Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子真空ポンプ、ISO-160 インレットフランジ、660 L/S 排気速度。冷却キットが必要です。Agilent Varian 部品番号 X3511-64015。これらの Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子真空ポンプは、ISO-160 吸気フランジを備えた空冷式で、特許取得済みの TwisTorr ドラッグ ステージを備えた Agilent フローティング サスペンションを備えています。これらの Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ技術や Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。これらの Agilent Varian 704 FS ターボ分子高真空ポンプは、ISO-160K 吸気フランジ、到達圧力 1x10-8 Torr (吸気 ISO センタリング リングのゴム製 O リング シールからのガス放出によって制限されます) を備え、 Agilent Varian 部品番号 X3511-64015。すべて金属で密閉されたコンフラット吸気ガスケットを備えたコンフラット バージョンは、正しく使用した場合、到達圧力が 1x10-10 Torr という真の超高真空ポンプです。必要なファン空冷キットは別売りです。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システム (AFS) は、騒音と振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。これらの TwisTorr 704 FS ターボ ポンプには、ファン強制空冷または水冷のいずれかの冷却キットと、船外リモート ラックマウントまたはオンボード ポンプ側マウント コントローラが必要です。これらはすべて Ideal Vacuum によって別売りされています。Agilent ターボ ポンプは次のように設計されています。実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを実現するために、ポンプ システムとマルチフロー ポンプの統合が含まれます。コンパクトなサイズのポンプは、スペース要件が厳しい業界のニーズを満たします。これらの新しい Agilent TwisTorr 704 FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要とせず、誤使用から保護します。これらのポンプは、長寿命、衝撃、振動、梱包、熱、騒音などのさまざまな品質および信頼性テストを通過します。 ISO-160K フランジを備えた Agilent Varian TwistTorr 704 FS ターボ ポンプは、窒素の排気速度 660 l/s、KF-25 フォアライン フランジ、および 5 °C ～ +35 °C の周囲動作温度を備えています。これらの 704 FS ポンプの起動時間は 3 分、回転速度は最大 49,500 rpm です。推奨するフォアライン ポンプは乾式 IDP-10、IDP-15、または湿式 DS-302 です。冷却要件は、条件が周囲温度 5 ～ 35 °C の場合は最小限の強制空冷、または水温 15 ～ 25 °C、100 l/h、最大水圧 75 psi の水冷です。新しい Agilent Twistorr 704 FS は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能の融合を提供します。非常に汎用性の高いターボであり、さまざまな分野で使用できます。 一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 質量分析 ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS) 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS) 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP- MS) 飛行時間型質量分析法 (TOF) 研究開発における真空: 高エネルギー物理融合技術 一般的な UHV 研究用シンクロトロン光源 粒子加速器 ナノテクノロジー機器: 電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 (SEM) 透過型電子顕微鏡 (TEM) 集束イオン- ビーム システム (FIB) 表面分析 半導体製造 産業用真空処理: 薄膜蒸着 ガラス コーティング装置 (建築用および自動車用ガラス、フラット パネル ディスプレイ) 薄膜太陽電池の製造 (太陽光発電) 光データ メディア (CD、DVD、光磁気)ディスク) 磁気記憶媒体 表面処理 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス) フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブ コーティング デバイス処理: テレビおよびモニター受像管の製造 ランプの真空排気 (高速道路の照明、ビーマー) X 線管および電子装置一般的なプロセス: 真空炉冶金

Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子真空ポンプ、Conflat CF 8 インチ入口フランジ、660 L/S 排気速度。冷却キットが必要です。Agilent Varian 部品番号 X3511-64017。これらの Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子真空ポンプは、Conflat CF 8 インチ吸気フランジを備え、特許取得済みの TwisTorr ドラッグ ステージを備えた Agilent フローティング サスペンションを備えています。これらの Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistor ドラッグ ステージ技術や Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。コンフラット吸気を備えた Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ ポンプは、正しく使用した場合、到達圧力が 1x10-10 Torr という真の超高真空 (UHV) ポンプです。たとえば、これらのポンプのコンフラット バージョンでは、吸気を可能にします。フランジは120℃まで焼きます。必要なファン空冷キットは別売りです。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システム (AFS) は、騒音と振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永続的な潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルやメンテナンスが不要になり、どの方向でもポンプを操作できます。これらの TwisTorr 704 FS ターボ ポンプには、ファン強制空冷または水冷のいずれかの冷却キットと、船外リモート ラックマウントまたはオンボード ポンプ側マウント コントローラが必要です。これらはすべて Ideal Vacuum によって別売りされています。Agilent ターボ ポンプは次のように設計されています。実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを実現するために、ポンプ システムとマルチフロー ポンプの統合が含まれます。コンパクトなサイズのポンプは、スペース要件が厳しい業界のニーズを満たします。これらの新しい Agilent TwisTorr 704 FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要とせず、誤使用から保護します。これらのポンプは、長寿命、衝撃、振動、梱包、熱、騒音などのさまざまな品質および信頼性テストを通過します。 Con flat CF 8 インチ入口フランジを備えた Agilent Varian TwistTorr 704 FS ターボ ポンプは、660 l/s の窒素排気速度、KF-25 フォアライン フランジ、および 5 °C ～ +35 °C の周囲動作温度を備えています。これらの 704 FS ポンプの起動時間は 3 分、回転速度は最大 49,500 rpm です。推奨するフォアライン ポンプは乾式 IDP-10、IDP-15、または湿式 DS-302 です。冷却要件は、条件が周囲温度 5 ～ 35 °C の場合の最小限の強制空冷、または水温 15 ～ 25 °C、100 l/h、最大水圧 75 psi の水冷です。新しい Agilent Twistorr 704 FS は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能の融合を提供します。非常に汎用性の高いターボであり、さまざまな分野で使用できます。 一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 質量分析 ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS) 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS) 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP- MS) 飛行時間型質量分析法 (TOF) 研究開発における真空: 高エネルギー物理融合技術 一般的な UHV 研究 シンクロトロン光源 粒子加速器 ナノテクノロジー機器: 電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 (SEM) 透過型電子顕微鏡 (TEM) 集束イオン- ビーム システム (FIB) 表面分析 半導体製造 工業用真空処理: 薄膜蒸着 ガラス コーティング装置 (建築用および自動車用ガラス、フラット パネル ディスプレイ) 薄膜太陽電池の製造 (太陽光発電) 光データ メディア (CD、DVD、光磁気)ディスク) 磁気記憶媒体 表面処理 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス) フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブ コーティング デバイス処理: テレビおよびモニター受像管の製造 ランプの真空排気 (高速道路の照明、ビーマー) X 線管および電子装置一般的なプロセス: 真空炉冶金

Agilent Varian TwisTorr 404 FS、704 FS、および 804 FS ターボ ポンプ ラックマウント コントローラ、RS232/485 通信。 Agilent Varian 部品番号 X3501-64016。 Agilent Varian ラックマウント中型ターボ コントローラは、TwistTorr 404 FS、704 FS、および 804 FS ターボ分子ポンプ、冷却ファン、ベント バルブに電力を供給します。これらの Agilent Varian 404、704、および 804 FS 中型 TMP ラックマウント ターボ ポンプ コントローラは、100、120、220、または 240 ボルトの AC 入力電源で動作できます。ターボ ポンプからコントローラへのケーブルは一体型で、ラックマウント コントローラに組み込まれており、標準の長さは 10 フィートです。ラックマウント コントローラーの背面にある P1 コネクタは、インターロックおよびその他のロジックを処理します (写真を参照)。すべてのオプションのアクセサリ、ポンプ、コントローラ、およびさまざまな構成は、Ideal Vacuum Products から入手できます。ユーザーマニュアルおよび Agilent Varian TwistTorr 404/704/804 FS 中型 TMP ラックマウントコントローラカタログのパンフレットセクションは、以下の PDF 形式でダウンロードできます。

