リガク スーパーシール ソリッド シャフト 磁性流体 強磁性回転モーション フィードスルー、厚さ 3/4 インチ ～ 1 インチの隔壁用、伝達トルク 160 ポンドインチ。リガク部品番号 FD-LSR-0375-LC、605353これらのリガク真空ロータリーフィードスルーは、厚さ 3/4 ～ 1 インチのバルクヘッドポート接続用に設計されています。これらは、動的シールを使用して中実シャフトの自由な回転を可能にする強磁性シールされたデバイスです。これらの高性能真空回転運動フィードスルーには、以下の特徴があります。 最大回転速度 最大 5000 RPM (無負荷時) 直径 575 ポンド (0.34) インチの最大ベアリング耐荷重 3/4 ～ 1 インチの隔壁接続用に設計されたシャフト 最大動作差動圧力 37 psig (2.5 気圧) ヘリウム リーク テスト済み 5x10-09 標準 cc/秒 トランスミッション トルク 160 1bs-in 磁性流体ベースの炭化水素油 A300S 蒸気圧 1x10-10 Torr の磁性流体 最大 80 ℃ 動作温度 ハウジングおよびシャフトの材質 17-4 PH SS Fomblin/Krytox ブレンドベアリング潤滑剤、蒸気圧 1x10-13 Torr 1x10-08 Torr までの動作に適しています リガク部品番号 FD-LSR-0375-LC (605353) 真空気密の動的シールは、内部に懸濁された強磁性粒子によって形成されます。磁性流体 (A300S) は、フィードスルーの内部磁石によって生成される磁場と直接相互作用します。これらの回転フィードスルーでは、流体の狭いリング (下図を参照) が、回転シャフトと固定極磁性片の先端の間の環状スペース (またはギャップ) を埋める液体バリアを形成します。磁性流体は磁場によって押したり、引いたり、形を変えることができるため、静止したままで真空気密のシールを形成します。半径方向では、流体リングは磁極片の先端によって境界付けられています。磁極端の磁束密度は非常に大きい。したがって、液体リングがポール先端から離れる方向に軸方向に変位すると、その変位に抵抗する力が生じます。隣接するリング間の分離されたボリュームは、デバイスが機能する上で重要です。多くの種類の回転真空フィードスルーには、ハウジング、ベアリング、磁石、流体のいくつかの異なる配置が使用されています。プロセスに回転フィードスルーを選択する際には、多くの要素を考慮する必要があります。ここでは、磁性流体回転フィードスルーの技術的機能と用途を説明した「磁性流体フィードスルー入門書」を PDF 形式でダウンロードできます。トピックは次のとおりです。 ダイナミック シーリングの基本的なシール原理 フィードスルー「スーパーシール」の設計 構造と信頼性における画期的な進歩 応用要因 - 環境的および機械的 プロセスに対するフィードスルーの影響 フィードスルーに対するプロセスの影響 フィードスルーの材料は次のとおりです。

