Leybold TURBOVAC 1350i ターボ真空ポンプ、ISO-K 200 インレット、ポンプ速度 1350 l/s、水冷。ライボルト部品番号: 850092V1000。これらの Leybold TURBOVAC 1350i ターボ分子高真空ポンプは、ヘリウムに対して最大 1350 リットル/秒 (l/s) の排気速度を備え、ISO-K 200 入口フランジ、ISO KF-40 排気フォアライン フランジを備え、水冷されています。これらの 1350i ターボ ポンプは、最大 800 ワットで 48 VDC の入力電力を必要とし、統合コントローラを備えています。すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプには、RS485、USB、および 3 つのステータス LED を備えたデジタル I/O インターフェイスを備えたコンパクトな標準インターフェイスが含まれており、1 つのアクセサリ (バルブ、リレー ボックスなど) を制御できます。必要なのは、電源、起動/停止ロジック、および水冷用の水源だけです。電源は別売りです。これらの 1350i ポンプの部品番号は Leybold 850092V1000 です。 Leybold TURBOVAC 1350i 仕様: 部品番号: 850092V1000 入口フランジ: ISO-K 200 基本圧力: 7.5 x 10-9 mbar (5.6 x 10-9 Torr) 動作速度: 42000 RPM 動作位置: 垂直 (右側が上) から水平ポンピング速度: 1350 l/s 冷却: 水 排気フランジ: KF-40 動作電圧: 48 VDC 最大電力: 800 ワット RS485、USB、デジタル I/O を備えたコンパクトな標準インターフェイス アクセサリ ポート 1 つ 推奨粗引きポンプ: Trivac D16B または ScrollVac ISO-K または ISO-F フランジを備えた SC18 Leybold TURBOVAC 1350i ターボ ポンプは、到達圧力が 10-9 Torr の範囲に達する真の超高真空 (UHV) ポンプです。到達圧力は、ゴム/エラストマー O リング シールの浸透やガス放出、その他の要因によって制限されます。機器の補助電源からポンプに電力を供給するか、Leybold TURBO.POWER 800 インテグラ電源を購入するかを選択できます。 TURBO.POWER 800 インテグラは、ターボ ポンプの底部に取り付けられるローカル電源専用です。 Leybold TURBOVAC i シリーズ ポンプは、ポンプの下に TURBO.POWER 800 インテグラ電源が取り付けられており、コンパクトで低コストの高真空ポンプ ソリューションであり、多くの場合、電子顕微鏡 (SEM) を含む多くの分析機器アプリケーションに統合されています。 、TEM）および集束イオンビーム システム（FIB）。最大限のパフォーマンスを提供するように設計された Leybold TURBOVAC i シリーズ ターボ分子真空ポンプは、特に軽ガスに対して比類のない速度を提供する最先端のローターとドラッグ ステージ設計を特徴としています。この製品ラインは、インターフェース オプション、ハウジングおよびフランジ構成、アクセサリの幅広い選択肢によって完成します。メンテナンスフリーのボールベアリングを備えた独自のオイルフリーハイブリッドベアリングシステムにより、生産性が向上し、所有コストが削減されます。現在の参考製品よりも最大 60% 高い軽ガスのポンピング速度と、前世代の製品よりも約 100 倍高い圧縮値を備えており、小型の補助ポンプでの動作に特に適しています。お客様の利点: 真空システムが大幅に小型化され、初期コストと運用コストが削減され、設置面積がよりコンパクトになります。性能: 業界トップクラスの軽質ガス排気速度 (既存製品比最大 60% 向上) 最大限の排気性能を実現する最適化されたローター径 柔軟性: 真空ポート設計の柔軟性 回転可能な前真空ポート オンボードターボコントローラー 起動/停止時のみ電力を必要としますロジック オプションの TURBO.POWER 800 インテグラ電源を備えたコンパクトな設計 設置、操作、および制御: 高価な配線を避けるための統合された 48V DC ドライブ電子機器 幅広い通信インターフェイス: 標準オプションとしての USB、RS485、およびリモート 15 ピン デジタル I/O 高効率モーター ベアリングの最適化された冷却とポンプ寿命の向上のための設計による熱絶縁 革新的なシャフトサポートシステムが振動を低減 メンテナンスフリーの上部受動磁気ベアリング オイルフリーで寿命潤滑の下部メカニカルセラミックボールベアリングは現場で交換可能 Leybold TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプは、プラグ＆プレイ。柔軟な製品設計、統合された電子機器、および幅広い通信インターフェイスのおかげで、設置、操作、制御がシンプルで簡単です。これらは、革新的なポンプ設計と、現在市場で入手可能なメンテナンスフリーのボールベアリングを備えた独自のオイルフリーハイブリッドベアリングコンセプトにより、優れた信頼性を提供します。革新的なシャフトサポートシステムは、振動、騒音、機械的ストレスを軽減し、振動に敏感なアプリケーションに対する潜在的な悪影響を軽減します。ベアリングの最適な冷却は、熱絶縁と高効率モーターによって確保されます。ポンプには、重要なガスや粒子からベアリングを保護するパージポートも装備されています。その結果、ポンプの稼働時間と寿命、そして生産性が大幅に向上します。低い所有コストと組み合わせることで、真空システムはこれまで以上に効率的になります。一般的なターボ ポンプのアプリケーションには以下が含まれます。 一般的なクリーン ポンプ アプリケーション 走査型電子顕微鏡 - SEM ビーム ラインと高エネルギー物理学 質量分析 電子顕微鏡 サンプル前処理 研究開発 高エネルギー物理学 産業用半導体コーティング 表面科学機器 取扱説明書および Leybold i シリーズ TURBOVAC 製品パンフレットはダウンロードで入手できます。

