MKS Instruments MFC、AR、500 SCCM、9 ピン アナログ、NC バイトン、LCEA52CR1AV10, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー, PN GE50A004502RAV010
これら MKS Instruments MFC、AR、500 SCCM、9 ピン アナログ、NC バイトン、LCEA52CR1AV10 部品番号がある GE50A004502RAV010, 新品で、フル装備です MKS Instruments 保証。 GE50A デジタル制御マスフロー コントローラーは、RS485、Profibus、EtherCAT、または DeviceNet I/O のいずれかで使用できます。デジタル制御電子機器は、最新の MKS 制御アルゴリズムを利用して、デバイスの制御範囲全体にわたって設定値に対して高速かつ再現性のある応答を実現しました。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の精度が 1 になります。 I/O プロトコルは、GE50A が MKS の 1179A MFC の RS485 および DeviceNet バージョンを簡単にコーディングするだけで簡単に置き換えられるように設計されています。標準の 3 インチの設置面積により、既存のガスライン構成を変更することなく使用できます。 GE50A には、外部エラストマー シールとエラストマー バルブ プラグが 1 つだけ組み込まれています。接液面はすべて金属です。 GE50A には、さまざまなガス要件をサポートするために、Viton シールまたはオプションの Buna、ネオプレン、または Kalrez が標準装備されています。
これらに関する詳細情報MKS Instruments MFC、AR、500 SCCM、9 ピン アナログ、NC バイトン、LCEA52CR1AV10 以下のPDFカタログと資料をダウンロードしてご覧ください。 PDFを開くだけです 以下のカタログで、PDF 検索 (Ctrl F) を実行して、 GE50A004502RAV010.
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