MKS Granville Phillips Instruments 354 ゲージ マイクロイオン交換フィラメント、Torr、NW16KF、高精度システム、PN 354003-TD

これは、MKS Granville-Phillips 354 マイクロイオン モジュール ゲージ交換フィラメントです。このマイクロイオン イオン化ゲージ技術は、小型の Conductron 熱損失センサーを備えており、高真空から大気圧まで、正確で連続的な圧力測定を提供します。この製品は、ダイヤフラム センサーを使用して、大気圧までの正確な絶対圧力と、真空チャンバーの周囲圧力との差圧の正確な表示を提供します。独自のセンサー設計により、高圧での熱損失センサーの性能に影響を与える可能性のある熱の影響が排除されます。この小型モジュールは、4 つのセンサーと制御電子機器をすべてコンパクトなモジュラー設計に統合し、チャンバーに必要なゲージの数を減らし、必要なスペースを最小限に抑えます。フル レンジの圧力測定は、DeviceNet デジタル インターフェイスによる出力信号です。これは、プロセス制御用に構成できるセットポイントを持つ DeviceNet バージョンで、真空圧力範囲の任意の圧力または特定の差圧値にリレーを割り当てることができます。交換方法については、以下の .pdf を参照してください。

メリットは次のとおりです:
•1 x 10-9の高真空から大気圧までの連続圧力測定。
• 大気圧での高精度差圧測定。
• 個別の大気スイッチの必要性を排除します。
• 3 つの個別のセンサーが不要になります。
• イオン化ゲージのイットリアコーティングされたイリジウムフィラメントにより、機器の稼働時間が延長されます。
• イオン化ゲージの有効化と無効化の自動化。
• プロセス制御用のセットポイントリレー。
• 現場で交換可能なゲージアセンブリ。
• DeviceNet出力。


モジュラー真空ゲージは、フロントパネルのディスプレイやコントロールを必要としないアプリケーションに最適なソリューションです。これらのコンパクトで便利、信頼性が高く、コストを節約できるモジュールには、ゲージに直接取り付けられた制御電子機器があります。オールメタルパッケージは、堅牢な筐体と高いレベルの電気ノイズ耐性を提供します。ミニコンベクトロンモジュールは、最新の電子技術を使用して Granville-Phillips®Convectron® ゲージを操作します。コンベクトロンゲージは業界標準となっています。これは、圧力測定がセンサーワイヤからの熱損失率に基づいている、熱伝導率ゲージのユニークなバリエーションです。伝導熱損失のみを使用する従来の熱電対ゲージやピラニゲージとは異なり、コンベクトロンゲージは高圧での対流による熱損失を利用します。これにより、正確で再現性のある測定範囲が大気圧まで広がります。