Leybold TURBO.CONTROL i ディスプレイ ユニットおよびリモート ユーザー インターフェイス (すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプ用)。ライボルト部品番号 PN: 800100V0004。 Leybold TURBO.CONTROL i リモート ユーザー インターフェイスには、すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプの監視と制御を可能にするディスプレイとフロント ソフト キーがあります。これらの i シリーズ ポンプは、完全に機能する内蔵コントローラーを備えており、すぐに使用できます。 TURBO.CONTROL i は、RS 485 (最大ケーブル長 30 メートル) または USB (最大ケーブル長 5 メートル) のいずれかによって、i シリーズ ターボ ポンプの統合コントローラにパラメータの読み取りおよび書き込みとともに開始と停止を発行できます。このユニットは一度に 1 つのポンプのみを動作させることができ、1.5 アンペアを提供する外部 24 VDC AC/DC アダプター (別売り) が必要です。ラックにマウントしたり、オプションのテーブルトップ ハウジングを使用してベンチトップに設置したりできます。 Leybold TURBO.CONTROL i リモート ユーザー インターフェイスには、統合ネットワーク通信ポート (RJ-45) も含まれています。操作はプリインストールされたWebサーバーソフトウェア経由で実行できます。ローカル エリア ネットワーク (LAN) コンピュータをイーサネット経由で使用すると、一般的な Web ブラウザでユニットの独立した Web サーバーにアクセスできます。すべてのターボ ポンプ パラメータは、PC またはモバイル デバイスで簡単に表示および調整できます。 Leybold TURBO.CONTROL i ユニットには、最大 2 つの真空圧力計センサーを接続するためのポートがあります。 Leybold THERMOVAC および PENNINGVAC シリーズの真空圧力計センサーと互換性があります。接続されたゲージ センサーはプラグ アンド プレイで、自動的に認識され、ユーザーが選択可能な圧力単位 (Torr、Pascal、Mbar) と選択可能なガス補正係数に設定できます。互換性のある真空計センサー: PTR 90 PENNINGVAC ピラニ & 冷陰極電離計 PTR 90N PENNINGVAC ピラニ & 冷陰極電離計 TTR 91 Thermovac MEMS-ピラニ真空トランスデューサ TTR 91N Thermovac MEMS-ピラニ真空トランスデューサ TTR 101 Thermovac ピラニ & 静電容量ゲージ TTR 101 N サーモバック ピラニ& 静電容量ゲージ Leybold TURBO.CONTROL i は、ダウンロード セクションから入手可能な無料の DataViewer PC ソフトウェアを使用してオペレータが簡単に表示できるログ ファイルを作成および保存します。このソフトウェアはシンプルな操作メニューを備えた直観的なもので、ユーザーはイベント ログ ファイルに記録された主要なパラメータとともにリアルタイムのターボ ポンプ ステータス データに素早くアクセスできます。 TURBO.CONTROL i インターフェース機能: 動作中の TURBOVAC ポンプの監視 パラメータの読み取りおよび書き込み ポンプの開始、停止、およびスタンバイ コマンドの発行 ポンプの速度、電流、ベアリング温度の観察 警告、エラー メッセージ、および説明の表示 DC24 V アクセサリの機能の設定接続 X201、X202、X203 圧力に基づいて TURBOVAC を起動 ラップトップを接続し、Web サーバー経由で TURBOVAC ポンプを操作 ログデータをリアルタイムで表示 ログメモリを読み出し、データビューアで分析 PC ツールでターボポンプのパラメータセットとエラーメモリを読み出すPC Leybold TURBO.CONTROL i は、すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプと互換性があります: TURBOVAC 90i TURBOVAC 250i TURBOVAC 350i TURBOVAC 450i TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 1350i TURBOVAC 1450i この TURBO.CONTROL i ディスプレイ ユニットには、ライボルト部品番号 800100V0004。

