Edwards nEXT930D ターボ真空ポンプ、ISO-K 200 インレット、ポンプ速度 925 l/s、空冷または水冷。エドワーズ部品番号: B8K200D00。 ISO-K 200 入口フランジを備えた Edwards nEXT930D ターボ分子高真空ポンプは、925 リットル/秒 (l/s) の排気速度と 3.5 x 10-9 mbar (2.6 x 10-9 Torr) の到達圧力を備えています。この nEXT930D ポンプには ISO KF-40 排気フォアライン フランジが付いています。オプションの入口スクリーン (粗目または細目) も利用できます。 nEXT930D シリーズ ターボ ポンプは、最大 600 ワットで 48 VDC の入力電力を必要とします (通常の動作は通常 500 ワット未満です)。ポンプには、永続的に取り付けられる長さ 0.6 メートルの 48 ボルト電源ケーブルと長さ 0.95 メートルの制御ケーブルが標準装備されています。 nEXT930D ターボ ポンプには、RS232、RS485、および USB インターフェイスを備えたコンパクトなオンボード コントローラー、5 つのステータス LED、および 1 つのアクセサリ (空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブ) を制御する機能が備わっています。必要なのは、適切な電源と開始/停止ロジックだけです。実験室での使用には、Edwards EPS 800 電源と、ポンプの操作用の Edwards TIC または TAG コントローラーのいずれかを推奨します。また、TIC および TAG、強制空冷キットおよび水冷キット、ソレノイド駆動ベントバルブなど、さまざまなオプションのアクセサリも提供しています。この nEXT930D ターボ ポンプの部品番号は B8K200D00 です。Edwards nEXT930D ターボ ポンプの仕様: 部品番号: B8K200D00 入口フランジ: ISO-K 200 ベース圧力: 3.5 x 10-9 mbar (2.6 x 10-9 Torr)。動作速度: 49,200 RPM 動作位置: 水平から垂直 (入口が上) ポンピング速度: 925 l/s 冷却: 強制空気または水 排気フランジ: KF-40 動作電圧: 48 VDC 最大電力: 600 ワット (通常動作 < 500電力と通信: DB15 シリアル RS232/RS485 インターフェイス、USB アクセサリ ポート 1 つ 推奨粗引きポンプ: nXDS35i または E2M28 nEXT ターボ ポンプには、高レベルの信頼性を維持しながらポンプ性能を最適化するように設計されたローターが付いています。 nEXT ターボ ポンプの「D」バージョンは、より高いバッキング ライン圧力に対する耐性を向上させるためにターボ分子ステージと抗力ステージの両方を備えており、すべてのガス種にわたって優れた排気速度と圧縮を備えています。これらの nEXT730D ターボ ポンプは、性能の向上に加えて、現場で保守可能なシャフト ベアリングを備えているため、ダウンタイムが大幅に短縮されます。 nEXT D ターボ ポンプは、ポンプの動作とスタンバイ速度を制御し、ソレノイド ベント バルブ (TAV5、TAV6) と空冷ユニット (24 VDC アクセサリ ポート経由) を操作するための駆動電子機器を備えたコンパクトなオンボード コントローラの恩恵を受けます。統合コントローラには、RS232 および RS485 シリアル通信用の DB15 インターフェイスが備わっています。 USB ポートを使用すると、Edwards nST2 PC ソフトウェア (以下のリンクから無料ダウンロード) を使用できます。コントローラには、ポンプの一般的なステータス、動作、およびサービス ステータスを知らせる 5 つのインジケータ LED もあります。オプションの TIC ターボ計器コントローラ、または TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラでポンプを制御できます。 CF フランジを備えた Edwards nEXT ポンプは、到達圧力が 10 ～ 10 Torr の範囲に達する真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シール ガスケットが使用され、真空チャンバーが完全に洗浄およびベークアウトされている場合)。 ISO フランジを備えたターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10-8 Torr の範囲に制限されます。 Con flat フランジ付き nEXT930D ポンプの吸気口は、ターボが水冷される場合、最大 100 °C まで加熱される可能性があります。 Conflat ポンプ用のヒーター バンドは特注品であり、別売りです。真空システム統合アプリケーションの場合、nEXT930D ポンプは、ユーザーが供給する適切な 48 VDC 電源によって電力を供給できます。実験室用途の場合は、Edwards EPS 800 電源と、ポンプ制御用の Edwards TIC ターボ機器コントローラまたは TAG ターボ & アクティブ ゲージ コントローラのいずれかを推奨します。 TIC シリーズのコントローラは、ベンチトップまたはラックに取り付け可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源であり、RS232/RS485 を介して Edwards nEXT シリーズ ポンプと通信し、ターボ ポンプの完全な監視と制御を提供し、オプションで 1 つ以上の真空計機器の監視と制御を提供します。 。 Edwards リレー ボックスを追加すると、TIC コントローラーと主電源バッキング ポンプ、ターボ ポンプ フランジ ヒーター バンド、およびバッキング ライン分離バルブの間の制御インターフェイスになります。 TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラーは、nEXT930D ターボ ポンプと真空計を操作でき、大型 LED ディスプレイにポンプ速度または真空圧力を表示できます。ポンプの取扱説明書と Edwards nEXT ポンプの製品パンフレットは、ダウンロード セクションから入手できます。一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 一般的なクリーン ポンプ アプリケーション 走査型電子顕微鏡 - SEM ビーム ラインと高エネルギー物理学 質量分析 電子顕微鏡 サンプル前処理 研究開発 高エネルギー物理学 産業用半導体コーティング 表面科学機器

