MKS Instruments スロットルバルブ, 下流側バルブおよび圧力コントローラー, 下流側バルブおよび圧力コントローラー, PN 653B-2-50-2
これら MKS Instruments スロットルバルブ 部品番号がある 653B-2-50-2, 新品で、フル装備です MKS Instruments 保証。 653B 排気スロットル バルブの高速モーターとギア/ドライバー アセンブリは、指定された設定値に高速応答して、必要な圧力を迅速に達成し、システムのスループットを向上させます。フラッパーをマイクロステッピングすることで高精度が達成され、希望の設定値で圧力をドリフトなくより正確に制御できます。 653 は、汚れの蓄積による詰まりを防ぐために、最大 4 インチの密閉バルブと 12 インチの非密閉バルブを操作するのに十分なトルクを備えています。バルブ本体は、高温の用途やプロセスで動作するために、150°C まで加熱できます (オプションのシール材を使用)。 653 には、システムのトラブルシューティング中にバルブ角度を識別するためのフラッパー位置インジケーターがあり、さまざまなサイズとフランジ スタイルが用意されており、MKS 651 および 1652 コントローラーと互換性があります。
これらに関する詳細情報MKS Instruments スロットルバルブ 以下のPDFカタログと資料をダウンロードしてご覧ください。 PDFを開くだけです 以下のカタログで、PDF 検索 (Ctrl F) を実行して、 653B-2-50-2.
|