Agilent Varian TwisTorr 404 FS、704 FS、および 804 FS オンボード ナビゲータ ターボ ポンプ コントローラ、RS232/485 通信。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3512-64016。 Agilent Varian オンボード ナビゲータ ターボ コントローラは、TwistTorr 404 FS、704 FS、および 804 FS ターボ分子ポンプ、冷却ファン、およびベント バルブに電力を供給します。これらの Agilent Varian 404 FS、704 FS、および 804 FS オンボード ナビゲータ ターボ ポンプ コントローラは、100、120、220、または 240 ボルトの AC 入力電源で動作できます。コントローラーの背面にある P3 コネクタは外部ベント バルブを処理し、p4 コネクタは外部ファンを処理します。すべてのオプションのアクセサリ、ポンプ、コントローラ、およびさまざまな構成は、Ideal Vacuum Products から入手できます。ユーザーズマニュアルおよび Agilent Varian TwistTorr 404/704/804 FS オンボード ナビゲータ コントローラ カタログのパンフレットのセクションは、以下の PDF 形式でダウンロードできます。

Varian Agilent AC 主電源ケーブル NEMA プラグ、ターボ ポンプ コントローラ用、3 メートル。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699958。この Agilent ターボ分子真空ポンプ AC 主電源ケーブルは、NEMA 5-15 プラグ壁コンセント接続を備えており、ほとんどの Agilent ターボポンプ コントローラで動作します。長さは 3 メートル、Agilent Varian 部品番号は 9699958 で、次のターボ ポンプ モデルで動作します: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent A-Plus ソフトウェアの無料ダウンロードと 3 メートルの長さのシリアル ケーブルは、すべての Agilent ターボおよびターボ システムを PC (旧名 T-Plus) に接続します。 Agilent 製品番号: 9699883 Agilent A-Plus ソフトウェア (以前は T-Plus ターボ ポンプ制御ソフトウェア)、および LabVIEW ドライバ パックは、Ideal Vacuum から無料でダウンロードできるようになりました (以下の無料ダウンロード リンクを参照)。ダウンロードには、32 ビット バージョンと 64 ビット バージョンの両方が含まれます。このリストは、A-Plus ソフトウェアを使用するときにターボまたはターボ システムを PC に接続するために必要な、長さ 3 メートルの Agilent OEM、DB9、オス-メス シリアル ケーブルの販売です。 Agilent Technologies A-Plus ソフトウェアは、Agilent Varian ターボ分子ポンプおよび Agilent Windows シリアル プロトコルを使用するその他すべての Agilent 製品用の、ユーザーフレンドリーな通信、制御、監視アプリケーションです。 A-Plus ソフトウェアは、RS232 または RS485 シリアル通信ポートを介して PC に接続された 1 つ以上のターボ ポンプを同時に制御および駆動できます。 PC にシリアル ポートがない場合は、シリアル - USB ケーブル (部品番号 P104165) を使用できます。 A-Plus ソフトウェアには、接続されたポンプの自動認識機能が含まれており、接続された各ポンプの動作を表示します。使いやすいように、各コマンドの説明が常に画面に表示されます。 A-Plus ソフトウェアには、真空デバイスを迅速に構成し、いつでも真空システムのステータスを確認できるようにするために、データ ロギング、チャート表示、ネットワーク構成などのオプションが含まれています。包括的なオンライン ヘルプがソフトウェア パッケージに含まれています。 A-Plus ソフトウェア用の長さ 3 メートルの Agilent ケーブルの部品番号は 9699883 です。 Agilent A-Plus ソフトウェアは、次のポンプ モデル (およびその他) で動作します: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS Varian TPS-Compact Varian TPS-MiniTask

コンピュータにシリアル ポートがない場合の Agilent Varian T-Plus ソフトウェア用の RS232 シリアル - USB アダプタ ケーブル。 3 フィート。この 3 フィートの RS232 - USB アダプタ ケーブルを使用すると、USB ポートはあるがシリアル ポートがないリモート コンピュータから Agilent Varian T-plus ターボ ポンプを制御できます。 T-Plus ソフトウェアにはシリアル接続が必要です。 RS232 または RS485 シリアル通信ポートがなく、USB 2 接続ポートしかない PC の場合、このケーブルを使用すると、T-plus ターボ ポンプを USB 2 ポートに接続し、同じ T-Plus ソフトウェア機能を使用できるようになります。 PC にシリアル通信ポートがあるかのように。