Edwards nEXT930D ターボ真空ポンプ、Conflat CF 10.0 インチ DN200 CF インレット付き、ポンピング速度 925 l/s、空冷または水冷。Edwards 部品番号: B8K200F00。Edwards nEXT930D ターボ分子高真空ポンプ、DN200 CF、Conflat CF 10.0 インチインレットフランジ付きポンプ速度 925 リットル/秒 (l/s)、到達圧力 6 x 10-10 mbar (4.5 x 10-10 Torr)。この nEXT930D ポンプには ISO KF-40 排気フォアライン フランジが付いています。オプションの入口スクリーン ( nEXT930D シリーズ ターボ ポンプには、最大 600 ワットの 48 VDC 入力電力が必要です (通常の動作は通常 500 ワット未満です)。永続的に取り付けられた長さ 0.6 メートルの 48 ボルト電源ケーブルと長さ 0.95 メートルの制御装置nEXT930D ターボ ポンプには、RS232、RS485、および USB インターフェイスを備えたコンパクトなオンボード コントローラー、5 つのステータス LED、および 1 つのアクセサリ (空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブ) を制御する機能が備わっています。適切な電源と開始/停止ロジックが必要です。実験室での使用には、Edwards EPS 800 電源と、ポンプの操作用の Edwards TIC または TAG コントローラーのいずれかを推奨します。また、TIC および TAG、強制空冷キットおよび水冷キット、ソレノイド駆動ベントバルブなど、さまざまなオプションのアクセサリも提供しています。この nEXT930D ターボ ポンプの部品番号は B8K200F00 です。Edwards nEXT930D ターボ ポンプの仕様: 部品番号: B8K200F00 入口フランジ: DN200 CF、CF 10.0 インチ ベース圧力: 6 x 10-10 mbar (4.5 x 10-10 Torr) 動作速度: 49,200 RPM 動作位置: 水平から垂直 (入口が上) ポンピング速度: 925 l/s 冷却: 強制空気または水 排気フランジ: KF-40 動作電圧: 48 VDC 最大電力: 600 ワット (通常動作 < 500 ワット) 電力および通信: DB15 シリアル RS232/RS485 インターフェイス、USB 1 つのアクセサリ ポート 推奨粗引きポンプ: nXDS35i または E2M28 nEXT ターボ ポンプには、高レベルの信頼性を維持しながらポンプ性能を最適化するように設計されたローターが付いています。 nEXT ターボ ポンプの「D」バージョンは、より高いバッキング ライン圧力に対する耐性を向上させるためにターボ分子ステージと抗力ステージの両方を備えており、すべてのガス種にわたって優れた排気速度と圧縮を備えています。これらの nEXT730D ターボ ポンプは、性能の向上に加えて、現場で保守可能なシャフト ベアリングを備えているため、ダウンタイムが大幅に短縮されます。 nEXT D ターボ ポンプは、ポンプの動作とスタンバイ速度を制御し、ソレノイド ベント バルブ (TAV5、TAV6) と空冷ユニット (24 VDC アクセサリ ポート経由) を操作するための駆動電子機器を備えたコンパクトなオンボード コントローラの恩恵を受けます。統合コントローラには、RS232 および RS485 シリアル通信用の DB15 インターフェイスが備わっています。 USB ポートを使用すると、Edwards nST2 PC ソフトウェア (以下のリンクから無料ダウンロード) を使用できます。コントローラには、ポンプの一般的なステータス、動作、およびサービス ステータスを知らせる 5 つのインジケータ LED もあります。オプションの TIC ターボ計器コントローラ、または TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラでポンプを制御できます。 CF フランジを備えた Edwards nEXT ポンプは、到達圧力が 10 ～ 10 Torr の範囲に達する真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シール ガスケットが使用され、真空チャンバーが完全に洗浄およびベークアウトされている場合)。 ISO フランジを備えたターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10-8 Torr の範囲に制限されます。 Con flat フランジ付き nEXT930D ポンプの吸気口は、ターボが水冷される場合、最大 100 °C まで加熱される可能性があります。 Conflat ポンプ用のヒーター バンドは特注品であり、別売りです。真空システム統合アプリケーションの場合、nEXT930D ポンプは、ユーザーが供給する適切な 48 VDC 電源によって電力を供給できます。実験室用途の場合は、Edwards EPS 800 電源と、ポンプ制御用の Edwards TIC ターボ機器コントローラまたは TAG ターボ & アクティブ ゲージ コントローラのいずれかを推奨します。 TIC シリーズのコントローラは、ベンチトップまたはラックに取り付け可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源であり、RS232/RS485 を介して Edwards nEXT シリーズ ポンプと通信し、ターボ ポンプの完全な監視と制御を提供し、オプションで 1 つ以上の真空計機器の監視と制御を提供します。 。 Edwards リレー ボックスを追加すると、TIC コントローラーと主電源バッキング ポンプ、ターボ ポンプ フランジ ヒーター バンド、およびバッキング ライン分離バルブの間の制御インターフェイスになります。 TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラーは、nEXT930D ターボ ポンプと真空計を操作でき、大型 LED ディスプレイにポンプ速度または真空圧力を表示できます。ポンプの取扱説明書と Edwards nEXT ポンプの製品パンフレットは、ダウンロード セクションから入手できます。一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 一般的なクリーン ポンプ アプリケーション 走査型電子顕微鏡 - SEM ビーム ラインと高エネルギー物理学 質量分析 電子顕微鏡 サンプル前処理 研究開発 高エネルギー物理学 産業用半導体コーティング 表面科学機器

Edwards TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラー キット、200W 外部 24 VDC 電源および nEXT ターボ ポンプ用の AC 電源コード付き。この Edwards TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラ キットには、TAG コントローラ、適合する 200W 電源、および電源用の長さ 2 メートルの US プラグ 5-15P to C13 コネクタ、IEC 60320 入力電源コードが含まれています。 TAG は小型、低コストの 24 VDC ポンピング システム コントローラーで、幅広い真空用途に適しています。 TAG は、ターボ ポンプの速度を表示するためのシリアル インターフェイスを提供し、nEXT85D、nEXT240D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプに電力を供給できます。 TAG は、単一のアクティブ ゲージの真空圧を制御および表示したり、ポンプを強制空冷するためにファンを動作させたりすることもできます。 TAG コントローラは、すべての nEXT ターボ ポンプおよび APG、AIM、ASG、または WRG 真空計と互換性があります。 TAG の押しボタン インターフェイスを使用すると、大型 LED ディスプレイに表示されるポンプ速度と真空圧力を簡単に切り替えることができます。このコンパクトな 24 VDC コントローラは、ベンチトップでの使用に最適であり、スペースが限られているものの機能性と信頼性が不可欠なモバイル プラットフォームにも適しています。この TAG コントローラ キットの内容: Edwards TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラ、PN: D39592000 Edwards TAG コントローラ用 200W 外部電源、PN: D39592800 AC 電源コード、長さ 2 メートル、AC 115 V、US プラグ 5-15P ～ C13、PN: P106129

Edwards TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラー、24 VDC、電源なし、nEXT ターボ ポンプ用。エドワーズ部品番号: D39592000。 TAG は小型、低コストの 24 VDC ポンピング システム コントローラーで、幅広い真空用途に適しています。 TAG は、ターボ ポンプの速度を表示するためのシリアル インターフェイスを提供し、nEXT85D、nEXT240D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプに電力を供給できます。 TAG は、単一のアクティブ ゲージの真空圧を制御および表示したり、ポンプを強制空冷するためにファンを動作させたりすることもできます。 TAG コントローラは、すべての nEXT ターボ ポンプおよび APG、AIM、ASG、または WRG 真空計と互換性があります。 TAG の押しボタン インターフェイスを使用すると、大型 LED ディスプレイに表示されるポンプ速度と真空圧力を簡単に切り替えることができます。このコンパクトな 24 VDC コントローラは、ベンチトップでの使用に最適であり、スペースが限られているものの機能性と信頼性が不可欠なモバイル プラットフォームにも適しています。このリストは TAG コントローラーのみを対象としています。 24 VDC 電源 (部品番号 P106340) と標準の AC 電源コード (部品番号 P106129) が必要です。電源と AC 電源コードを含む TAG コントローラー キットである部品番号 P106255 も入手可能です。

Edwards 200W 外部電源、24 VDC、Edwards TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラー用。エドワーズ部品番号: D39592800。この Edwards 200W 外部電源は、TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラー (部品番号 P106255) に 24 VDC @8A を供給します。 TAG には独自の内部電源がないため、外部 200W 電源が必要です。この電源には、TAG コントローラに接続する恒久的に接続されたケーブルが付属しています。この電源の入力 AC ケーブルは別売りです (部品番号 P106129)。この 200W Edwards 電源の部品番号は D39592800 です。この電源は、TAG Turbo およびアクティブ ゲージ コントローラー用です。

入力電源コード 主電源ケーブル 長さ 2m、115 VAC、Edwards TIC コントローラ、リレー ボックス、または TAG 電源 US プラグ用。これは、AC 115 V、長さ 2 メートル、US プラグ 5-15P から C13 コネクタ付きの入力電源コード (主電源ケーブル) です。 Edwards TIC ターボ計器コントローラおよび TIC リレー ボックスで使用されます。また、TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラーに電力を供給する 200W 外部電源 (部品番号 P106340) にも使用されます (TAG には内部電源がありません)。 Edwards 部品番号 B8J200813、A50507000 または D40013120 の代替品であり、当社の部品番号 P102990 と同じです)。この電源コードは以下で使用されます。 Edwards TIC ターボ計器コントローラ Edwards TIC リレー ボックス Edwards TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラ 200W 外部電源 Edwards nXDSi ドライ スクロール ポンプ