リガク スーパーシール ソリッド シャフト 磁性流体 強磁性回転モーション フィードスルー、バルクヘッド用、厚さ 3/4 インチ ～ 1 インチ、50 ポンドインチ。伝達トルク。リガク部品番号 FD-LSR-0250-LC、605357これらのリガク真空ロータリーフィードスルーは、3/4 ～ 1 インチのバルクヘッドポート接続用に設計されています。これらは、動的シールを使用して中実シャフトの自由な回転を可能にする強磁性シールされたデバイスです。これらの高性能真空回転運動フィードスルーには、次の特徴があります。 最大回転速度 最大 5000 RPM (無負荷時) 最大ベアリング耐荷重 575 ポンド 直径 1/4 (0.25) インチのシャフト 3/4 ～ 1 インチのバルクヘッド接続用に設計 最大動作時間差圧 37 psig (2.5 気圧) ヘリウム リーク テスト済み 5x10-09 std cc/秒 伝達トルク 50 1bs-in 磁性流体ベースの炭化水素油 A300S 蒸気圧 1x10-10 Torr の磁性流体 最大 80 ℃ 動作温度 ハウジングおよびシャフトの材質 17- 4 PH SS Fomblin/Krytox ブレンドベアリング潤滑剤、蒸気圧 1x10-13 Torr 1x10-08 Torr までの動作に適しています リガク部品番号 FD-LSR-0250-LC (605357) 真空気密の動的シールは、内部に懸濁された強磁性粒子によって形成されます。磁性流体 (A300S) は、フィードスルーの内部磁石によって生成される磁場と直接相互作用します。これらの回転フィードスルーでは、流体の狭いリング (下図を参照) が、回転シャフトと固定極磁性片の先端の間の環状スペース (またはギャップ) を埋める液体バリアを形成します。磁性流体は磁場によって押したり、引いたり、形を変えることができるため、静止したままで真空気密のシールを形成します。半径方向では、流体リングは磁極片の先端によって境界付けられています。磁極端の磁束密度は非常に大きい。したがって、液体リングがポール先端から離れる方向に軸方向に変位すると、その変位に抵抗する力が生じます。隣接するリング間の分離されたボリュームは、デバイスが機能する上で重要です。多くの種類の回転真空フィードスルーには、ハウジング、ベアリング、磁石、流体のいくつかの異なる配置が使用されています。プロセスに回転フィードスルーを選択する際には、多くの要素を考慮する必要があります。磁性流体回転フィードスルーの技術的機能と用途を説明する「磁性流体フィードスルー入門書」を PDF 形式でダウンロードしていただけます。トピックは次のとおりです。 ダイナミック シーリングの基本的なシール原理 フィードスルー「スーパーシール」の設計 構造と信頼性における画期的な進歩 応用要因 - 環境的および機械的 プロセスに対するフィードスルーの影響 フィードスルーに対するプロセスの影響 フィードスルーの材料は次のとおりです。

リガク スーパーシール ソリッド シャフト 磁性流体 強磁性回転モーション フィードスルー KF25 ～ KF25 クランプ フランジ、リガク部品番号 FD-F1-KF25-250-LC、605794これらのリガク KF-25 フランジ付き真空回転フィードスルーは、ダイナミック シールを使用する強磁性シール デバイスで、中実シャフトの自由回転。これらの高性能真空回転運動フィードスルーには、次の特徴があります。 最大回転速度 最大 5000 RPM (無負荷時) 最大ベアリング耐荷重 575 ポンド 直径 1/4 (0.25) インチのシャフト KF-25 NW-25 真空シール フランジを含む 最大動作差圧 37 psig (2.5 気圧) ヘリウム リーク テスト済み 5x10-09 std cc/秒 伝達トルク 50 1bs-in 磁性流体ベースの炭化水素油 A300S 蒸気圧 1x10-10 Torr の磁性流体 最大 80 ℃ 動作温度 ハウジングおよびシャフトの材質 17 -4 PH SS Fomblin/Krytox ブレンドベアリング潤滑剤、蒸気圧 1x10-13 Torr フィードスルー 1x10-08 Torr までの動作に適しています リガク部品番号 FD-F1-KF25-250-LC (605794) 真空気密の動的シールは、磁性流体 (A300S) に懸濁された強磁性粒子は、フィードスルーの内部磁石によって生成される磁場と直接相互作用します。これらの回転フィードスルーでは、流体の狭いリング (下図を参照) が、回転シャフトと固定極磁性片の先端の間の環状空間 (またはギャップ) を埋める液体バリアを形成します。磁性流体は磁場によって押したり、引いたり、形を変えることができるため、静止したままで真空気密のシールを形成します。半径方向では、流体リングは磁極片の先端によって境界付けられます。ポール先端の磁束密度は非常に大きい。したがって、液体リングがポール先端から離れる方向に軸方向に変位すると、その変位に抵抗する力が生じます。隣接するリング間の分離されたボリュームは、デバイスが機能する上で重要です。多くの種類の回転真空フィードスルーには、ハウジング、ベアリング、磁石、流体のいくつかの異なる配置が使用されています。プロセスに回転フィードスルーを選択する際には、多くの要素を考慮する必要があります。磁性流体回転フィードスルーの技術的機能と応用例を説明する PDF 形式の「磁性流体フィードスルー入門書」を以下からダウンロードできます。 これには次の内容が含まれます。 ダイナミック シーリングの基本的なシール原理 フィードスルー「スーパーシール」の設計 構造と信頼性における画期的な進歩応用要因 - 環境的および機械的 フィードスルーのプロセスへの影響 フィードスルーへのプロセスの影響 フィードスルーの材料は次のとおりです。

