MKS シリーズ 225 自動ソフトスタートチェックバルブ流量作動、バネ式、無電圧
NW50 KF50 バイトンセンタリングリング - ステンレス鋼
MKS シリーズ 225 オートソフトは、初期排気中に粗引きポンプを絞るために使用される流量作動逆止弁です。 Auto-Soft はシステム排気の開始時に非常に素早く閉じ、設定された圧力差に達すると自動的に開きます。これにより、ポンピングプロセスのバランスをとるためにポンピングラインを開いたままにします。
これは、自動ソフトスタート用のシンプルな NW KF バルブ継手です。オートソフトバルブには、中心を外れた軸を中心に回転するベーンが付いています。圧力差が十分に低い場合、一対のコイル スプリングがベーンを開いた状態に保持します。粗引きシステムが作動すると、初期流によってベーンアセンブリが閉じ、粗引きポンプが自動的に絞りられます。最初のポンプダウンは、ベーンの周囲の小さな開口部を通じて発生します。これにより、実効ポンプ速度が低下し、乱流が最小限に抑えられ、ポンプダウン時間が延長されます。圧力差がスプリングによって決定されるレベルに達すると、スプリングがベーンを開き、最大のポンピング速度に戻ります。
オートソフトを取り付ける際には十分なスペースが必要です。そのスペースは仕様表に記載されています。ユーザーは、ベーンに隣接するタブを曲げることにより、限られた範囲でバルブの閉コンダクタンスを調整できます。オートソフトは真空システムと粗引きバルブの間に設置してください。オートソフトの前に汚染物を捕捉することで、長寿命を確保することができます。
特徴と利点:>
- 排気中のシステムの乱流を低減することにより、微粒子汚染を低減します。
- 基板のズレや破損を防止
- 高価な圧力制御バイパスシステムを置き換えます
- 電気なし - 流れによる作動
- 最大10,000サイクル動作
この MKS オートソフト チェック バルブの完全な説明については、横の .pdf を参照してください。