Edwards 100W TIC ターボ計器コントローラ、真空ゲージ制御なし、nEXT ターボポンプ用。エドワーズ部品番号: D39711000。この Edwards 100W TIC ターボ計器コントローラは、nEXT85D ターボ ポンプを制御して電力を供給することができ、nEXT730D、nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプの制御に推奨されます。このコントローラーにはアクティブ ゲージ サポートがなく、Edwards 部品番号 D39711000 です。 Edwards TIC ターボ計器コントローラは、Edwards nEXT ターボ ポンプで使用できる一連の 100W および 200W コンパクト コントローラです。 TIC は、ポンプに接続されている DB15 シリアル ケーブルを介してターボ ポンプに接続し、制御します。同じケーブルを介して、TIC は 24 VDC ポンプ電力を小型の nEXT ポンプに供給できます。 TIC コントローラは、大きく鮮明なグラフィック ディスプレイ、タッチ センシティブ キーパッドによる使いやすい制御インターフェイス、およびユーザー提供のソフトウェアを使用してリモート PC で制御およびデータを監視するための DB9 RS232/485 インターフェイスを備えています。 TIC は 100 ～ 240 VAC の入力電源を必要とし、ラックマウントまたはベンチトップで使用できます。 TIC には入力電源ケーブルは付属していません (部品番号 P106129 をお勧めします)。すべての TIC バリアントは、Phoenix 4 ピン コネクタ (嵌合端は TIC に付属) を介して、強制空冷ファンとソレノイド駆動のベント バルブをサポートしています。 DB25 ロジック インターフェイスを介して Edwards リレー ボックス (部品番号 P106081) に接続すると、TIC はバッキング ポンプ、フランジ ヒーター バンド、および 24 VDC バッキング ライン バルブも制御できます。 TIC コントローラは、アクティブ ゲージ コントロールの有無にかかわらず使用できます。サポートされているゲージは、APG、AIM、ASG、または WRG シリーズのゲージです (IGC および Barocel モデルはサポートされていません)。 100W TIC ターボ計器コントローラについて TIC コントローラ、100W、アクティブ ゲージの制御なし、部品番号 D39711000 TIC コントローラ、100W、最大 3 つのアクティブ ゲージを制御、部品番号 D39721000 制御と nEXT85D ターボ ポンプへの電力供給が可能 nEXT730D の制御に推奨nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプ リレー ボックス (P106081) を使用して、バッキング ポンプ、ヒーター バンド、およびバッキング分離バルブを制御します。 200W TIC ターボ機器コントローラについて TIC コントローラ、200W、アクティブ ゲージ用の制御なし、部品番号 D39712000 TIC コントローラ、200W、制御最大 3 つのアクティブ ゲージ、部品番号 D39722000 制御および nEXT230D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプへの電力供給が可能 nEXT85D ターボ ポンプのより高速なランプ速度 (100W TIC と比較) リレー ボックス (P106081) を使用してバッキング ポンプ、ヒーター バンド、およびバックアイソレーションバルブ

Edwards 200W TIC ターボ計器コントローラ、真空ゲージサポートなし、nEXT ターボポンプ用。エドワーズ部品番号: D39712000。この Edwards 200W TIC ターボ計器コントローラは、nEXT230D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプを制御し、電力を供給できます。このコントローラーにはアクティブ ゲージ サポートがなく、Edwards 部品番号 D39712000 です。 Edwards TIC ターボ計器コントローラは、Edwards nEXT ターボ ポンプで使用できる一連の 100W および 200W コンパクト コントローラです。 TIC は、ポンプに接続されている DB15 シリアル ケーブルを介してターボ ポンプに接続し、制御します。同じケーブルを介して、TIC は 24 VDC ポンプ電力を小型の nEXT ポンプに供給できます。 TIC コントローラは、大型で鮮明なグラフィック ディスプレイ、タッチ センシティブ キーパッドによる使いやすい制御インターフェイス、およびユーザー提供のソフトウェアを使用してリモート PC で制御およびデータを監視するための DB9 RS232/485 インターフェイスを備えています。 TIC は 100 ～ 240 VAC の入力電源を必要とし、ラックマウントまたはベンチトップで使用できます。 TIC には入力電源ケーブルは付属していません (部品番号 P106129 をお勧めします)。すべての TIC バリアントは、Phoenix 4 ピン コネクタ (嵌合端は TIC に付属) を介して、強制空冷ファンとソレノイド駆動のベント バルブをサポートしています。 DB25 ロジック インターフェイスを介して Edwards リレー ボックス (部品番号 P106081) に接続すると、TIC はバッキング ポンプ、フランジ ヒーター バンド、および 24 VDC バッキング ライン バルブも制御できます。 TIC コントローラは、アクティブ ゲージ コントロールの有無にかかわらず使用できます。サポートされているゲージは、APG、AIM、ASG、または WRG シリーズのゲージです (IGC および Barocel モデルはサポートされていません)。 100W TIC ターボ計器コントローラについて TIC コントローラ、100W、アクティブ ゲージの制御なし、部品番号 D39711000 TIC コントローラ、100W、最大 3 つのアクティブ ゲージを制御、部品番号 D39721000 制御と nEXT85D ターボ ポンプへの電力供給が可能 nEXT730D の制御に推奨nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプ リレー ボックス (P106081) を使用して、バッキング ポンプ、ヒーター バンド、およびバッキング分離バルブを制御します。 200W TIC ターボ機器コントローラについて TIC コントローラ、200W、アクティブ ゲージ用の制御なし、部品番号 D39712000 TIC コントローラ、200W、制御最大 3 つのアクティブ ゲージ、部品番号 D39722000 制御および nEXT230D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプへの電力供給が可能 nEXT85D ターボ ポンプのより速いランプ速度 (100W TIC と比較) リレー ボックス (P106081) を使用してバッキング ポンプ、ヒーター バンド、およびバックアイソレーションバルブ

Edwards 100W TIC ターボ計器コントローラ、3 つのアクティブ真空ゲージをサポート、ネクスト ターボ ポンプ用。エドワーズ部品番号: D39721000。この Edwards 100W TIC ターボ計器コントローラは、nEXT85D ターボ ポンプの制御と電力供給が可能で、nEXT730D、nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプの制御に推奨されます。このコントローラは最大 3 つのアクティブな真空計をサポートしており、Edwards 部品番号 D39721000 です。 Edwards TIC ターボ計器コントローラは、Edwards nEXT ターボ ポンプで使用できる一連の 100W および 200W コンパクト コントローラです。 TIC は、ポンプに接続されている DB15 シリアル ケーブルを介してターボ ポンプに接続し、制御します。同じケーブルを介して、TIC は 24 VDC ポンプ電力を小型の nEXT ポンプに供給できます。 TIC コントローラは、大型で鮮明なグラフィック ディスプレイ、タッチ センシティブ キーパッドによる使いやすい制御インターフェイス、およびユーザー提供のソフトウェアを使用してリモート PC で制御およびデータを監視するための DB9 RS232/485 インターフェイスを備えています。 TIC は 100 ～ 240 VAC の入力電源を必要とし、ラックマウントまたはベンチトップで使用できます。 TIC には入力電源ケーブルは付属していません (部品番号 P106129 をお勧めします)。すべての TIC バリアントは、Phoenix 4 ピン コネクタ (嵌合端は TIC に付属) を介して、強制空冷ファンとソレノイド駆動のベント バルブをサポートしています。 DB25 ロジック インターフェイスを介して Edwards リレー ボックス (部品番号 P106081) に接続すると、TIC はバッキング ポンプ、フランジ ヒーター バンド、および 24 VDC バッキング ライン バルブも制御できます。 TIC コントローラは、アクティブ ゲージ コントロールの有無にかかわらず使用できます。サポートされているゲージは、APG、AIM、ASG、または WRG シリーズのゲージです (IGC および Barocel モデルはサポートされていません)。 100W TIC ターボ計器コントローラについて TIC コントローラ、100W、アクティブ ゲージの制御なし、部品番号 D39711000 TIC コントローラ、100W、最大 3 つのアクティブ ゲージを制御、部品番号 D39721000 制御と nEXT85D ターボ ポンプへの電力供給が可能 nEXT730D の制御に推奨nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプ リレー ボックス (P106081) を使用して、バッキング ポンプ、ヒーター バンド、およびバッキング分離バルブを制御します。 200W TIC ターボ機器コントローラについて TIC コントローラ、200W、アクティブ ゲージ用の制御なし、部品番号 D39712000 TIC コントローラ、200W、制御最大 3 つのアクティブ ゲージ、部品番号 D39722000 制御および nEXT230D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプへの電力供給が可能 nEXT85D ターボ ポンプのより速いランプ速度 (100W TIC と比較) リレー ボックス (P106081) を使用してバッキング ポンプ、ヒーター バンド、およびバックアイソレーションバルブ

