理想的な真空電力フィードスルー キット、MS ネジ接続 1kV、ピンあたり 5A、19 ピン、UHV 定格、KF40。このすぐに組み立てられる MS ネジ式コネクタ フィードスルー キットには、真空側と空気側の両方のコネクタがあり、ピンとステンレス鋼 KF 40 フランジが含まれています。定格はピンあたり 1000 VDC および 5 アンペアです。他の MS タイプ コネクタと同様に、この頑丈なフィードスルーは一度組み立てると UHV 定格に対応し、450°C までベーキング可能です。このキットには、ピン挿入ツールを含む 19 ピン フィードスルーの作成に必要なものがすべて含まれています。
フィードスルー (または真空フィードスルー) には、電流、信号、流体、ガス、または機械的動作を真空チャンバーの外側 (空気側) から真空チャンバーの内側 (真空側) にチャンバー内の機器に伝達するためのさまざまな形式があります。フィードスルーの入口点は、適切な貫通穴を介して真空シールする必要があります。フィードスルーは溶接可能 (溶接オン) にすることも、CF、KF、または ISO 真空フランジを使用して真空チャンバーに接続することもできます。
CF Con flat フランジは、通常、10 ～ 12 Torr までの超高真空圧力を必要とするプロセス用で、銅ガスケット付きのナットとボルトによって真空シールされています。サイズは 1.33 インチ (ミニ コンフラット)、2.75、4.5、6、8、10、12、13.25、14、16.5 です。インチ外径。
KF またはクイック フランジは、10-9 Torr までの高真空圧に対応し、クランプとエラストマー O リングによって真空シールされています。サイズはKF10、KF16、KF25、KF40、KF50があります。
ISO またはラージ フランジは、10-6 Torr までの高真空圧力に対応し、ナットとボルト (ボルト穴のあるフランジの場合) または爪クランプ (滑らかな面とボルト穴のないフランジの場合) を介して真空シールされます。真空シールにエラストマー O リングを使用しています。サイズは63mm、80、100、160、200、250、320、400、500、630mmからお選びいただけます。すべてのフランジは耐腐食性のステンレス鋼で作られています。
何千ものフィードスルーがあり、特定の真空プロセスでは選択が非常に困難になる場合があります。要件について疑問がある場合は、当社の常駐エンジニアにお問い合わせください。お客様の真空プロセスに適切なフィードスルーを見つけるお手伝いをいたします。当社は、通常とは異なるカスタマイズされたフィードスルー、真空チャンバー、および付属品を専門としています。 505-872-0037までお電話ください。
フィードスルーの種類
力：
パワーフィードスルーは、大気（外部）から真空（内部）に電気を伝送する電気フィードスルーの一種です。電力フィードスルーには、真空デバイスのチャンバー壁に入る 1 つ以上の導体があります。導体は、溶接されるか、真空フランジまたはベースプレートを介して接続される電気絶縁体に封止されます。導体金属はワイヤー、ロッド、またはチューブの形で提供されます。導体材料は電流、耐食性、磁気に基づいています。選択の際に考慮すべき点は、動作電圧、最大電流、ベース圧力、および使用環境です。指定された電圧または電流を下回らないようにしてください。アーク放電、溶融、または絶縁体の破損を引き起こす可能性があります。選定に迷った場合はお電話ください。
熱電対:
熱電対フィードスルーは、幅広い温度測定プロセスで使用される堅牢でコスト効率の高い温度センサーです。異なる金属で構成された 2 本のワイヤの両端が接続され、一方の端が加熱されると、熱電回路に連続電流が流れます。この回路が中心で断線した場合、正味の開路電圧 (ゼーベック電圧) は接合部温度と 2 つの金属の組成の関数になります。つまり、2 つの金属の接合部が加熱または冷却されると、温度と相関関係のある電圧が生成されます。熱電対を適切に構成すると、広範囲の温度にわたって測定を行うことができます。
それらには 1 対以上のワイヤが含まれており、成形プラグ、プッシュオン、分割コネクタがあり、内側 (真空) または外側 (大気) にラグまたはネジ コネクタがある場合もあります。考慮すべき点は、温度範囲、温度箇所の数、シースの材質、線径、金属の種類、および同じフィードスルー内の電源導体です。さまざまな温度範囲を持つさまざまな金属で作られたさまざまなタイプの熱電対フィードスルーがあります。選定に迷った場合はお電話ください。
計装:
マルチピン フィードスルーとしても知られる計器用フィードスルーは、真空壁を越えて電気信号や低電力アプリケーションを転送します。これらは、電子顕微鏡、表面分析、半導体プロセス制御などの計測用途に使用されます。これらは、真空壁の内側 (真空) または外側 (大気) のいずれかの側にピンまたは同軸を備えた電気コネクタで構成されます。選択する前に考慮すべきことは、ケーブルからシールドまでの最大電圧、シールドからグランドまでの最大電圧、信号電圧、グランド、インピーダンス、温度範囲、接続数、コネクタのタイプなどです。注文する際には、適切なコネクタがあることを確認することが非常に重要です。注文に付属しているかどうか。計装接続フィードスルーにはさまざまな種類があります。不明な点がある場合は、お問い合わせください。
液体または気体:
液体またはガスフィードスルーは、真空に取り付けられたデバイスまたはチャンバーにガスまたは液体を供給します。この気体または液体は、真空チャンバー内で特定の温度を維持できます。これらは、貫通穴に溶接された 1 つまたは複数のチューブを備えた CF または KF フランジまたはベースプレート ポートで注文でき、フランジ/ベースポートの両側にチューブが伸びています。チューブにはさまざまな直径があり、多くの場合、小さなフランジまたはガス継手で終端されます。考慮すべき点は、デバイスの壁の未使用のフランジと一致するフランジ、フィードスルーの数、チューブの直径、フィードスルーの入口ポートのサイズ、および両側のコンポーネントと一致する終端です。ご不明な点がありましたらお電話ください。
回転運動:
ロータリー モーション フィードスルーは、真空側シャフトを回転させる空気側シャフトです。ロータリードライブにはいくつかのタイプがあり、アクチュエータ機構、真空シール、互換性のある圧力範囲、用途によって区別されます。シールに背中合わせのダブル O リングを使用するエラストマー シールと、より高い RPM と高トルク容量を実現する磁性流体 O リング技術を使用したフェロ シールの 2 つのタイプがあります。フィードスルーは、反復可能な動きまたは粗い位置決めを提供することができ、回転運動、直線運動、またはその両方の組み合わせを提供することもあります。手動回転から空気圧、電動まで、数多くの作動設計が利用可能です。ご不明な点がありましたらお電話ください。
アクセサリー：
フィードスルーでは、必要な接続を行うために追加のハードウェアが必要になる場合があります。当社では、真空チャンバーの内外で使用するケーブル、電気/同軸コネクタ、ピンを取り揃えています。どのアクセサリを購入すればよいかわからない場合は、お電話ください。
カスタムフィードスルー:
真空プロセスに適したフィードスルーを選択することは、非常に難しい作業となる場合があります。私たちはその選択をお手伝いします。当社は、お客様の特定の真空プロセスに合わせた独自のフィードスルーの設計と製造も専門としています。選択が役立つ場合でも、新しいフィードスルーを製造する場合でも、当社の技術者/エンジニアにノウハウを活用して真空プロセスの目標を迅速に達成してもらいましょう。今すぐ 505-872-0037 までお電話ください。