Agilent Varian Con flat Turbo CF 8 インチインレットスクリーン、スプリンターシールド、ターボポンプを異物から保護するために使用されます。 Agilent Varian 部品番号 PN 9699304。これらの Agilent Varian インレット スクリーンは、Conflat CF 8 インチ吸気フランジを備えた TwisTorr ターボ分子真空ポンプを保護するように設計されています。注入口スクリーン (飛散防止ガード) は見落とされがちな小さな付属品ですが、真空システムの非常に重要な部分です。ローターに落下したり吸い込まれたりする可能性のある小さな物体や破片からターボを保護するために使用されます。これらのターボ吸気破片シールドはポンプを異物から保護するのに役立ち、Agilent Varian の部品番号は 9699304 です。 Agilent TwisTorr ターボ ポンプ モデルで動作します: TwisTorr 704 FS

Agilent Varian ISO-160 インレットスクリーン、スプリンターシールド、ターボポンプを異物から保護するために使用されます。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3500-68001。これらの Agilent Varian インレットスクリーンは、ISO-160 吸気フランジを備えた TwisTorr ターボ分子真空ポンプを保護するように設計されています。注入口スクリーン (飛散防止ガード) は見落とされがちな小さな付属品ですが、真空システムの非常に重要な部分です。ローターに落下したり吸い込まれたりする可能性のある小さな物体や破片からターボを保護するために使用されます。これらのターボ吸気破片シールドは、ポンプを異物から保護するのに役立ち、Agilent Varian 部品番号 X3500-68001 です。 Agilent TwisTorr ターボ ポンプ モデルで動作: TwisTorr 704 FS

Agilent 大型 TwisTorr および Turbo-V ターボ分子ポンプ用ファン空冷キット (リモート ラック マウント コントローラ付き)、X3501-68016、X3501-64003。これは、Agilent TwisTorr FS 404、704、804、および Turbo-V 1001 ターボ分子真空ポンプ用の空冷ファン キットです。ポンプのベースに取り付け、ポンプにラジアル冷却を提供します。ラック マウント X3501-68016 または X3501-64003 ターボ ポンプ コントローラの背面にある丸型 J3 FAN コネクタに接続します。このファン空冷キットには、20 フィートの長いケーブルが付属しており、必要な取り付けハードウェアがすべて含まれています。これは、Agilent X3501-68001 ファン空冷キットの直接交換品です。以下の Agilent ターボ分子ポンプ モデルと互換性があります: TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001 以下のラック マウント Agilent ターボ分子ポンプ コントローラ モデルと互換性があります: X3501-68016 X3501-64003 このファン キットは、Agilent オンボード ナビゲータ ターボ ポンプ コントローラとは互換性がありません。当社では、オンボード コントローラ用のファン冷却キットのほか、他のリストにある Agilent ターボ ポンプおよびアクセサリの完全なラインを提供しています。ポンプとコントローラの詳細については、ダウンロードを参照してください。

ローカルナビゲータコントローラを備えた大型 TwisTorr および Turbo-V ターボ分子ポンプ用の Agilent Varian ファン空冷キット。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699297。これらの Agilent Varian TwistTorr および Turbo-V 空冷ファン キットは、ローカル Navigator (底部またはサイド ポンプに取り付けられた) コントローラと連動するように設計されており、Agilent Varian 部品番号 9699297 です。これらのキットには空冷ファン キットが含まれています。ファン、P4 コネクタを介して冷却ファンを Navigator コントローラの 24 VDC 電源に接続するための電源ケーブル、およびポンプ取り付けスタイルのブラケットの底部。これは注文時に非常に重要です。Agilent Varian 大型 TwistTorr および Turbo-V ターボ分子ポンプには 2 つの異なる空冷ファン キットがあります。1 つは、冷却ファンが 115 VAC で動作するリモート ラックマウント コントローラで動作するように設計されています。ここで販売されているもう 1 つは、24VDC で動作する底部または側面に取り付けられたローカル Navigator コントローラーで動作するように設計されています (横の中央の図を参照)。 Agilent TwisTorr Navigator コントローラ駆動のターボポンプモデルで動作: TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian ターボ水冷キット (プラスチックホース継手付き) は、ほとんどの Agilent ターボ分子ポンプに適合します。内径 4 mm x 外径 6 mm プラスチック ホース用、Agilent Varian 部品番号 PN: 9699347。 これらのプラスチック チューブ水冷キットは、Agilent Varian TwisTorr 305 FS、750 FS、および 850 FS ターボ分子真空ポンプを水冷するように設計されています。内径 4 mm x 外径 6 mm のプラスチック ホースに簡単に接続できるように設計されており、Agilent Varian 部品番号は PN 9699347 です。以下のモデルを含むほとんどの Agilent Varian ターボ ポンプに適合します。 TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS ターボ-V 1001

