Ideal Vacuum 3 ポジション UHV 空気圧操作ゲート バルブ、スロットル 3 番目の位置、ソレノイドおよびリード センサー付き、24VDC、CF 10.0 インチ (DN CF200) フランジ、Viton O リング標準シール、1x10-10 mbar、SUS304 本体、50,000 サイクル CF 10.0 インチ ボルトダウン フランジ (5/16-24 UNF スレッド付き) この Ideal Vacuum 3 ポジション スロットル ゲート バルブは、Conflat CF 10.0 インチ (DN CF200) フランジを使用して空気圧で操作されます。部分的に開くように設定できる 3 番目の位置があります。定格は超高真空 (UHV) で、ゲート用の標準 Viton O リング シールと、空気圧制御のソレノイド バルブを備えたボンネット用の Viton O リングまたは OFHC 銅ガスケットが付属しています。バルブの標準的な寿命は、サービスが必要になるまで 50,000 サイクルです。耐腐食性の 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られています。この 3 位置制御により、さまざまな真空蒸着プロセス、特に薄膜蒸着プロセス チャンバー システムで最適な状態を維持するための柔軟性と精度が得られます。物理蒸着コーティング チャンバーでの用途 この 3 位置ゲート バルブは、信頼性の高い高真空および超高真空 (UHV) アプリケーション用に設計されており、クライオ、ターボ、イオン高真空ポンプと組み合わせて使用されることがよくあります。PVD マグネトロン スパッタリング蒸着などの絞り真空プロセスでの使用が増えています。スパッタリング システムなどの PVD コーティング チャンバーでは、ターボ分子ポンプとメイン プロセス チャンバー間の接続を制御するために 3 ポジション ゲート バルブがよく使用されます。これらのゲート バルブを使用すると、真空システムを正確に制御でき、ポンプを分離し、チャンバーを保護し、排気速度を調整できます。一般的な 3 ポジション ゲート バルブの 3 つの位置は次のとおりです。1. 全開位置: 最大コンダクタンス、フル ターボ ポンピング速度。初期排気または堆積中に高真空を維持する場合に使用します。2. 部分開 (スロットリング位置): 目的: 部分開位置では、ゲート バルブは部分的にのみ開き、チャンバーとターボ ポンプ間のコンダクタンスをスロットリングします。スロットリングは、反応性ガス (反応性スパッタリングの酸素または窒素など) を扱う場合、または最適な膜成長のために圧力を微調整する必要がある場合に重要です。この部分開位置は、インストール時に 1 回手動で設定および調整され、いつでも変更して異なるプロセス条件を実行できます。 3. 完全に閉じた位置: 目的: 完全に閉じた位置では、ゲート バルブはターボ ポンプをメイン チャンバーから完全に分離します。 使用例: この位置は、チャンバーの通気、ロード ロック チャンバーのサンプルのロードなどのプロセス中、またはチャンバーが大気圧にさらされているときにターボ ポンプを保護するために使用されます。 これにより、汚染物質や大気がターボ ポンプに入り込み、ポンプが損傷するのを防ぎます。仕様: 仕様と機能: 材質 本体 SUS304 キャリッジ リンケージタイプ - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ未満 - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ以上(付属) - SUS304、A6061-T6 ゲート リンケージタイプ - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ未満 - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ以上(付属) - A6061-T6 ベローズ AM350 ライフ サイクル HV:DN200 - 300,000 サイクル UHV:DN200 - 50,000 サイクル 1 atm 差圧でのヘリウム リーク率 O リングの場合 <2×10-9 mbar·l /sec <5×10-10 mbar·l /sec ガスケット シールの場合 ベーク温度 開 - 200 °C バイトン ボンネット シール 閉 - 150 °C バイトン ボンネット シール 圧力範囲(mbar) HV: 1x10-8 ~ 1000 UHV: 1x10-10 ~1000 開く前の最大デルタ P (mbar) < 30 標準シール ゲート - Viton O リング ボンネット - Viton O リングまたは OFHC 銅ガスケット アクチュエータ - 空気圧 圧縮空気供給 チューブ接続 - 6mm 圧力範囲 - 4-6 Kg/cm2(過圧) 表面処理 - スコッチ研磨 オプション 位置表示器 空気圧制御ソレノイドバルブ 粗引きポート その他の材料 ゲート O リングシール このゲートバルブおよびその他の関連するバルブ構成の詳細については、ダウンロードを参照してください。