Leybold 24 VDC、1.5A TURBO.CONTROL i ディスプレイ ユニット用プラグイン電源、110 ～ 240 AC、ユニバーサル アダプタ付き。ライボルト部品番号: 800110V0027。これは、Leybold TURBO.CONTROL i ディスプレイ ユニット用の正しい 24 VDC、1.5A、センタープラス電源です。入力は 110 ～ 240VAC で、電源にはほとんどの国に対応するユニバーサル入力プラグ アダプターのセットが付属しています。 TURBO.CONTROL i ディスプレイ ユニットは、次の TURBOVAC ポンプと互換性があります: TURBOVAC 90i TURBOVAC 250i TURBOVAC 350i TURBOVAC 450i TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 1350i TURBOVAC 1450i TURBO.CON 用の 24 VDC 1.5A 電源です。 TROL i ディスプレイ ユニットの部品番号は Leybold 800110V0027 です。

TURBO.CONTROL i ディスプレイユニット用の Leybold テーブルトップハウジング、TURBOVAC ポンプと併用。ライボルト部品番号: 800110V0028。このテーブルトップ ディスプレイ ハウジングは、Leybold TURBO.CONTROL i ディスプレイ ユニット (部品番号 P109168) を完全に補完します。これにより、ディスプレイユニットをベンチトップに安全に設置でき、簡単にアクセスして使用できるようになります。 TURBOVAC ポンプと TURBO.CONTROL i 表示ユニット間の通信には、最長 30m の RS485 シリアル ケーブルが必要です (1m ケーブル部品番号 P1011242、5m ケーブル部品番号 P1012476)。 TURBO.CONTROL i ディスプレイ ユニットは、次の TURBOVAC ポンプと互換性があります: TURBOVAC 90i TURBOVAC 250i TURBOVAC 350i TURBOVAC 450i TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 1350i TURBOVAC 1450i TURBO.CONTROL i ディスプレイ ユニット用のこの卓上ハウジングには Leyb が付いています。旧部品番号 800110V0028。

Leybold RS485 シリアル通信ケーブル、1 m、TURBO.CONTROL i ディスプレイユニットを TURBOVAC ターボポンプに接続します。ライボルト部品番号: 800103V0027。 TURBO.CONTROL i 表示ユニットと TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプとの通信を可能にする RS485 シリアル ケーブルです。このケーブルの長さは1mです。 Leybold TURBO.CONTROL i は、すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプと互換性があります: TURBOVAC 90i TURBOVAC 250i TURBOVAC 350i TURBOVAC 450i TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 1350i TURBOVAC 1450i この 1 メートルの長さの RS485 シリアル通信ケーブルには、Le ybold 部品番号 800103V0027。

TURBO.CONTROL i ディスプレイユニットを TURBOVAC ターボポンプに接続するための Leybold RS485 シリアル通信ケーブル、5 m。ライボルト部品番号: 800103V0029。 TURBO.CONTROL i 表示ユニットと TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプとの通信を可能にする RS485 シリアル ケーブルです。このケーブルの長さは5mです。 Leybold TURBO.CONTROL i は、すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプと互換性があります: TURBOVAC 90i TURBOVAC 250i TURBOVAC 350i TURBOVAC 450i TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 1350i TURBOVAC 1450i この 3 メートルの長さの RS485 シリアル通信ケーブルには、Le ybold 部品番号 800103V0029。