Edwards 200W TIC ターボ計器コントローラ、3 つのアクティブ真空ゲージをサポート、ネクスト ターボ ポンプ用。エドワーズ部品番号: D39722000。この Edwards 200W TIC ターボ計器コントローラは、nEXT230D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプを制御し、電力を供給できます。このコントローラは最大 3 つのアクティブな真空計をサポートしており、Edwards 部品番号 D39722000 です。 Edwards TIC ターボ計器コントローラは、Edwards nEXT ターボ ポンプで使用できる一連の 100W および 200W コンパクト コントローラです。 TIC は、ポンプに接続されている DB15 シリアル ケーブルを介してターボ ポンプに接続し、制御します。同じケーブルを介して、TIC は 24 VDC ポンプ電力を小型の nEXT ポンプに供給できます。 TIC コントローラは、大型で鮮明なグラフィック ディスプレイ、タッチ センシティブ キーパッドによる使いやすい制御インターフェイス、およびユーザー提供のソフトウェアを使用してリモート PC で制御およびデータを監視するための DB9 RS232/485 インターフェイスを備えています。 TIC は 100 ～ 240 VAC の入力電源を必要とし、ラックマウントまたはベンチトップで使用できます。 TIC には入力電源ケーブルは付属していません (部品番号 P106129 をお勧めします)。すべての TIC バリアントは、Phoenix 4 ピン コネクタ (嵌合端は TIC に付属) を介して、強制空冷ファンとソレノイド駆動のベント バルブをサポートしています。 DB25 ロジック インターフェイスを介して Edwards リレー ボックス (部品番号 P106081) に接続すると、TIC はバッキング ポンプ、フランジ ヒーター バンド、および 24 VDC バッキング ライン バルブも制御できます。 TIC コントローラは、アクティブ ゲージ コントロールの有無にかかわらず使用できます。サポートされているゲージは、APG、AIM、ASG、または WRG シリーズのゲージです (IGC および Barocel モデルはサポートされていません)。 100W TIC ターボ計器コントローラについて TIC コントローラ、100W、アクティブ ゲージの制御なし、部品番号 D39711000 TIC コントローラ、100W、最大 3 つのアクティブ ゲージを制御、部品番号 D39721000 制御と nEXT85D ターボ ポンプへの電力供給が可能 nEXT730D の制御に推奨nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプ リレー ボックス (P106081) を使用して、バッキング ポンプ、ヒーター バンド、およびバッキング分離バルブを制御します。 200W TIC ターボ機器コントローラについて TIC コントローラ、200W、アクティブ ゲージ用の制御なし、部品番号 D39712000 TIC コントローラ、200W、制御最大 3 つのアクティブ ゲージ、部品番号 D39722000 制御および nEXT230D、nEXT300D、または nEXT400D ターボ ポンプへの電力供給が可能 nEXT85D ターボ ポンプのより速いランプ速度 (100W TIC と比較) リレー ボックス (P106081) を使用してバッキング ポンプ、ヒーター バンド、およびバックアイソレーションバルブ

Edwards 延長電源および通信ケーブルは、TIC または TAG コントローラを nEXT ターボ ポンプ、D-Sub 15 ピン、長さ 1 m に接続します。エドワーズ部品番号: D39700835。この Edwards の 1m 延長電源および通信ケーブルは、nEXT ターボ ポンプと TIC (ターボ計器コントローラ) または TAG (ターボ & アクティブ ゲージ コントローラ) の間を接続します。ポンプとコントローラー間の距離を広げるために使用します。この延長ケーブルには、両端に D-Sub 15 ピン コネクタがあり、オスとメスが 1 つずつ付いています。 Edwards nEXT ターボ ポンプには、長さ 0.3 m の電源および通信ケーブルが恒久的に取り付けられています。この 1 メートルの延長ケーブルにより、ポンプからコントローラーまでのケーブルの全長が 1.3 メートルに増加します。この 1 メートルの延長電源および通信ケーブルには、Edwards 部品番号 D39700835 が付いています。この Edwards 拡張電源および通信ケーブルは、TIC または TAG コントローラおよび次の nEXT ポンプと互換性があります: nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 延長電源および通信ケーブルは、TIC または TAG コントローラを nEXT ターボ ポンプ、D-Sub 15 ピン、長さ 2 m に接続します。エドワーズ部品番号: D39700836。この Edwards の 2m 延長電源および通信ケーブルは、nEXT ターボ ポンプと TIC (ターボ計器コントローラ) または TAG (ターボ & アクティブ ゲージ コントローラ) の間を接続します。ポンプとコントローラー間の距離を広げるために使用します。この延長ケーブルには、両端に D-Sub 15 ピン コネクタ (オス、メスが 1 つ) が付いています。 Edwards nEXT ターボ ポンプには、長さ 0.3 m の電源および通信ケーブルが恒久的に取り付けられています。この 2 メートルの延長ケーブルにより、ポンプからコントローラーまでのケーブルの全長が 2.3 メートルに増加します。この 2 メートルの延長電源および通信ケーブルには、Edwards 部品番号 D39700836 が付いています。この Edwards 拡張電源および通信ケーブルは、TIC または TAG コントローラおよび次の nEXT ポンプと互換性があります: nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 延長電源および通信ケーブルは、TIC または TAG コントローラを nEXT ターボ ポンプ、D-Sub 15 ピン、長さ 5 m に接続します。エドワーズ部品番号: D39700837。この Edwards の 5m 延長電源および通信ケーブルは、nEXT ターボ ポンプと TIC (ターボ計器コントローラ) または TAG (ターボ & アクティブ ゲージ コントローラ) の間を接続します。ポンプとコントローラー間の距離を広げるために使用します。この延長ケーブルには、両端に D-Sub 15 ピン コネクタがあり、オスとメスが 1 つずつ付いています。 Edwards nEXT ターボ ポンプには、長さ 0.3 m の電源および通信ケーブルが恒久的に取り付けられています。この 5 メートルの延長ケーブルにより、ポンプからコントローラーまでのケーブルの全長が 5.3 メートルに増加します。この 5 メートルの延長電源および通信ケーブルには、Edwards 部品番号 D39700837 が付いています。この Edwards 拡張電源および通信ケーブルは、TIC または TAG コントローラおよび次の nEXT ポンプと互換性があります: nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards Logic インターフェイス ケーブル、TIC コントローラーと TIC リレー ボックス間を接続、25 ピン D-Sub、長さ 2 m。エドワーズ部品番号: D39700833。このエドワーズ ロジック インターフェイス ケーブルは、TIC ターボ計測器コントローラーと TIC リレー ボックスを相互接続します。このオス-メス 25 ピン D-Sub ケーブルは長さ 2 メートルです。これにより、TIC はバッキング ポンプ、吸気フランジ ヒーター バンド (ベイクアウト バンド)、および遮断バルブへの電力供給を制御できます。このロジック インターフェイス ケーブルの Edwards 部品番号は D39700833 です。このロジック インターフェイス ケーブルは以下と互換性があります: TIC ターボ計器コントローラ (P106075、P105874、P106074、P106128) TIC リレー ボックス (P106081) TIC ターボ計器コントローラおよび TIC リレー ボックスは、次のターボ ポンプと互換性があります: nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEX T930D ネクスト1230H