Agilent Varian ターボ水冷キット、金属ホースバーブ付き、6x8 mm チューブサイズ用に設計されたほとんどの Agilent ターボ分子ポンプに適合、Agilent Varian 部品番号 PN: 9699337 これらの金属水冷キットは、Agilent Varian TwisTorr 305 FS、750 の水冷を提供するように設計されています。 FS、および 850 FS ターボ分子真空ポンプ。高品質ポリウレタン (PUR) などの内径 6 mm x 外径 8 mm のプラスチック ホースに簡単に接続できるように設計されており、Agilent Varian の部品番号は PN 9699337 です。モデル: TwisTorr 305 FS TwisTorr を含む、ほとんどの Agilent Varian ターボ ポンプに適合します。 305 IC ツイトール 404 FS ツイトール 704 FS ツイトール 804 FS チューブロ V 1001

Agilent Varian 冷却ファン延長ケーブル、リモート ラックマウント コントローラ付き大型 TwisTorr および Turbo-V ターボ ポンプ用、30 メートル。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3501-68011。この Agilent Varian 冷却ファン延長ケーブルは長さ 30 メートルで、大型 TwisTorr FS および Turbo-V ターボ分子真空ポンプで使用され、冷却ファンとラックマウント コントローラに接続されます (横の下の図を参照)。ファン ケーブルは、ラック マウント コントローラの背面にある J3 FAN に差し込みます。次の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します:TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian ターボ ベント フランジ交換品、M8x1.2 付き KF-10 真空フランジ、ほとんどの Agilent ターボ分子真空ポンプに適合Agilent Varian 部品番号 PN: 9699108 これらの Agilent Varian ターボ ポンプ ベント フランジは、ほとんどの Agilent ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。 M8 x 1.2 ネジ付きの KF-10 真空フランジと Agilent Varian 部品番号 PN: 969-9108 が付いています。次の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します: TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian ターボポンプベントバルブキット、遅延ベント、通常開 (NO)、1.2 mm オリフィス、TwisTorr および Turbo-V ラックマウントコントローラ用。 Agilent Varian 部品番号 PN: X3501-68002。これらの Agilent Varian ターボ ポンプ ベント バルブ キットは、1.2 mm のオリフィス、M8 x 1.2 mm ネジ山を備え、ケーブル長は 5 メートルで、通常は開いており (NO)、ターボ コントローラの電源がオンになると閉じられます。電源が失われた場合、このベントバルブが開き、ターボを安全に停止させる速度で空気をターボに導入し始めます。これは、ポンプのベアリングに負担をかける共振周波数を通過する間にターボが費やす時間を制限することで、ターボの寿命を延ばすのに役立ちます (これらの共振を通過すると、ポンプの音が実際に大きくなるのが聞こえるでしょう)。停電後の排気は、補助ポンプからの逆流を防ぐためにも重要です。停電後にターボに真空が残っていると、補助ポンプからの油や破片がターボ ポンプに吸い戻される可能性があります。停電時にターボを保護するために、ベントバルブまたは粗引きライン常閉 (NC) 遮断バルブの使用をお勧めします。このキットには、Agilent Varian ターボ ポンプの側面に取り付けるために必要なハードウェアが含まれています。これは、Agilent Varian ラックマウント ターボ ポンプ コントローラの背面に差し込むように設計されており、中央の写真の J4 PURGE VENT を参照してください。Agilent Varian 部品番号は X3501-68002 です。以下の PDF ダウンロードセクションで利用可能な取扱説明書をご覧ください。次の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します:TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian ターボベントバルブ、ノーマルオープン (NO)、オリフィス 1.2 mm、TwisTorr または Turbo-V (統合コントローラまたはオンボードナビゲータ) ターボポンプ用。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699834。これらの Agilent Varian ベント バルブは、TwisTorr FS および Turbo-V (統合コントローラまたはオンボード ナビゲータ付き) ターボ ポンプ用に設計されています。ベントバルブが統合コントローラから電力とロジックを取得できるようにするためのアダプタも必要です。必要なアダプタの Agilent Varian 部品番号 X3514-68001 (中央の写真を参照)。これらの Agilent Varian ターボ ポンプ ベント バルブ キットには 1.2 mm のオリフィスがあり、通常は開いており (NO)、ターボ コントローラの電源がオンになると閉じられます。電源が失われた場合、このベントバルブが開き、ターボを安全に停止させる速度でターボに空気を導入し始めます。これにより、ポンプのベアリングに負担をかける共振周波数を通過する時間を制限することで、ターボの寿命を延ばすことができます (これらの共振を通過すると、ポンプの音が実際に大きくなるのが聞こえます)。停電後の排気は、補助ポンプからの逆流を防ぐためにも重要です。停電後にターボに真空が残っていると、補助ポンプからの油や破片がターボ ポンプに吸い戻される可能性があります。停電時にターボを保護するために、ベントバルブまたは粗引きライン常閉 (NC) 遮断バルブの使用をお勧めします。このキットには、Agilent Varian ターボ ポンプの側面に取り付けるために必要なハードウェアが含まれています。これらの 305-IC ベント バルブ用の 5 メートルのベント バルブ延長ケーブル (Agilent Varian 部品番号 9699949) も販売しています。これは、ローカル ツールまたは実験室機器からのロジックによってベントを制御するために使用されます。以下の PDF ダウンロード セクションで入手可能な取扱説明書をご覧ください。以下の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します: TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS オンボード ナビゲータ TwisTorr 704 FS オンボード ナビゲータ TwisTorr 804 FS オンボード ナビゲータ Turbo-V 1001 オンボード ナビゲータ

