MKS HPS® シリーズ 999 Quattro™ マルチセンサー熱陰極トランスデューサー、KF-40、RS232。 MKS 部品番号 999-51 MKS HPS® シリーズ 999 Quattro™ は、大気スイッチング機能と組み合わせて、10 -10 Torr から大気までの圧力測定を提供する究極のトランスデューサ ソリューションです。 Quattro は、HPS の 3 つの主要テクノロジーを統合ゲージ ソリューションに組み合わせており、1 つのコンパクトなパッケージに 4 つのセンサーの機能を備えています。 Quattro には、小型熱陰極イオン化センサー、MEMS ベースの MicroPirani™ センサー、および独自のピエゾ センサーが含まれており、差動センサー機能と絶対センサー機能の両方を提供します。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラと 999 を使用できます。完全な仕様と動作情報については、「ダウンロード」セクションを参照してください。