Edwards モデル 250 水冷排気トラップ。エドワーズ部品番号: A53114000。 Edwards モデル 250 水冷排気トラップは、ポンプからの排気ガスを冷却し、粒子をトラップ内に収集します。これにより、排気システム内での微粒子の収集が防止されます。排気トラップは、ジクロロシランまたはヘキサクロロジシランとアンモニアを使用する LPCVD 窒化プロセスで使用されるポンプに接続するように設計されています。排気トラップは他のプロセスで使用されるポンプとの接続には適していません。 Edwards モデル 250 トラップは、BOC Edwards CDP および QDP ドライ ポンプ、Drystar MKI、MKII、および QMKII ドライ ポンプ システムに適合するように設計されています。排気システムが詰まった場合にポンプを停止するために、システムには圧力スイッチを組み込む必要があります。排気トラップは、ベースフレームに取り付けられた主外側本体を備えています。トラップ本体の高さは、ベースフレームで調整して、トラップをさまざまなポンプに適合させることができます。ベースフレームには移動を容易にするキャスターが付いており、操作位置にしっかりと配置できるように水平調整脚が付いています。モデル 250 水冷排気トラップには、Edwards 部品番号 A53114000 があります。 Edwards モデル 250 水冷排気トラップの仕様: Edwards ドライ ポンプに適合: CDP および QDP ドライ ポンプ、Drystar MKI、MKII、QMKII ドライ ポンプ システム 材質: トラップ本体は AIS 304L ステンレス鋼、水冷コイルは銅 ライナー交換部品番号完全な仕様については、取扱説明書をダウンロードしてください。

新しい Edwards モデル 250 水冷排気トラップ用使い捨てライナー (Edwards PN A53115020) これらの使い捨てライナーは、モデル 250 水冷排気トラップに適合するように設計されています。排気トラップはポンプからの排気ガスを冷却し、トラップ内のライナーに粒子を集めます。これにより、詰まりを引き起こし、ポンプ システムのダウンタイムにつながる可能性がある排気システム内での微粒子の収集が最小限に抑えられます。完全にコーティングされたら、ライナーをトラップから簡単に取り外して、新しいライナーと交換できます。水冷排気トラップと使い捨てライナーは、Edwards QDP ドライ ポンプなど、LPCVD 窒化物プロセスに使用されるポンプでの使用に特に適しています。完全な仕様については、取扱説明書をダウンロードしてください (下記の利用可能なダウンロードを参照してください)。 Edwards モデル 250 使い捨てトラップライナー仕様: Edwards 水冷排気トラップに適合モデル: 250 材質: 亜鉛コーティング軟鋼