MKS 冷陰極真空計信号ケーブルは、943 コントローラーを HPS 423 I-Mag® センサーに接続します (10 フィート (3m))。
MKS 部品番号: 100007873
これは、MKS 423 I-Mag® 冷陰極センサーの上部と MKS 943 冷陰極コントローラーの背面ポートに接続する、長さ 10 フィートの冷陰極真空計信号ケーブルです。これはケーブルのみで、他のすべての部品とアクセサリはオプションです。
423 I-Mag® センサーは、反転マグネトロン設計を採用しており、適切なコントローラーを使用すれば、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力 (10 -11 Torr 程度) で動作できます。この増加した圧力範囲により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。
フィラメントが切れないため、423 I-Mag® センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。