Edwards IS16K 真空インターロックスイッチ、KF16、NW16 フランジ。エドワーズ部品番号 D05914000
Edwards IS16K 真空インターロック スイッチは、真空システムが大気開放されるときに真空チャンバー内の電気回路の電源を切る必要がある用途向けに設計されています。典型的な用途は、真空コーティング システムでの HT 電源と RF 電源の連動です。インターロック スイッチは、スナップ アクション ダイヤフラムによって動作するポジティブ ブレーク マイクロ スイッチで構成され、マイクロ スイッチの接点を迅速に分離します。ダイアフラムは、大気圧に囲まれた真空スイッチ ハウジング内に密閉されており、KF16 NW16 フランジによって真空システムに接続されています。
したがって、絶対スイッチポイント圧力は大気圧と同じ量だけ変化します。高い電流定格により、リレーや外部電源を追加せずに負荷を直接切り替えることができます。設定値は調整できず、改ざんすることもできません。 IS16K は高真空対応で耐腐食性があり、接液部はすべてステンレス鋼製です。この IS16K 真空インターロック スイッチの仕様と機能の詳細については、以下の利用可能なダウンロードから取扱説明書 .pdf をダウンロードしてください。
特徴は次のとおりです。- 単一の調整不可能な設定値、改ざん不可
- ポジティブブレークスイッチ
- 接点の迅速な分離、アーク発生の防止
- 回路を直接遮断し、リレーは必要ありません
- 真空にさらされる耐食性材料
- CSA、C/US承認済み