MKS Instruments 640B、2KT、4VCR、NC、カルレツ, バラトロン一体型コンパクト圧力コントローラー, バラトロン一体型コンパクト圧力コントローラー, PN 640B23TW1M12D
これら MKS Instruments 640B、2KT、4VCR、NC、カルレツ 部品番号がある 640B23TW1M12D, 新品で、フル装備です MKS Instruments 保証。 640B 絶対圧力コントローラーは、上流または下流の圧力制御に使用される自己完結型のコンパクトな閉ループ電子制御システムです。これには、Baratron® 静電容量圧力計、常閉比例制御バルブ、および閉ループ制御電子機器が含まれています。標準 MFC と電気的に類似した 640B は、わずか 200 mA で ±15 VDC によって電力供給され、標準の電源/ディスプレイ電子機器での使用が可能になります。圧力出力および入力制御信号は線形 0 ~ 5 または 0 ~ 10 VDC で、ユーザーが選択できます。 640B には、シンプルなオン/オフのプロセス制限として使用するための、LED ステータス インジケーターを備えた 2 つのトリップ ポイントが含まれています。典型的な 640B アプリケーションには、バブラー背圧制御、ガスマニホールド圧力制御、およびウェーハ裏面圧力制御が含まれます。MKS Instruments 640B、2KT、4VCR、NC、カルレツ 以下のPDFカタログと資料をダウンロードしてご覧ください。 PDFを開くだけです 以下のカタログで、PDF 検索 (Ctrl F) を実行して、 640B23TW1M12D.
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