エワーズ WRG-S アクティブワイドレンジゲージ NW25、KF25 フランジ。 10 -9 Torrまでの雰囲気。
Edwards 部品番号: D3G0021100 (製造中止 PN: D14701000、D147-01-000 の代替品)。 Ewards WRG-S アクティブワイドレンジゲージ NW25、KF25 は、リニア出力で ATM (大気) から 10
-9 Torr までの範囲のシングルポート圧力測定機能を提供します。これはコンパクトなソリューションであり、スペースと接続ハードウェア要件を半分に抑えますが、これは多くのアプリケーションにとって非常に重要です。 WRG には、新しい特許取得済みのストライカー、押しボタン校正、設定点制御、包括的な診断など、多くの新しい機能が備わっています。 WRG は、Edwards コントローラと併用するか、システム制御に直接統合して使用すると、コスト効率の高い真空管理ソリューションであり、ユーザーが交換可能なセンサー チューブを備えています。
WRG は幅広い HV および UHV アプリケーションに適していますが、プロセスが 5x10
-4 Torr から 5x10
-3 Torr の間でかなりの時間を費やす場合、Edwards は独立した APG100 ピラニ ゲージと AIM ペニング ゲージを使用することをお勧めします。アプリケーションのゲージの信頼性を向上させます。信号ケーブルとコントローラーは付属しません。 Edwards WRG アクティブ ワイド レンジ ゲージの取扱説明書 .pdf については、ダウンロードを参照してください。
特徴は次のとおりです。- マイクロプロセッサ信号処理
- 質量分析および電子顕微鏡用の低磁場バージョン
- プログラム可能な設定値
- 高真空下でも信頼性の高いマグネトロン打撃
または比較的汚染された状態で - CSA、C/US承認済み
- 圧力範囲は ATM (大気) から 10 -9 Torr までです。