エドワーズ iXL600N ドライ真空ポンプ。 200 ~ 460 V、50/60 Hz の 3 相電源。 600 m3h-1 ピーク排気速度。内容: 3/8 インチクイックコネクト給水継手。
エドワーズ PN: A54134010 iXL600N は、ドライポンプとブースターシステムを組み合わせたシステムです。このシステムは軽負荷用途での使用を目的としており、N バージョンにはポンプ機構領域に窒素パージ ガスを供給するガス モジュールが装備されています。ステーター、モーター、インバータードライブは水冷式です。ポンプ システムは、フロント パネル、PDT アクセサリ、または MicroTIM 経由のツールによって制御できます。ドライ ポンプ システムは、ロード ロックおよび軽量用途での使用を目的としています。一般的なアプリケーションには、ロード ロック、トランスファー、計測、リソグラフィ、PVD プロセス、PVD プレクリーンなどがあります。