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理想的な真空円形マグネトロンスパッタリングターゲット、二酸化ジルコニウム - ZrO ₂スパッタリングターゲット、直径 3 インチ x 厚さ 0.125 インチ、純度 99.99 パーセント、OFHC 銅バッキングプレートに金属結合

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理想的な真空円形マグネトロンスパッタリングターゲット、二酸化ジルコニウム - ZrO ₂スパッタリングターゲット、直径 3 インチ x 厚さ 0.125 インチ、純度 99.99 パーセント、OFHC 銅バッキングプレートに金属結合

状態：

新しい

部品番号:

P1013708

保証：

Full Manufacturer's Warranty

在庫切れ

セール： ¥465,428.25

通貨： Japanese Yen (JPY)

説明

理想的な真空円形マグネトロンスパッタリングターゲット、ジルコニウム酸化物 - ZrO ₂スパッタリングターゲット、直径 3 インチ x 厚さ 0.125 インチ、純度 99.99 パーセント、OFHC 銅バッキングプレートに金属結合
アイディアルバキュームプロダクツ LLC.

この製品は、直径3インチ x 厚さ0.125インチの円形マグネトロンZrO ₂スパッタリングターゲットです。純度99.99%で、OFHC（無酸素高伝導性）銅バッキングプレートに金属結合されています。

当社は、お客様が最高品質の製品を可能な限り最高の価値で受け取れるよう、非常に競争力のある価格戦略を採用しています。これにより、すべての購入において、手頃な価格と優れた品質の両方を実現しています。当社はすべてのお客様に大幅な割引を提供しており、大量注文のお客様は大幅な節約をお楽しみいただけます。当社は大量の製品を在庫しており、お客様が注文後、同日出荷を保証しています。この短いリードタイムは、より迅速なターンアラウンドタイムでキャッシュフローを管理したいすべてのお客様に好評です。当社の常連のお客様は、在庫レベルを低く抑え、保管コストを削減し、陳腐化のリスクを最小限に抑えることができます。Ideal Vacuum から購入すると、お客様はより早く製品を受け取ることができ、満足度が向上し、緊急のニーズを満たすことができます。これにより、お客様は新しいトレンドや需要にすばやく適応して、競争相手より一歩先を行くことができます。

酸化ジルコニウム
二酸化ジルコニウム (ZrO ₂ ) は、ジルコニアとも呼ばれ、ジルコニウムと酸素からなる無機化合物です。これは白色の結晶性固体で、非常に高い硬度、化学的安定性、高い融点が特徴です。ZrO2 は、その堅牢な物理的特性と汎用性により、さまざまな産業および科学用途で広く使用されています。

二酸化ジルコニウム (ZrO ₂ ) は、その優れた熱特性、化学特性、光学特性により、薄膜コーティングに広く使用されています。高い屈折率、化学的安定性、機械的耐久性により、さまざまな高度な薄膜アプリケーションに最適な材料となっています。以下は、薄膜コーティングにおける ZrO ₂の主な用途です。

1. 光学コーティング
2. 誘電体層。
3.保護およびバリアコーティング
4. 熱遮断コーティング。

二酸化ジルコニウムの薄膜は、高屈折率、誘電強度、熱安定性のユニークな組み合わせにより、光学デバイス、マイクロエレクトロニクス、保護コーティング、高温システムなど、幅広い高度なアプリケーションで利用されています。

RFスパッタリングとDCスパッタリング:
純粋な金属酸化物は絶縁体であり、RF にはターゲット表面の電荷蓄積を防ぐ交流電界があるため、RF スパッタリングは純粋な金属酸化物をスパッタリングするための好ましい方法であることがよくあります。この交流電界により、DC スパッタリングでアーク放電を引き起こす電荷蓄積が軽減されます。

堆積速度:
堆積速度が低い: RF スパッタリングでは、主に電界の交流特性により、プラズマへの電力伝達が DC に比べて効率が低くなります。このため、同等の電力条件下では、DC スパッタリングに比べて堆積速度が低くなります。

対象材質:
導電性ターゲット（反応性スパッタリングのチタンなど）の場合、DC スパッタリングの方が堆積速度が速くなります。純粋な金属酸化物などの絶縁ターゲットの場合は、RF スパッタリングを使用する必要があり、堆積速度は通常低くなります。

パワーレベル:
電力を増加させると、RF スパッタリングと DC スパッタリングの両方で堆積速度を上げることができますが、導電性材料の場合、堆積速度は依然として DC の方が高くなる傾向があります。

圧力とガス流量:
RF と DC で異なる最適条件を使用してガス圧と流量を最適化することで、より高い堆積速度を実現できます。

注:
すべての誘電体ターゲット材料には、脆さや低い熱伝導率など、スパッタリングに適さない特性があるため、金属またはエラストマーのバッキングプレート接合が推奨されます。これらのターゲットは、熱伝導率が低いため熱衝撃の影響を最も受けやすく、そのため、起動およびシャットダウンの段階で特定の電力増加および減少手順が必要になる場合があります。