リガク スーパーシール ソリッド シャフト 磁性流体 強磁性回転モーション フィードスルー KF25 ～ KF25 クランプ フランジ、リガク部品番号 FD-F1-KF25-250-LC、605794これらのリガク KF-25 フランジ付き真空回転フィードスルーは、動的シールを使用する強磁性シールされたデバイスで、中実シャフトの自由回転。これらの高性能真空回転運動フィードスルーには、次の特徴があります。 最大回転速度 最大 5000 RPM (無負荷時) 最大ベアリング耐荷重 575 ポンド 直径 1/4 (0.25) インチのシャフト KF-25 NW-25 真空シール フランジを含む 最大動作差圧 37 psig (2.5 気圧) ヘリウム リーク テスト済み 5x10-09 std cc/秒 伝達トルク 160 1bs-in 磁性流体ベースの炭化水素油 A300S 蒸気圧 1x10-10 Torr の磁性流体 最大 80 ℃ 動作温度 ハウジングおよびシャフトの材質 17 -4 PH SS Fomblin/Krytox ブレンドベアリング潤滑剤、蒸気圧 1x10-13 Torr フィードスルー 1x10-08 Torr までの動作に適しています リガク部品番号 FD-F1-KF25-0375-LC (605787) 真空気密の動的シールは、磁性流体 (A300S) に懸濁された強磁性粒子は、フィードスルーの内部磁石によって生成される磁場と直接相互作用します。これらの回転フィードスルーでは、流体の狭いリング (下図を参照) が、回転シャフトと固定極磁性片の先端の間の環状スペース (またはギャップ) を埋める液体バリアを形成します。磁性流体は磁場によって押したり、引いたり、形を変えることができるため、静止したままで真空気密のシールを形成します。半径方向では、流体リングは磁極片の先端によって境界付けられています。ポール先端の磁束密度は非常に大きい。したがって、液体リングがポール先端から離れる方向に軸方向に変位すると、その変位に抵抗する力が生じます。隣接するリング間の分離されたボリュームは、デバイスが機能する上で重要です。多くの種類の回転真空フィードスルーには、ハウジング、ベアリング、磁石、流体のいくつかの異なる配置が使用されています。プロセスに回転フィードスルーを選択する際には、多くの要素を考慮する必要があります。磁性流体回転フィードスルーの技術的機能と応用例を説明する PDF 形式の「磁性流体フィードスルー入門書」を以下からダウンロードできます。 これには次のものが含まれます。 ダイナミック シーリングの基本的なシール原理 フィードスルー「スーパーシール」の設計 構造と信頼性における画期的な進歩応用要因 - 環境的および機械的 フィードスルーのプロセスへの影響 フィードスルーへのプロセスの影響 フィードスルーの材料は以下から作られています 応用例

リガク スーパーシール ソリッド シャフト 磁性流体 強磁性回転モーション フィードスルー KF40 ～ KF40 クランプ フランジ、リガク部品番号 FD-KF-0500-LC 1003308これらのリガク KF-40 フランジ付き真空回転フィードスルーは、強磁性シールされたデバイスで、ダイナミック シールを使用して自由な回転を可能にします。しっかりとしたシャフト。これらの高性能真空回転運動フィードスルーには、次の特徴があります。 最大回転速度 最大 3900 RPM (無負荷時) 最大ベアリング耐荷重 575 ポンド 1/2 (0.50) インチ直径のシャフト KF-40 NW-40 真空シールが付属フランジ 最大動作差圧 37 psig (2.5 気圧) ヘリウム リーク テスト済み 5x10-09 std cc/秒 トランスミッション トルク 389 1bs-in 磁性流体ベースの炭化水素油 A300S 蒸気圧 1x10-10 Torr の磁性流体 最大 80 ℃ 動作温度 ハウジングおよびシャフト材質 17-4 PH SS Fomblin/Krytox ブレンド ベアリング潤滑剤、蒸気圧 1x10-13 Torr フィードスルー 1x10-08 Torr までの動作に適しています リガク部品番号 FD-KF-0500-LC、1003308 真空気密の動的シールは強磁性体によって形成されています磁性流体 (A300S) 内に浮遊した粒子は、フィードスルーの内部磁石によって生成された磁場と直接相互作用します。これらの回転フィードスルーでは、流体の狭いリング (下図を参照) が、回転シャフトと固定極磁性片の先端の間の環状スペース (またはギャップ) を埋める液体バリアを形成します。磁性流体は磁場によって押したり、引いたり、形を変えることができるため、静止したままで真空気密のシールを形成します。半径方向では、流体リングは磁極片の先端によって境界付けられます。ポール先端の磁束密度は非常に大きい。したがって、液体リングがポール先端から離れる方向に軸方向に変位すると、その変位に抵抗する力が生じます。隣接するリング間の分離されたボリュームは、デバイスが機能する上で重要です。多くの種類の回転真空フィードスルーには、ハウジング、ベアリング、磁石、流体のいくつかの異なる配置が使用されています。プロセスに回転フィードスルーを選択する際には、多くの要素を考慮する必要があります。磁性流体回転フィードスルーの技術的機能と応用例を説明する PDF 形式の「磁性流体フィードスルー入門書」を以下からダウンロードできます。 これには次のものが含まれます。 ダイナミック シーリングの基本的なシール原理 フィードスルー「スーパーシール」の設計 構造と信頼性における画期的な進歩応用要因 - 環境的および機械的 フィードスルーのプロセスへの影響 フィードスルーへのプロセスの影響 フィードスルーの材料は以下から作られています 応用例