Edwards TIC リレー ボックス。TIC がバッキング ポンプ、フランジ ヒーター バンド、隔離バルブを制御できるようにします。設定値はありません。エドワーズ部品番号: D39711805。この Edwards TIC リレー ボックスは、TIC コントローラーと主電源バッキング ポンプ、ターボ ポンプ フランジ ヒーター バンド、およびバッキング ライン分離バルブの間の制御インターフェイスとして機能します。このリレー ボックスにはセットポイント リレーがありません。リレー ボックスは、TIC コントローラーと一緒にベンチトップまたはラックに取り付けて使用できます。 TIC リレー ボックスは、25 ピン D-Sub ロジック インターフェイス ケーブル (部品番号 P1012534) を使用して TIC ターボ計測器コントローラに接続します。リレー ボックスは 100 ～ 240 VAC の入力電源を受け入れます。 Edwards 入力 (主電源) 電源ケーブル (部品番号 P106129) は別売りです。補助ポンプへの電力供給の最大定格は 240 VAC@10A、ヒーター (ベイクアウト) バンドの最大定格は 240 VAC@1A です。バックポンプとヒーターバンドの接続は個別に融着されています。バッキングポンプとヒーターバンドは、リレーボックスに供給される入力電圧と同じ電圧定格でなければならないことに注意してください。隔離バルブ制御の最大定格は 24 VDC@0.5A で、補助ポンプが動作しているときは常に通電されます。この Edwards リレー ボックスの部品番号は D39711805 です。 TIC リレー ボックスおよび TIC ターボ計器コントローラは、次のターボ ポンプと互換性があります: nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards EPS 800 電源、48 VDC、800 W、nEXT730D、930D、および 1230H ターボ ポンプ用。エドワーズ部品番号: B8J200819。この Edwards EPS 800 は、最大 17.1 アンペアで 48 VDC 出力を提供する 800 ワット電源で、nEXT シリーズ ターボ ポンプ モデル nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H に電力を供給するように設計されています。 100 ～ 240 VAC 入力電源から 48 VDC クリーン ヒューズ付き電力を供給します。 EPS 800 はポンプに取り付けることも、ベンチトップ ユニットとして使用することもできます。 EPS 800 をターボ ポンプの側面に取り付けるには、アダプター取り付けキット (部品番号 P1012528) が必要です。 EPS 800 電源がポンプに直接取り付けられている場合、ポンプの長さ 0.6 メートルの恒久的に取り付けられた電源ケーブルを使用して、ポンプを EPS 800 電源に直接接続します。この場合、ポンプと電源間の延長ケーブルは必要ありません。あるいは、EPS 800 電源をリモート ベンチトップ電源として使用することもできます。 EPS 800 電源をポンプに接続するための入力電源コードと延長電源ケーブルが必要です (以下の部品番号を参照)。 EPS 800 電源は、(現在は廃止されている) EPS 500 ユニットに代わるもので、Edwards 部品番号 B8J200819 があります。 Edwards 800 電源は、次のポンプで使用されます。 nEXT730D nEXT930D nEXT1230H Edwards 800 電源用の入力 (主電源) 115 VAC 電源ケーブル: 長さ 2 メートル、P106129 長さ 3 メートル、P1012348 nEXT ターボ ポンプ間の距離を増やすための延長ケーブルおよび Edwards 800 電源: 長さ 3 メートル、P1012349

Edwards EPS 800 電源用入力電源コード/主電源ケーブル、US 115 VAC 5-15P プラグ、長さ 2.5 m。エドワーズ部品番号: B8J200830。これは、EPS 800 電源専用の Edwards 電源コード (主電源ケーブル)、115 VAC、長さ 2.5 m です。一端には EPS 800 電源に接続する 4 ピン スクリュー ロック プラグがあり、もう一端には US プラグ 5-15P が付いています。この Edwards の 2.5 メートル長の入力電源コードの部品番号は B8J200830 です。この OEM 電源コードは、Edwards EPS 800 電源に対応しています。

Edwards EPS 800 電源用 IVP 入力電源コード/主電源ケーブル、長さ 2.5 m、US プラグ、入力 115 VAC、出力 48 VDC。これは、Edwards EPS 800 電源専用の IVP 電源コード (主電源ケーブル)、115 VAC、長さ 2.5 m です。これには、一端で Edwards EPS 800 電源に接続する 4 ピン スクリュー ロック プラグがあり、もう一端で US プラグ 5-15P が付いています。この IVP 電源コードは次の用途に適しています: Edwards EPS 800 電源

EPS 800 電源用 IVP 入力電源コード/主電源ケーブル、US 240 VAC 5-15P プラグ、長さ 2.5 m。これは、Edwards EPS 800 電源専用の IVP 電源コード (主電源ケーブル)、240 VAC、長さ 2.5 m です。これには、一端で Edwards EPS 800 電源に接続する 4 ピン スクリュー ロック プラグがあり、もう一端で US プラグ 5-15P が付いています。この IVP 電源コードは次の用途に適しています: Edwards EPS 800 電源

Edwards 電源ケーブル、nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H ターボ ポンプを EPS 800 電源に接続、長さ 3m。エドワーズ部品番号: B8J200824。この Edwards 長さ 3 m、48 VDC 電源延長ケーブルは、nEXT730D、nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプと EPS 800 電源の間の電源ケーブルの長さを延長します。この 3 メートルのケーブルは通常、電源がポンプから離れたベンチトップで使用される場合に使用されます。長さ 5 メートルの延長電源ケーブルも利用できます (部品番号 P1012349)。この 3 メートルの長さの電源ケーブルには、両端に 3 ピン ヘイスティングス タイプのコネクタがあり、Edwards の部品番号は B8J200824 です。 EPS 800 電源がポンプに直接取り付けられている場合 (取り付けキット部品番号 P1012528 を使用)、ポンプの長さ 0.6 メートルの恒久的に取り付けられた電源ケーブルを使用してポンプを EPS 800 電源に直接接続することに注意してください。この場合、ポンプから電源までの延長ケーブルは必要ありません。この Edwards 延長ケーブルは、EPS 800 電源と次のターボ ポンプの間の距離を延長するために使用されます: nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 電源延長ケーブル、nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H ターボ ポンプを EPS 800 電源に接続、長さ 5 m。エドワーズ部品番号: B8J200825。この Edwards の 5 m 長の 48 VDC 電源延長ケーブルは、nEXT730D、nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプと EPS 800 電源の間の電源ケーブルの長さを延長します。この 5 メートルの延長ケーブルは通常、電源がポンプから離れたベンチトップで使用される場合に使用されます。長さ 3 メートルの延長電源ケーブルも利用できます (部品番号 P1012527)。この 5 メートルの長さの延長電源ケーブルには、両端に 3 ピン ヘイスティングス タイプのコネクタがあり、Edwards の部品番号は B8J200825 です。 EPS 800 電源がポンプに直接取り付けられている場合 (取り付けキット部品番号 P1012528 を使用)、ポンプの長さ 0.6 メートルの恒久的に取り付けられた電源ケーブルを使用してポンプを EPS 800 電源に直接接続することに注意してください。この場合、ポンプと電源間の延長ケーブルは必要ありません。この Edwards 延長ケーブルは、EPS 800 電源と次のターボ ポンプの間の距離を延長するために使用されます: nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 取り付けキットは、EPS 800 電源を nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H ターボ ポンプの側に適合させます。エドワーズ部品番号: B8J200832。この Edwards 適応取り付けキットは、EPS 800 電源を nEXT730D、nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプの側面に取り付けるために必要です。取り付け金具が付属しています。これらのターボ ポンプ用のラジアル空冷ユニット (730D および 930D ポンプ、部品番号 P1012350) は、この取り付けキットと組み合わせて使用できます。この取り付けキットの部品番号は edwards B8J200832 です。この取り付けキットを使用して EPS 800 電源をポンプに直接取り付ける場合、ポンプの長さ 0.6 メートルの恒久的に取り付けられた電源ケーブルを使用してポンプを電源に直接接続します。ポンプから電源までの延長ケーブルは必要ありません。この取り付けキットは次のポンプで使用できます: nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards ファイン センタリング リング インレット スクリーン (1.1 mm)、スプリンター ガードは、ISO-K 200 フランジを備えた nEXT930D および nEXT1230H ターボ ポンプに適合します。エドワーズ部品番号: B8J200808。この Edwards の細かいスクリーン付きセンタリング リング (1.1 mm メッシュ) は、真空流をフィルタリングし、物体が nEXT930D または nEXT1230H ターボ ポンプに吸い込まれるのを防ぎます。このスクリーンのフランジ サイズは ISO-K 200 です。使用するガスによっては、このスクリーンを使用するとポンプ速度が若干低下します。このファイン スクリーン センタリング リングは、Edwards 部品番号 B8J200808 です。このスクリーンは以下に適合します: ISO-K 200 インレット付き nEXT930D、エドワーズ ポンプ部品番号: B8K200D00 ISO-K 200 インレット付き nEXT1230H、エドワーズ ポンプ部品番号: B8N4A0D00