Agilent Varian ターボパージバルブ、10 SCCM KF-16 x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 969-9239。これらの Agilent Varian ターボパージ バルブは、10 SCCM の固定流量、KF-16 フランジ付きガス供給フィッティングを備え、M12 ベントポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、正確な小さなリーク率を提供し、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜が付いています。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar (分析機器、イオン注入装置) の場合の穏やかな腐食性動作向けの小さなリーク (1000 mbar で ~ 10 sccm)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9239。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、10 SCCM 1/4 Swagelok x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699240。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、10 SCCM の固定流量、1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。 。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9240があります。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、20 SCCM KF-16 x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699241。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、20 SCCM の固定流量、KF-16 ガス供給フィッティングを備え、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9241があります。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、20 SCCM 1/4 Swagelok x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699242。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、20 SCCM の固定流量、1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、M12 ベント ポートネジを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。 。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9242。

Agilent Varian ターボパージ バルブ、10 SCCM には 7/16 および 1/4 Swagelok 継手が付いており、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699232。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、固定流量 10 SCCM を備え、7/16 および 1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、ほとんどの中型のパージ ガス供給ラインに挿入できるように設計されています。ターボ分子真空ポンプ。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9232があります。

Agilent Varian ターボ分子真空ポンプ、20 SCCM には 7/16 および 1/4 Swagelok 継手が付いており、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合します。 Agilent Varian 部品番号 PN: 9699236。これらの Agilent Varian ターボ パージ バルブは、20 SCCM の固定流量を備え、7/16 および 1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備え、ほとんどの中型のパージ ガス供給ラインに挿入できるように設計されています。ターボ分子真空ポンプ。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付けを示す漫画を参照してください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。 ガスパージバルブは、ポンプベアリングを粒子状ガスや腐食性ガスから保護するための保護装置です。ポンプ内に移動します。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い校正サファイアオリフィスで作られており、チューブの各側面に 2 つの特別な PTFE 膜があり、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで閉塞するのを避けるためです。バルブの各バージョンは、特定の用途に適しています。 - 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の穏やかな腐食性動作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入機)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、重度の腐食性操作 (エッチング、CVD) での大リーク (1000 mbar で約 20 sccm)。別の流量を使用したい場合は、供給圧力を変更してください。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定流量値を提供します。流量はバルブの真空側圧力には依存しませんのでご注意ください。これらのターボパージバルブには、アジレントバリアン部品番号PN 969-9236があります。