Ferrotec の中空シャフト、7 インチ Ferro フランジ マウント、強磁性流体シール、回転フィードスルー Ferrotec モデル HS-1500-SLFBC、PN:103360 これは、直径 7 インチの Ferro フランジを備えた Ferrotec の中空シャフト回転フィードスルーです。シャフトの直径は 1.5 インチ、フランジの厚さは 0.38 インチ、ハウジングの全長は 3.0 インチです。100 rpm での始動トルクは 96.9 in-oz、100 rpm での動作トルクは 57.2 in-oz です。制限速度は 2320 rpm です。HS-1500-SLFBC 真空回転フィードスルーは、Ferrotec の標準的な炭化水素ベースの強磁性流体を使用し、ほとんどの標準環境で磁性液体密閉シールを使用して回転運動を導入するように特別に最適化されています。HS-1500-SLFBC 真空回転フィードスルーは、強磁性フランジ マウントを備えた中空シャフトを特徴としています。寸法の詳細は下記に明記されています。精密測定仕様については、仕様管理図を参照してください。Ferrotec モデル: HS-1500-SLFBC: PN 103360

Ferrotec の 1.75 インチ中空シャフト、反応性ガスおよび水冷、8 インチ フェロ フランジ マウント直径、フェロフルイディック シール、ロータリー フィードスルー、モデル HS-1750-CFFCWP これは、1.75 インチ水冷中空シャフト Ferrotec フェロフルイディック シール フィードスルー モデル HS-1750-CFFCWP、部品番号: 107425 です。反応性薄膜堆積プロセス チャンバーなどの標準および反応性環境向けに設計されています。フランジの厚さは 0.5 インチで、100 rpm でのシャフト始動トルクは 800 in-oz、動作トルクは 473 in-oz です。制限速度は 1560 rpm です。完全な寸法の詳細は、以下で指定されています。精密測定仕様については、仕様管理図を参照してください。Ferrotec モデル: HS-1750-CFFCWP: PN 107425

Ferrotec のソリッド シャフト、1 インチ シャフト、水冷式、6 インチ フェロ フランジ マウント、フェロフルイディック シール、ロータリー フィードスルー、モデル SS-1000-SLFAW、PN:121159これは、1 インチ ソリッド シャフト Ferrotec フェロフルイディック シール フィードスルー モデル SS-1000-SLFAW (部品番号 121159) です。SS-1000-SLFAW 真空ロータリー フィードスルーは、6 インチ フェロ フランジ マウント直径のソリッド シャフト、フランジ厚 0.53 インチ、シャフト トルク容量 1960 in-lb、100 rpm での始動トルク 29.2 in-oz、動作トルク 17.3 in-oz を特徴としています。完全な寸法の詳細は以下に記載されています。この真空シールは、高温用途向けに水冷式でもあります。 SS-1000-SLFAW 真空回転フィードスルーは、Ferrotec の標準炭化水素ベースの強磁性流体を使用しており、ほとんどの標準環境で磁性液体密閉シールによる回転運動を導入するために特別に最適化されています。精密測定仕様については、仕様管理図を参照してください。Ferrotec モデル: SS-1000-SLFAW、PN:121159