Edwards ファイン センタリング リング インレット スクリーン (1.1 mm)、スプリンター ガード、CF 10.0 インチ フランジ付きの nEXT930D および nEXT1230H ターボ ポンプに適合します。エドワーズ部品番号: B8J200810。この Edwards の細かいスクリーン付きセンタリング リング (1.1 mm メッシュ) は、真空流をフィルタリングし、物体が nEXT930D または nEXT1230H ターボ ポンプに吸い込まれるのを防ぎます。このスクリーンのフランジサイズは CF 10.0 インチです。使用するガスによっては、このスクリーンを使用するとポンプ速度が若干低下します。このファイン スクリーン センタリング リングには、Edwards 部品番号 B8J200810 があります。このスクリーンは以下に適合します: CF 10.0 インチ (DN 200 CF) インレット付き nEXT930D、エドワーズ ポンプ部品番号: B8K200F00 CF 10.0 インチ (DN 200 CF) インレット付き nEXT1230H、エドワーズ ポンプ部品番号: B8N4A0F00

Edwards 粗センタリングリング入口スクリーン (2.5 mm)、スプリンターガード、ISO-K 200 フランジを備えた nEXT930D および nEXT1230H ターボポンプに適合します。エドワーズ部品番号: B8J200807。この Edwards の粗いスクリーン付きセンタリング リング (2.5 mm メッシュ) は、真空流をフィルタリングし、物体が nEXT930D または nEXT1230H ターボ ポンプに吸い込まれるのを防ぎます。このスクリーンのフランジ サイズは ISO-K 200 です。使用するガスによっては、このスクリーンを使用するとポンプ速度が若干低下します。この粗スクリーン センタリング リングには、Edwards 部品番号 B8J200807 があります。このスクリーンは以下に適合します: ISO-K 200 インレット付き nEXT930D、エドワーズ ポンプ部品番号: B8K200D00 ISO-K 200 インレット付き nEXT1230H、エドワーズ ポンプ部品番号: B8N4A0D00

Edwards 粗センタリングリング入口スクリーン (2.5 mm)、スプリンターガード、CF 10.0 インチフランジ付きの nEXT930D および nEXT1230H ターボポンプに適合します。エドワーズ部品番号: B8J200809。この Edwards の粗いスクリーン付きセンタリング リング (2.5 mm メッシュ) は、真空流をフィルタリングし、物体が nEXT930D または nEXT1230H ターボ ポンプに吸い込まれるのを防ぎます。このスクリーンのフランジサイズは CF 10.0 インチです。使用するガスによっては、このスクリーンを使用するとポンプ速度が若干低下します。この粗スクリーン センタリング リングには、Edwards 部品番号 B8J200809 が付いています。このスクリーンは以下に適合します: CF 10.0 インチ (DN 200 CF) インレット付き nEXT930D、エドワーズ ポンプ部品番号: B8K200F00 CF 10.0 インチ (DN 200 CF) インレット付き nEXT1230H、エドワーズ ポンプ部品番号: B8N4A0F00

コンフラット フランジ (CF) 銅ガスケット CF サイズ 10 インチ、CF フランジ 10.0 インチ。これらのコンフラット銅コンフラット ガスケットは、10 インチのコンフラット フランジ サイズに適合します。コンフラット (CF) フランジは、超高真空用途に使用されます。これらのフィッティングは銅を使用します。ガスケットとナイフエッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10 ～ 13 torr (10 ～ 11 Pa) までの動作が可能で、ベークアウトのために 450°C まで加熱できます。北米のフランジ サイズはフランジの外径によって示されます。インチ: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4 1/2、6、8、10、12、13 1/4、14 および 16 1/2 、ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、 DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は耐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラット フランジ (CF) 銅ガスケット CF サイズ 10 インチ - 各 1 枚CF フランジ サイズ: CF 10 インチ共通寸法: フランジ外径 ( OD) 10 インチ、ガスケット外径 (OD) 8.743 インチ、ガスケット内径 (ID) 8.007 インチ

Edwards nEXT 730D および 930D ターボポンプ用デュアルファンラジアル空冷ユニット。エドワーズ部品番号: B8J200800。この Edwards ラジアル空冷デュアル ファン ユニットは、nEXT730D および nEXT930D ターボ ポンプに適合し、ポンプに垂直な空気の流れを提供します。空冷設備はポンプの補助コネクタを介して電力が供給され、ポンプがオンのときは常に動作します。このラジアル空冷ユニットは、ポンプ側に取り付けられた EPS 800 電源と組み合わせて使用できます (取り付けキット部品番号 P1012528 が必要です)。電源をポンプから離れた場所で使用する場合、電源取り付けキットは必要ありません。この Edwards ラジアル空冷ユニットには取り付けネジが含まれており、部品番号は B8J200800 です。このデュアルファンラジアル空冷キットは、次のポンプで使用できます: nEXT730D nEXT930D

Edwards デュアル ファン ラジアル エア クーリング ユニット (nEXT 1230H ターボ ポンプ用)。Edwards 部品番号: B8J200801。この Edwards ラジアル エア クーリング デュアル ファン ユニットは nEXT1230H ターボ ポンプに適合し、ポンプに対して垂直にエア フローを提供します。エア クーリング ファシリティはポンプの補助コネクタを介して電力供給され、ポンプがオンのときは常に稼働します。このラジアル エア クーリング ユニットは、ポンプの側面に取り付けられた EPS 800 電源と組み合わせて使用できます (取り付けキット部品番号 P1012528 が必要です)。電源をポンプから離れた場所で使用する場合は、電源取り付けキットは必要ありません。この Edwards ラジアル エア クーリング ユニットには取り付けネジが付属しており、部品番号は B8J200801 です。このデュアル ファン ラジアル エア クーリング キットは、次のポンプで使用できます: nEXT1230H

Edwards 水冷ブロックユニット、nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H ターボポンプ用、外径 8mm ホース用プッシュフィットコネクタ、G 1/8 インチ継手付き。Edwards 部品番号: B8J200820。この Edwards 水冷ユニットは、nEXT730D および nEXT930D ターボではオプションです。 nEXT1230H ポンプに標準で含まれています。水冷ブロックはポンプのベースのスロットにスライドし、4 本の M4 ネジで固定されています。この水冷ブロックには、供給ホースと排出ホース用のプッシュフィット コネクタが付いています (外径 8mm)プラスチック ホース)。ホース接続のネジを外して取り外すと、統合された G 1/8 インチネジを使用できます。この水冷キットは、CF フランジ ポンプでフランジ ヒーター バンドを使用する場合に必要です。Edwards nEXT ターボ ポンプにも次の利点があります。高いガス流量、周期的な動作、および/または高い周囲温度がある場合は、水冷を使用します。長期間トラブルなく動作させるために、冷却水は清浄で、油、グリース、浮遊物質が含まれていない必要があります。この水冷キットには、エドワーズ部品番号 B8J200820。この水冷ユニットは以下に適合します: nEXT730D ターボ ポンプ nEXT930D ターボ ポンプ nEXT1230H ターボ ポンプ

