンジの圧力測定は、DeviceNet デジタル インターフェイスを使用した出力信号です。これはプロセス制御用に設定できる設定値を備えた DeviceNet バージョンで、真空圧力範囲全体の任意の圧力または特定の差圧値にリレーを割り当てる機能を備えています。

利点は次のとおりです。
●1×10-9の高真空から大気までの連続圧力測定。
• 大気中での高精度の差圧測定。
• 個別の大気スイッチが不要になります。
• 3 つの個別のセンサーが不要になります。
• 電離真空計イットリアでコーティングされたイリジウム、フィラメントにより、装置の稼働時間が増加します。
• 電離真空計の作動と停止の自動化。
• プロセス制御用のセットポイントリレー。
• 現場で交換可能なゲージアセンブリ。
• DeviceNet 出力。


モジュラー真空計は、フロントパネルのディスプレイやコントロールを必要としないアプリケーションにとって理想的なソリューションです。これらのコンパクトで便利、信頼性が高く、コストを節約できるモジュールには、制御電子機器がゲージに直接取り付けられています。全金属パッケージは、頑丈な筐体と電気ノイズに対する高いレベルの耐性を提供します。 Mini-Convectron モジュールは、最新の電子技術を使用して Granville-Phillips®Convectron®Gauge を操作します。 Convectron ゲージは業界標準になっています。これは熱伝導率ゲージのユニークなバリエーションであり、圧力測定がセンサー ワイヤーからの熱損失率に基づいています。伝導熱損失のみを使用する従来の熱電対やピラニ ゲージとは異なり、コンベクトロン ゲージは高圧での対流による熱損失を利用します。これにより、正確で再現性のある測定範囲が大気まで拡張されます。