理想的な真空キューブ、位置決めマイクロメータを備えた 6x6 真空キューブ XY ステージ プレート。これらの 6x6 真空キューブ ステージ プレートを使用すると、真空にされた真空キューブ内でテスト ピースの位置を動的に微調整できます。これらのプレートにより、X 軸と Y 軸の 0.50 インチ (13 mm) が硬化鋼リニア ベアリング上を移動でき、精密な動きと長寿命が実現します。ステージ プレート自体は、両軸でスプリング テンションがかかっているため、移動方向を逆にするときにバックラッシュが発生しません。高品質の Mitutoyo マイクロメータ ヘッドは、高性能のバイトン シャフト シールにより、ターゲットを 0.025 インチ水平に移動し、0.0001 インチの繰り返し位置決めを実現します。必要に応じて、ヘッドは高精度モーター アクチュエータとも互換性があります (詳細についてはお問い合わせください)。真空側では、プレートと移動ブロックは 6061-T6 アルミニウムから機械加工され、通気孔付きのステンレス鋼 304 または 316 留め具が付いており、実質的な漏れがありません。空気側の金属表面は青の粉体塗装が施されています。セルフテンションシステムにより、このプレートはどの方向にも取り付けることができますが、最適な荷重方向は、重力によりマイクが荷重を支える方向です。平らに取り付けた場合の荷重制限は 4 ポンド、垂直に取り付けた場合の荷重制限は 2 ポンドです。