nEXT730D および nEXT930D ターボ ポンプ用 Edwards ベアリング キット。エドワーズ部品番号: B8J200827。これは、nEXT730D および nEXT930D ターボ ポンプ用の Edwards ベアリング キットです。ベアリングは、Edwards の訓練を受けたサービス エンジニアであればオンサイトで保守できます。ベアリングの交換には、Edwards ベアリング ツール キット (部品番号 P1012533) が必要です。 nEXT730D および nEXT930D ポンプ用のこのベアリング キットには以下が含まれます: 溝付きボール ベアリング、8x23x15 mm O リング、35x3 mm、0.4 ml LVO 821 グリース付き FKM グリース シリンジ ポンプのマニュアルに指定されているサービス間隔およびサービス マニュアルの取り付け手順に従ってください。この Edwards ベアリング キットの部品番号は B8J200827 です。このベアリング キットは以下に適合します: 適合: nEXT730D ターボ ポンプ 適合: nEXT930D ターボ ポンプ

nEXT730D および nEXT930D ターボ ポンプ用 Edwards ベアリング交換ツール キット。エドワーズ部品番号: B8J200845。これは、nEXT730D および nEXT930D ターボ ポンプ用の Edwards ベアリング交換ツール キットです。このツールキットは、ポンプのベースにあるベアリング (ベアリング部品番号 P1012532) を取り外して交換するために必要です。ベアリングは、Edwards の訓練を受けたサービス エンジニアであればオンサイトで保守できます。ポンプのマニュアルに指定されているサービス間隔およびサービスマニュアルの取り付け手順に従ってください。この Edwards ベアリング ツール キットの部品番号は B8J200845 です。このベアリング ツール キットは以下で使用されます: nEXT730D ターボ ポンプ nEXT930D ターボ ポンプ

nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H ターボ ポンプ アクセサリ用の Edwards アクセサリ Y コネクタ。エドワーズ部品番号: B8G200837。この Edwards アクセサリ Y コネクタは、nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H ターボ ポンプのアクセサリ ポートに接続し、2 つのアクセサリを同時に接続できるようにします。両方のデバイスは並行して切り替えられます (つまり、通電されていないアクティブ/非アクティブ)。ポンプのアクセサリ インターフェイスは、接続されたデバイスですぐに操作できる状態になります (ポンプのスイッチがオンになると通電されます)。空冷ユニット、ベントまたはパージバルブ、リレーなどの二次デバイスは、アクセサリ接続を介して直接通電して作動させることができます。この Y コネクタは、4 ピン アクセサリ ポートの代わりに 3 ピン フェニックス コネクタ ソケットを備えた nEXT 240D、nEXT300D、または nEXT400D ポンプでは使用できないことに注意してください。この Y コネクタには Edwards 部品番号 B8G200837 があります。 Edwards アクセサリの Y コネクタは、nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H と互換性があります。

Edwards アクセサリ延長ケーブル、nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D および nEXT1230H ターボポンプアクセサリ用、長さ 0.2 m。エドワーズ部品番号: B8G200836。この Edwards アクセサリ延長ケーブルは、nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプのアクセサリ ポートまたはアクセサリ Y コネクタ (部品番号 P1012518) に接続します。これにより、アクセサリからポンプまでの距離が 0.2 メートル延長されます。ケーブルには、スペースが限られている場所に設置できるように、ストレートのメス コネクタが 1 つと直角のオス コネクタが 1 つあります。空冷ユニット、ベントまたはパージバルブ、リレーなどのデバイスは、アクセサリ接続を介して直接通電して作動させることができます。この Y コネクタは、3 ピン Phoenix コネクタ ソケットを備えた nEXT 240D、nEXT300D、または nEXT400D ポンプでは使用できないことに注意してください。このアクセサリ延長ケーブルには、Edwards 部品番号 B8G200836 が付いています。 Edwards アクセサリ延長ケーブルは、nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H と互換性があります。

Edwards アクセサリ延長ケーブル、nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D および nEXT1230H ターボ ポンプ アクセサリ用の裸ワイヤ端付き、長さ 1.5 m。エドワーズ部品番号: B8G200839。この Edwards アクセサリ延長ケーブルは、nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプのアクセサリ ポート、またはアクセサリ Y コネクタ (部品番号 P1012518) の一端に接続します。ケーブルのもう一方の端は裸線で終端されていません。このケーブルにより、アクセサリからポンプまでの距離が 1.5 メートル延長され、嵌合アクセサリ プラグで事前配線されていないアクセサリの使用が可能になります。空冷ユニット、ベントまたはパージバルブ、リレーなどのデバイスは、アクセサリ接続を介して直接通電して作動させることができます。この Y コネクタは、4 ピン アクセサリ ポートの代わりに 3 ピン フェニックス コネクタ ソケットを備えた nEXT 240D、nEXT300D、または nEXT400D ポンプでは使用できないことに注意してください。このアクセサリ延長ケーブル (オスのアクセサリ コネクタから裸線へ) は、Edwards 部品番号 B8G200839 です。 Edwards アクセサリ延長ケーブル (アクセサリ コネクタから裸線へ) は、以下と互換性があります: nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TAV5 パージ ベント バルブ通常開 (N/O)、24 VDC、BSPP (G) 1/8 インチ継手付きの nEXT ターボ ポンプ用の長さ 3 m の未終端ワイヤ付き。 Edwards 部品番号: B58066010 この Edwards TAV5 通気バルブは、nEXT85D、240D、300D、400D、730D、930D、または 1230H シリーズのターボ ポンプに取り付けることができます。これは常開 (N/O) バルブであり、DC24 V で動作します。この TAV5 ソレノイド バルブには、終端処理されていない (裸線) 端の 3 メートル長の電源ケーブルが付属しており、ポンプのベント ポートに接続するための BSPP (G) 1/8 インチ フィッティングが付いています。このバルブはポンプのアクセサリ ポートから電力を供給できます。 (nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D、または nEXT1230H) またはコネクタ ソケット (nEXT240D、nEXT300D、または nEXT400D)、TIC コントローラー、または別の 24 VDC 電源。85D、730D、930D、または 1230H nEXT ターボ ポンプと使用する場合、アクセサリ延長ケーブルが必要です (部品番号 P1012520)。このケーブルの一端にはアクセサリ コネクタがあり、もう一方の端は終端されていません。240D、300D、および 400D ポンプの場合、バルブの未終端電源線はポンプ (24 VDC) に接続されます。フェニックス コネクタ ソケット (嵌合フェニックス プラグはポンプに付属しています)。この常開バルブは停電時通気バルブとして使用できます。停電が発生すると、このバルブが閉じてポンプと前真空ラインを通気し、オイルを保持します。 TAV5 ベント バルブは、前真空ラインから逆拡散する蒸気を防ぎます。TAV5 ベント バルブは直径 0.5 mm のオリフィスを備えており、5 リットル未満の小型真空システムのベントに適しています (システム容積が大きい場合は、オリフィス 1.0 mm の TAV6 ベント バルブ、部品番号を使用してください) P106355）。 TAV5 ベント バルブは、ターボ ポンプに付属の手動ベント バルブを置き換えることも、ターボ分子ポンプの上流の真空システムの他の適切なポートに取り付けることもできます。このバルブには、長さ 3 メートルの終端処理されていないケーブル、焼結青銅入口フィルタ、乾燥窒素供給源に接続するための波形ホース コネクタ、およびオプションで真空システムに直接接続するための DN10NW アダプタが付属しています。この TAV5 常開 (NO) ソレノイド通気バルブには、Edwards 部品番号 B58066010 があります。この TAV5 常開ベント バルブ (裸線ケーブル付き) は、次のターボ ポンプでの使用に適しています: nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TAV5 パージ ベント バルブ キット、24 VDC、BSP 1/8 インチ フィッティング付きの nEXT ターボ ポンプ用の長さ 3 m の終端処理されていないワイヤ付き。エドワーズ部品番号: B58066020。この Edwards TAV6 通気バルブは、nEXT85D、240D、300D、400D、730D、930D、または 1230H シリーズのターボ ポンプに取り付けることができます。このバルブは 24 VDC で動作し、終端処理されていない (裸線) 端を備えた長さ 3 メートルの電源ケーブルが付属しており、ポンプの通気ポートに接続するための BSP 1/8 インチ フィッティングが付いています。このバルブはポンプのアクセサリから電力を供給できます。ポート (nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D、または nEXT1230H)、または nEXT240D、nEXT300D、または nEXT400D ポンプの 3 ピン フェニックス コネクタ ソケット (嵌合フェニックス プラグはポンプに付属しています) このバルブは、TIC コントローラに直接配線することもできます。 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D、または nEXT1230H ターボ ポンプと併用する場合は、一端にアクセサリ コネクタがあり、もう一端が終端されていないアクセサリ延長ケーブル (部品番号 P1012520) が必要です。この常開バルブは、停電時ベントバルブとして使用できます。停電が発生すると、このバルブが閉じてポンプと前真空ラインを通気し、油蒸気が前真空ラインから逆拡散するのを防ぎます。TAV6 ベントバルブには、直径 1.0 mm のオリフィスで、5 リットルを超える真空システムの通気に適しています。 5 リットル未満の小規模真空システムの場合は、オリフィス 0.5 mm の TAV5 通気バルブ (部品番号 P105358) を使用してください。 TAV6 ベント バルブは、ターボ ポンプに付属の手動ベント バルブを置き換えることも、ターボ分子ポンプの上流の真空システムの他の適切なポートに取り付けることもできます。このバルブには、長さ 3 メートルの終端処理されていないケーブル、焼結青銅入口フィルタ、乾燥窒素供給源に接続するための波形ホース コネクタ、およびオプションで真空システムに直接接続するための DN10NW アダプタが付属しています。この TAV6 通気バルブと終端されていない電源ケーブルのエドワーズ部品番号は B58066020 です。裸線ケーブル付きのこの TAV6 ベント バルブは、次のターボ ポンプでの使用に適しています: nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TAV5 通気バルブ、アクセサリ コネクタ、nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H ターボ ポンプ用、24 VDC、ノーマル オープン (NO)、G 1/8 インチ継手。エドワーズ部品番号: B8G200834。この Edwards TAV5 通気バルブは、nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H ターボ ポンプで使用できます。これはノーマルオープン (NO) バルブであり、24 VDC で動作します。この TAV5 ソレノイド バルブには、長さ 0.3 メートルの電源ケーブルが付属しており、ポンプのアクセサリ ポートに接続するためのアクセサリ コネクタで終端され、ポンプのベント ポートに接続するための G 1/8 インチ (BSPP) フィッティングが付いています。このバルブは設定されています。ポンプのオンボード コントローラによって駆動されます。この常開バルブは、停電時通気バルブとして使用できます。停電が発生すると、このバルブが閉じてポンプと前真空ラインを通気し、オイル蒸気がポンプから逆拡散するのを防ぎます。 4 ピン アクセサリ ポートの代わりに 3 ピン フェニックス コネクタ ソケットを備えた nEXT 240D、nEXT300D、または nEXT400D ポンプで使用する場合は、TAV5 バルブ部品番号 P105358 を使用してください。TAV5 ベント バルブは直径 0.5 mm のオリフィスを備えており、次の用途に適しています。 5 リットル未満の小型真空システムの通気 (システム容積が大きい場合は、オリフィス 1.0 mm の TAV6 通気バルブ、部品番号 P106355 を使用してください) TAV5 通気バルブは、ターボ ポンプに付属の手動通気バルブの代わりに使用できます。ターボ分子ポンプの上流の真空システムの他の適切なポートに取り付けることもできます。このバルブには、アクセサリ コネクタで終端された 0.3 メートルの電源コード、焼結青銅入口フィルタ、乾燥窒素供給源に接続するための波状ホース コネクタ、およびオプションで真空システムに直接接続するための DN10NW アダプタが付属しています。この TAV5 常開 (NO) ソレノイド通気バルブには、Edwards 部品番号 B8G200834 があります。この TAV5 常開ベント バルブは、nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H での使用に適しています。

