新しい Agilent 可変リークバルブ CF 2.75 x CF 1.33、光学的にフラットなサファイアアセンブリを備えた可動ピストン。

Agilent 可変リークバルブを任意の真空システムに追加して、調整可能なリークを確立できます。 1 x 10 ^-10トールリットル/秒という小さなリーク率で前例のない制御感度と安定性を提供し、リークのサイズが大きくなるにつれて変化率も増加します。これにより、漏れのサイズに応じて正確に制御できます。駆動機構を含むバルブ全体は、開位置でも閉位置でも 450°C までベーキング可能です。このバルブは、大気から 10 ^-11 Torr (mbar) 未満の真空範囲で動作でき、最大 500 psi の入口ガス圧力を持ちます。

バルブは密閉された漏れのない状態で出荷され、潤滑剤が塗布されており、すぐに設置できます。可変リークバルブが取り付けられるメインフランジ接続は、外径 2 3/4 インチの ConFlat フランジと嵌合します。入口ガス接続は、標準の 1 1/3 インチ Mini-ConFlat フランジを介して行われます。リーク量の調整はローレット付きノブで制御します。漏れを開くには、ローレット付きノブを反時計回りに (一緒に) 最低 2 回転回す必要があります。ハンドルに対してノブを時計回りに停止位置まで (一緒に) 回すと、バルブが閉じます。

可変リークバルブには、捕捉された金属ガスケットと接触する光学的に平坦なサファイアを備えた可動ピストンが含まれています。これにより、摩擦、焼き付き、せん断のないシールが形成されます。サファイアの動きは、13,000 対 1 の機械的利点を持つねじ付きシャフトとレバーの機構によって制御されます。スプリング ワッシャーは、この駆動機構に常に負荷を与え続け、このタイプの装置に通常伴うバックラッシュを排除します。これにより、指で制御する調整ノブの小さな動きに即座に反応します。シールが作成されるたびにガスケット内である程度の永久的な圧縮が発生しますが、その変化は非常にわずかです。ノブを前の位置に戻すと、漏れ量はほぼ同じになります。シール機構の両方のコンポーネント (サファイア アセンブリとガスケット アセンブリ) は簡単に交換できます。ベーキングされていないシステムのガスケットの寿命は約 300 回のクロージャですが、ベーク済みシステムの場合はわずか 20 ～ 30 回のクロージャです。

Agilent 可変リークバルブは、特定の範囲でターボを動作させ、その圧力を維持するために正確な圧力を選択する必要があるアプリケーションに最適です。このバルブは、特定のアプリケーションのニーズに合わせて圧力選択を変更し、別の選択に簡単かつ正確に移動できるように設計されています。当社では、サファイアやガスケット アセンブリなどの交換部品を含め、このバルブの修理や調整に必要なすべてのツールを以下の関連製品セクションで提供しています。 Agilent 可変リークバルブの操作およびメンテナンス方法の詳細については、以下のマニュアルセクション (pdf) を参照してください。

特徴

• 特殊用途のバルブ用途向けに作られています
  
• 真空範囲は大気から 10 ^-11 torr (10 ^-11 mbar) 未満まで
  
• ヘリウム質量分析計でリークが検出できないリーク率
  感度 1 x 10 ^-10 std cc/秒の漏れ検出器
  
• 最大流量コンダクタンス 6 リットル/分
  
• 450℃までベーク可能