Ideal Vacuum 3 ポジション HV 空気圧操作ゲート バルブ、スロットル 3 番目の位置、ソレノイドおよびリード センサー付き、24VDC、ISO-F 200 (DN 200) フランジ、Viton O リング標準シール、1x10-8 Torr、SUS304 本体、300,000 サイクル。この Ideal Vacuum 3 ポジション スロットル ゲート バルブは、ISO-F 200 (DN CF200) フランジで空気圧操作されます。3 番目の位置は部分的に開くように設定できます。高真空 (HV) 定格で、ゲート用の標準 Viton O リング シールと、空気圧制御ソレノイド バルブ付きボンネット用の Viton O リングまたは OFHC 銅ガスケットが付属しています。この ISO-F フランジ ゲート バルブは、ベローズとボンネット プレート シールに Viton O リングを使用しているため、到達圧力が 1x10-8 Torr までの高真空 (HV) アプリケーションに限定されます。バルブの標準的な寿命は、サービスが必要になるまでの 300,000 サイクルです。耐腐食性の 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られています。この 3 位置制御により、さまざまな真空蒸着プロセス、特に薄膜蒸着プロセス チャンバー システムで最適な状態を維持するための柔軟性と精度が得られます。物理蒸着コーティング チャンバーでの用途 この 3 位置ゲート バルブは、信頼性の高い高真空アプリケーション用に設計されており、クライオ、ターボ、イオン高真空ポンプと組み合わせて使用されることがよくあります。PVD マグネトロン スパッタリング蒸着などの絞り真空プロセスでの使用が増えています。スパッタリング システムなどの PVD コーティング チャンバーでは、ターボ分子ポンプとメイン プロセス チャンバー間の接続を制御するために、3 位置ゲート バルブがよく使用されます。これらのゲート バルブにより、真空システムを正確に制御でき、ポンプを分離し、チャンバーを保護し、排気速度を調整できます。一般的な 3 位置ゲート バルブの 3 つの位置は次のとおりです。1. 全開位置: 最大コンダクタンス、フル ターボ ポンピング速度。初期排気時または堆積中に高真空を維持する場合に使用します。2. 部分開 (スロットル位置): 目的: 部分開位置では、ゲート バルブは部分的にのみ開き、チャンバーとターボ ポンプ間のコンダクタンスを絞ります。スロットルは、反応性ガス (反応性スパッタリングにおける酸素や窒素など) を扱う場合や、最適な膜成長のために圧力を微調整する必要がある場合に重要です。この部分開位置は、設置時に手動で 1 回設定および調整し、いつでも変更して異なるプロセス条件を実行できます。3. 完全閉位置: 目的: 完全閉位置では、ゲート バルブはターボ ポンプをメイン チャンバーから完全に分離します。使用例: この位置は、チャンバーの通気、ロードロック チャンバーのサンプルのロードなどのプロセス中、またはチャンバーが大気圧にさらされているときに、ターボ ポンプを保護するために使用されます。ターボ ポンプに汚染物質や大気が入り込むのを防ぎ、ポンプを損傷する恐れがありません。仕様: 仕様と機能: 材質 本体 SUS304 キャリッジ リンケージタイプ - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ未満 - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ以上(付属) - SUS304、A6061-T6 ゲート リンケージタイプ - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ未満 - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ以上(付属) - A6061-T6 ベローズ AM350 ライフ サイクル HV:DN200 - 300,000 サイクル UHV:DN200 - 50,000 サイクル 1 atm 差圧でのヘリウム リーク率 O リングの場合 <2×10-9 mbar·l /sec <5×10-10 mbar·l /sec ガスケット シールの場合 ベーク温度 開 - 200 °C バイトン ボンネット シール 閉 - 150 °C バイトン ボンネット シール 圧力範囲(mbar) HV: 1x10-8 ~ 1000 UHV: 1x10-10 ~1000 開く前の最大デルタ P (mbar) < 30 標準シール ゲート - Viton O リング ボンネット - Viton O リングまたは OFHC 銅ガスケット アクチュエータ - 空気圧 圧縮空気供給 チューブ接続 - 6mm 圧力範囲 - 4-6 Kg/cm2(過圧) 表面処理 - スコッチ研磨 オプション 位置表示器 空気圧制御ソレノイドバルブ 粗引きポート その他の材料 ゲート O リングシール このゲートバルブおよびその他の関連するバルブ構成の詳細については、ダウンロードを参照してください。