Edwards TAV5 通気バルブ、アクセサリ コネクタ、nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H ターボ ポンプ用、24 VDC、常閉 (NC)、G 1/8 インチ継手。エドワーズ部品番号: B8G200835。この Edwards TAV5 通気バルブは、nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D、および nEXT1230H ターボ ポンプで使用できます。これは常閉 (NC) バルブであり、DC24 V で動作します。この TAV5 ソレノイド バルブには、長さ 0.3 メートルの電源ケーブルが付属しており、ポンプのアクセサリ ポートに接続するためのアクセサリ コネクタで終端され、ポンプのベント ポートに接続するための G 1/8 インチ (BSPP) フィッティングが付いています。このバルブは設定されています。ポンプのオンボード コントローラによって駆動されます。このバルブは、4 ピン アクセサリ ポートの代わりに 3 ピン フェニックス コネクタ ソケットを備えた nEXT 240D、nEXT300D、または nEXT400D ポンプでは使用できません。TAV5 ベント バルブには直径 0.5 mm のオリフィスがあり、 5 リットル未満の小型真空システムの通気に適しています (システム容積が大きい場合は、オリフィス 1.0 mm の TAV6 通気バルブ、部品番号 P106355 を使用してください)。TAV5 通気バルブは、ターボ ポンプに付属の手動通気バルブの代わりに使用できます。または、ターボ分子ポンプの上流の真空システムの他の適切なポートに取り付けることができます。バルブには、アクセサリ コネクタ、焼結青銅入口フィルタ、ポンプに接続するための波状ホース コネクタで終端された 0.3 メートルの電源コードが付属しています。乾燥窒素供給、および真空システムへの直接接続用の DN10NW アダプター (オプション)。この TAV5 常閉 (NC) ソレノイド ベント バルブには、Edwards 部品番号 B8G200835 があります。この TAV5 常閉ベント バルブは、nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H での使用に適しています。

Edwards ベントまたはパージ ポート アダプタ、G 1/8 インチから KF10 までの nEXT ターボ ポンプ用。 Edwards 部品番号: B58066011 この Edwards ベントまたはパージ ポート アダプタは、nEXT ターボ ポンプの G 1/8 インチ (BSPP) メス ベントまたはパージ ポートを KF10 NW10 フランジに変換するために使用されます。 TAV5 または TAV6 バルブの代替ベント バルブ、またはベントまたはパージ パイプラインをこのフランジに取り付けることができます。このベント ポート アダプタには、流量制限器 (ベント ポートで使用する場合) と、アダプタをポンプにシールするための O リングが付属しています。パージポートで使用する場合は、PRX10 パージリストリクター (部品番号 P1012056) を使用してパージガス流量を制限します。このアダプターの部品番号は Edwards B58066011 です。この Edwards ベント ポート アダプタは、次のターボ ポンプでの使用に適しています: nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

nEXT シリーズ ターボ ポンプ用の Edwards PRX10 パージ リストリクター。 Edwards 部品番号: B58065001 この Edwards パージ ガス リストリクターは、nEXT ターボ ポンプのパージ ポートを通るドライ パージ ガスの流量を設定します。不活性パージガスは、ベアリングとモーターを腐食から保護するために使用されます。このパージ リストリクターを使用するには、ベント ポート アダプター (部品番号 P106356) を使用して、G 1/8 インチ (BSPP) パージ ポートを KF10 NW10 フランジに適合させる必要があります。PRX10 パージ リストリクターは、特殊な KF10 センタリング リングです。フィルタとリストリクタが組み込まれています。このパージ リストリクタは、供給された状態で、供給圧力 25 sccm で乾燥窒素の流量を制限するように調整されています。供給圧力を増加して流量を増やすことができます。詳細については、アクセサリのダウンロードを参照してください。パージ リストリクターの校正に関する追加情報。この Edwards PRX10 パージ リストリクターの部品番号は B58065001 です。この Edwards PRX10 パージ リストリクターは、次のターボ ポンプ (P106356 ベント アダプター付き) での使用に適しています: nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H