Leybold TURBO.POWER 800 大型 TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプ用電源。ライボルト部品番号: 800100V0010。この Leybold TURBO.POWER 800 は、最大 17.1 アンペアで 48 VDC 出力を提供する 800 ワット電源で、TURBOVAC i シリーズ ポンプ モデル: 850i、950i、1350i、および 1450i に電力を供給するように設計されています。 100 ～ 240 VAC 入力電源から 48 VDC クリーン ヒューズ付き電源を供給します (電源ケーブル部品番号 P108678 が必要です)。 TURBO.POWER 800 はポンプに取り付けることも、ベンチトップ ユニットとして使用することもできます。 TURBO.POWER 800をターボポンプの側面に取り付けるには、アダプター取り付けキット（部品番号P1012449）が必要です。あるいは、リモートのベンチトップ電源としても使用できます。ポンプから離れた場所で電源を使用する場合は、より長い相互接続電源ケーブルが必要です。 3 メートルのケーブル (部品番号 P1012450) と 5 メートルのケーブル (部品番号 P1012477) が使用可能です。この TURBO.POWER 800 電源の Leybold 部品番号は 800100V0010 です。 Leybold TURBO.POWER 800 電源は、次のポンプと互換性があります: TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 1350i TURBOVAC 1450i

TURBO.POWER 800 電源用 Leybold 入力電源コード/主電源ケーブル、長さ 2.5m、米国 115 VAC。ライボルト部品番号: 411340V03。これは、TURBO.POWER 800 電源専用の Leybold 電源コード (主電源ケーブル)、115 VAC、長さ 2.5 m です。これには、一端で TURBO.POWER 800 に接続する 4 ピン スクリュー ロック プラグがあり、もう一端で US プラグ 5-15P が付いています。この OEM 電源コードは次の用途に適しています。 TURBO.POWER 800 電源 この Leybold 2.5 メートルの長さの入力電源コードの Leybold 部品番号は 411340V03 です。

Leybold TURBO.POWER 800 電源用 IVP 入力電源コード/主電源ケーブル、長さ 2.5m、US 5-15 プラグ、入力 115 VAC、出力 48 VDC。これは、Leybold TURBO.POWER 800 電源専用の Ideal Vacuum Products 電源コード (主電源ケーブル)、115 VAC、長さ 2.5 m です。一端で TURBO.POWER 800 に接続する 4 ピン スクリュー ロック プラグ、もう一端で US プラグ 5-15P を備えています。 OEM 仕様を満たす、またはそれを超えることが保証されます。

IVP 入力電源コード/主電源ケーブル、Leybold TURBO.POWER 800 電源用、US 240 VAC 5-15P プラグ、長さ 2.5 m。これは、Leybold TURBO.POWER 800 電源専用の IVP 電源コード (主電源ケーブル)、240 VAC、長さ 2.5 m です。一端に Leybold TURBO.POWER 800 電源に接続する 4 ピン スクリュー ロック プラグ、もう一端に US プラグ 5-15P が付いています。この IVP 電源コードは、Leybold TURBO.POWER 800 電源に対応しています。

Leybold 3m 電源延長ケーブル、TURBO.POWER 800 電源を大型の TURBOVAC ターボ ポンプに接続します (長さ 3m)。ライボルト部品番号: 800096V0303。この Leybold 延長電源ケーブルは、TURBOVAC ターボ ポンプと TURBO.POWER 800 電源の間を接続します。これは、TURBO.POWER 800 電源がテーブルまたはベンチトップ上のポンプからリモートで使用される場合に、TURBOVAC 850i、950i、1350i、および 1450i ターボ ポンプで使用されます。大型の TURBOVAC ポンプには、長さ 1 メートルの恒久的に取り付けられた電源ケーブルが付いています。この 3 メートルの延長ケーブルには、両端に 3 極ヘイスティングス コネクタが付いており、ポンプから電源までのケーブルの全長が 4 メートルに増加します。この Leybold 延長ケーブルは、TURBO.POWER 800 電源および次の TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプと互換性があります: TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 1350i TURBOVAC 1450i この 3 メートルの長さの延長電源ケーブルは、Leybold 部品番号 800096V0303 です。

Leybold 5m 電源延長ケーブル、TURBO.POWER 800 電源を大型の TURBOVAC ターボ ポンプに接続、長さ 3m。ライボルト部品番号: 800096V0503。この Leybold 延長電源ケーブルは、TURBOVAC ターボ ポンプと TURBO.POWER 800 電源の間を接続します。これは、TURBO.POWER 800 電源がテーブルまたはベンチトップ上のポンプからリモートで使用される場合に、TURBOVAC 850i、950i、1350i、および 1450i ターボ ポンプで使用されます。大型の TURBOVAC ポンプには、長さ 1 メートルの恒久的に取り付けられた電源ケーブルが付いています。この 5 メートルの延長ケーブルには両端に 3 極ヘイスティングス コネクタがあり、ポンプから電源までのケーブルの全長が 6 メートルに増加します。この Leybold 延長ケーブルは、TURBO.POWER 800 電源および次の TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプと互換性があります: TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 1350i TURBOVAC 1450i この 5 メートルの長さの延長電源ケーブルの Leybold 部品番号は 800096V0503 です。

