MKS Granville Phillips 390 GP 830、835 VQM 用マイクロイオン ゲージ ATM モジュール。 2 設定点、ディスプレイ付き、CF 2.75 インチ、390802-2-YG-T

この 390802 全圧マイクロイオン モジュールは、MKS Granville Phillips 真空品質モニター システム (VQM) 830 または 835 パワー質量分析計ゲージと連携して動作します。 VQM。

MKS Granville-Phillips Micro-Ion ATM モジュールは、実証済みの Micro-Ion 電離真空計技術と小型 Conductron 熱損失センサーおよび 2 つのピエゾ抵抗センサーを組み合わせて、高真空から大気まで正確な連続圧力測定を提供します。この製品は、ダイアフラム センサーを使用して、大気までの正確な絶対圧力を提供するとともに、周囲との真空チャンバーの差圧を正確に表示することができます。独自のセンサー設計により、高圧での熱損失センサーの性能に影響を与える可能性のある熱の影響が排除されます。この小さなモジュールは、4 つのセンサーすべてと制御電子機器をコンパクトなモジュラー設計に組み合わせており、チャンバーに必要なゲージの数を減らし、必要なスペースを最小限に抑えます。フルレンジの圧力測定は、単一のアナログ信号として出力されるか、オプションのシリアル RS-485 または DeviceNet デジタル インターフェイスを通じて利用できます。 RS-485 および DeviceNet バージョンには、プロセス制御用に設定できるオプションのセットポイント リレーが最大 3 つあり、真空圧力範囲全体の任意の圧力または特定の差圧値にリレーを割り当てることができます。

利点は次のとおりです。
●1×10-9の高真空から大気までの連続圧力測定。
• 大気中での高精度の差圧測定。
• 個別の大気スイッチが不要になります。
• 3 つの個別のセンサーが不要になります。
• デュアルイオン化ゲージフィラメントにより、装置の稼働時間が増加します。
• 電離真空計の作動と停止の自動化。
• プロセス制御用のオプションのセットポイントリレー。
• 現場で交換可能なゲージアセンブリ。
• アナログ、RS-485、または DeviceNet 出力が利用可能。
• オプションのグラフィック LCD ディスプレイ。

モジュラー真空計は、フロントパネルのディスプレイやコントロールを必要としないアプリケーションにとって理想的なソリューションです。これらのコンパクトで便利、信頼性が高く、コストを節約できるモジュールには、制御電子機器がゲージに直接取り付けられています。全金属パッケージは、頑丈な筐体と電気ノイズに対する高いレベルの耐性を提供します。 Mini-Convectron モジュールは、最新の電子技術を使用して MKS Granville-Phillips®Convectron®Gauge を操作します。 Convectron ゲージは業界標準になっています。これは熱伝導率ゲージのユニークなバリエーションであり、圧力測定がセンサー ワイヤーからの熱損失率に基づいています。伝導熱損失のみを使用する従来の熱電対やピラニ ゲージとは異なり、コンベクトロン ゲージは高圧での対流による熱損失を利用します。これにより、正確で再現性のある測定範囲が大気まで拡張されます。