リガク スーパーシール ソリッド シャフト 磁性流体 強磁性回転モーション フィードスルー CF 2.75 インチ ～ CF 2.75 インチ フランジ、リガク部品番号 FD-CF-0375-LC、605774これらのリガク コンフラット CF 2.75 インチ フランジ付き真空回転フィードスルーは、強磁性シールされたデバイスで、動的シールにより中実シャフトの自由な回転が可能になります。これらの高性能真空回転運動フィードスルーには次の特徴があります: 最大回転速度 最大 5000 RPM (無負荷) 最大ベアリング耐荷重 575 ポンド 直径 3/8 (0.375) インチのシャフト コンフラット 2.75 インチの高真空シール フランジを含む 最大動作差圧 37 psig (2.5 気圧) ヘリウム リーク テスト済み 5x10-09 std cc/秒 伝達トルク 160 1bs-in 磁性流体ベースの炭化水素油 A300S 蒸気圧 1x10-10 Torr の磁性流体 最大 80 ℃ 動作温度 ハウジングおよびシャフトの材質 17 -4 PH SS Fomblin/Krytox ブレンドベアリング潤滑剤、蒸気圧 1x10-13 Torr フィードスルー 1x10-08 Torr までの動作に適しています リガク部品番号 FD-CF-0375-LC (605774) 真空気密の動的シールは強磁性粒子によって形成されています磁性流体 (A300S) 中に懸濁されており、フィードスルーの内部磁石によって生成される磁場と直接相互作用します。これらの回転フィードスルーでは、流体の狭いリング (下図を参照) が、回転シャフトと固定極磁性片の先端の間の環状スペース (またはギャップ) を埋める液体バリアを形成します。磁性流体は磁場によって押したり、引いたり、形を変えることができるため、静止したままで真空気密のシールを形成します。半径方向では、流体リングは磁極片の先端によって境界付けられています。磁極端の磁束密度は非常に大きい。したがって、液体リングがポール先端から離れる方向に軸方向に変位すると、その変位に抵抗する力が生じます。隣接するリング間の分離されたボリュームは、デバイスが機能する上で重要です。多くの種類の回転真空フィードスルーには、ハウジング、ベアリング、磁石、流体のいくつかの異なる配置が使用されています。プロセスに回転フィードスルーを選択する際には、多くの要素を考慮する必要があります。磁性流体回転フィードスルーの技術的機能と応用例を説明する PDF 形式の「磁性流体フィードスルー入門書」を以下からダウンロードできます。 これには次のものが含まれます。 ダイナミック シーリングの基本的なシール原理 フィードスルー「スーパーシール」の設計 構造と信頼性における画期的な進歩応用要因 - 環境的および機械的 フィードスルーのプロセスへの影響 フィードスルーへのプロセスの影響 フィードスルーの材料は以下から作られています 応用例

Ferrotec のソリッド シャフト、シャフト径 0.25 インチ、ナット取り付け、フェイス シール O リング、1 インチ スレッド ボディ ロータリー フィードスルー、強磁性流体シール、1.13 インチ スレッド長さ、モデル SS-250-SLBE、PN:107519。これは、0.25 インチ ソリッド シャフト Ferrotec 強磁性流体シール フィードスルー モデル モデル SS-250-SLBE、PN:107519 です。 SS-250-SLBE 真空ロータリーフィードスルーは、ナットマウントフランジ径 1.62 インチのソリッドシャフト、1 インチのねじ付きボディ (ねじ長さ 1.13 インチ) を備えています。フランジの厚さは 0.25 インチ、推奨取り付け穴は 1.025 インチです。シャフトトルク容量は 15.5 in-lb、100 rpm での始動トルクは 0.19 in-oz、動作トルクは 0.11 in-oz です。全寸法の詳細は以下に記載されています。この真空シールは、高温用途向けに水冷式です。SS-250-SLBE 真空ロータリーフィードスルーは、Ferrotec の標準炭化水素ベースの強磁性流体を使用しており、ほとんどの標準環境で磁性液体密閉シールを使用して回転運動を導入するために特別に最適化されています。精密測定仕様については、仕様管理図を参照してください。Ferrotec モデル: SS-250-SLBE、PN:107519