Leybold 取り付けキットは、TURBO.POWER Integra 電源を TURBOVAC 850i-1450i ターボ ポンプに適合させます。ライボルト部品番号: 800100V0110。この適応型取り付けキットは、TURBO.POWER 800 電源を TURBOVAC 850i、950i、1350i、または 1450i ターボ ポンプの側面に取り付けるために必要です。取り付け金具が付属しています。 850i および 950i ターボ ポンプ用ラジアル空冷ユニット (部品番号 P1012451) は、この取り付けキットと組み合わせて使用できます。この取り付けキットの部品番号は Leybold 800100V0110 です。この取り付けキットは次のポンプに使用されます: TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 1350i TURBOVAC 1450i

Leybold ファイン センタリング リング インレット スクリーン (0.8 mm)、スプリンター ガード、ISO-K DN 200 フランジを備えた TURBOVAC 950i、1350i に適合します。ライボルト部品番号: 800133V0042。この Leybold の細かいスクリーン付きセンタリング リング (0.8 mm メッシュ) は、真空流をフィルタリングし、物体が TURBOVAC ターボ ポンプに吸い込まれるのを防ぐために使用されます。このスクリーンのフランジ サイズは ISO-K DN 200 です。使用するガスによっては、このスクリーンを使用するとポンプ速度が若干低下します。このスクリーンは以下に適合します: ISO-K 200 インレット付き TURBOVAC 950i、Leybold ポンプ部品番号: 840091V1000 ISO-K 200 インレット付き TURBOVAC 1350i、Leybold ポンプ部品番号: 850092V1000 このファインスクリーンセンタリングリングの Leybold 部品番号は 800133V0042 です。

Leybold 粗いセンタリング リング インレット スクリーン (3.2 mm)、スプリンター ガード、ISO-K DN 200 フランジを備えた TURBOVAC 950i、1350i に適合します。ライボルト部品番号: 800133V0041。この Leybold の粗いスクリーン付きセンタリング リング (3.2 mm メッシュ) は、真空流をフィルタリングし、物体が TURBOVAC ターボ ポンプに吸い込まれるのを防ぐために使用されます。このスクリーンのフランジ サイズは ISO-K DN 200 です。使用するガスによっては、このスクリーンを使用するとポンプ速度が若干低下します。このスクリーンは以下に適合します: ISO-K 200 インレット付き TURBOVAC 950i、Leybold ポンプ部品番号: 840091V1000 ISO-K 200 インレット付き TURBOVAC 1350i、Leybold ポンプ部品番号: 850092V1000 この粗スクリーン センタリング リングの Leybold 部品番号は 800133V0041 です。

すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプ用の Leybold スタート/ストップ スイッチ。ライボルト部品番号: 800110V0021。この Leybold スタート/ストップ スイッチは、90i、250i、350i、450i、850i、950i、1350i、1450i を含むすべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプに適合します。ポンプのリモート 15 ピン HD (X1) コネクタに直接接続し、オペレータがポンプを稼働からスタンバイに手動で切り替えることができます。このスタート/ストップ スイッチは以下に適合します: TURBOVAC 90i TURBOVAC 250i TURBOVAC 350i TURBOVAC 450i TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 1350i TURBOVAC 1450i このスタート/ストップ スイッチの Leybold 部品番号は 800110V0021 です。

Leybold USB 2.0 ケーブル、タイプ A/B、TURBO.CONTROL i ディスプレイ ユニットを TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプに接続、長さ 1.8 m。ライボルト部品番号: 800110V0108。この USB ケーブルは、TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプを TURBO.CONTROL i ディスプレイ ユニット (部品番号 P109168) に接続します。 USB2.0タイプA/Bのケーブルで、長さは1.8mです。 USB インターフェイスを介して、TURBO.CONTROL i は、i シリーズ ターボ ポンプの統合コントローラにパラメータの読み取りおよび書き込みとともに開始と停止を発行できます。この USB ケーブルの Leybold 部品番号は 800110V0108 です。 Leybold TURBO.CONTROL i は、すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプと互換性があります: TURBOVAC 90i TURBOVAC 250i TURBOVAC 350i TURBOVAC 450i TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 1350i TURBOVAC 1450i

TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプ用の Leybold ベント バルブ、24 VDC、NC、G 1/8 インチ コネクタ。ライボルト部品番号: 800120V0012。この Leybold ベント バルブは、TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプの VENT ポートに取り付けることができます。これは常閉 (NC) バルブであり、DC24 V で動作します。 G 1/8 インチ (BSPP) VENT ポートに配管され、24 VDC (X201) アクセサリ ポートから電力が供給されます。この通気バルブは、ポンプのスイッチがオフになったときにポンプと前真空ラインを通気し、油蒸気の侵入を防ぎます。前真空ラインから逆拡散します。ベントポートのチョークノズルにより、ポンプのベントが速すぎることがなくなります。ポンプ内の最大許容圧力は 1.4 bar (絶対値) を超えてはなりません。TURBO.CONTROL i 表示ユニットを使用してください (部品番号 P109168) を使用して、このバルブの正しいパラメータを設定してください。手順については、シリアル インターフェイスのダウンロードを参照してください。この通常閉の Leybold ベント バルブの部品番号は 800120V0012 です。この Leybold ベント バルブは、すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプに適合します: TURBOVAC 90i TURBOVAC 250i TURBOVAC 350i ターボバック 450i ターボバック 850i ターボバック 950i ターボバック 1350i ターボバック 1450i

Leybold パージ ガス バルブ、TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプ用、24 VDC、24 sccm、G 1/8 インチ コネクタ。ライボルト部品番号: 800120V0013。この Leybold パージ ガス バルブは、TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプの PURGE ポートに取り付けることができます。このバルブは 24 VDC で動作し、ガス入口を 24 sccm に絞ります。このバルブは G 1/8" (BSPP) PURGE ポートに配管され、24 VDC (X201) アクセサリ ポートから電力を供給されます。このバルブの正しいパラメータを設定するには、TURBO.CONTROL i ディスプレイ ユニット (部品番号 P109168) を使用してください。手順については、シリアル インターフェイスのダウンロードを参照してください。この Leybold パージ ガス バルブの部品番号は 800120V0013 です。この Leybold パージ ガス バルブは、すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプに適合します: TURBOVAC 90i TURBOVAC 250i TURBOVAC 350i TURBOVAC 450i TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBOVAC 13 50i ターボバック 1450i

Leybold 停電時通気バルブ、TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプ用、24 VDC、通常開、G 1/8 インチ コネクタ。ライボルト部品番号: 800120V0022。この Leybold ベント バルブは、TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプの VENT ポートに取り付けることができます。これはノーマルオープン (NO) バルブであり、24 VDC で動作します。 G 1/8 インチ (BSPP) アクセサリ ポートに配管され、24 VDC (X201) アクセサリ ポートから電力が供給されます。停電が発生すると、このバルブが閉じてポンプと前真空ラインを通気し、オイル蒸気を保持します。前真空ラインからの逆拡散を防止します ベントポートのチョークノズルにより、ポンプのベントが速すぎることがなくなります ポンプ内の最大許容圧力は 1.4 bar (絶対値) を超えてはなりません TURBO.CONTROL i 表示ユニットを使用してください(部品番号 P109168) を使用して、このバルブの正しいパラメータを設定します。手順については、シリアル インターフェイスのダウンロードを参照してください。この通常開の Leybold 停電通気バルブの部品番号は 800120V0022 です。この Leybold 停電通気バルブは、すべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプに適合します。ターボバック 90i ターボバック 250i ターボバック 350i ターボバック 450i ターボバック 850i ターボバック 950i ターボバック 1350i ターボバック 1450i

Leybold パージ ガス スロットル、TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプ用、24 sccm、G 1/8 インチ コネクタ。ライボルト部品番号: 800120V0014。このライボルド パージ ガス スロットルは、ベント バルブ (部品番号 P1012442) または停電ベント バルブ (部品番号 P1012443) の G 1/8 インチ (BSPP) 入口に取り付けられます。バルブを通るガス入力を 24 sccm に絞ります。 . このパージ ガス スロットルは、ターボ ポンプの VENT ポートにバルブが配管されているすべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプで使用できます。バルブの正しいパラメータを設定するには、TURBO.CONTROL i 表示ユニット (部品番号 P109168) を使用してください。手順については、シリアル インターフェイスのダウンロードをご覧ください。この Leybold パージ ガス バルブの部品番号は 800120V0014 です。この Leybold パージ ガス スロットルは、ベント バルブを備えたすべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプに適合します: TURBOVAC 90i TURBOVAC 250i TURBOVAC 350i TURBOVAC 450i TURBOVAC 850i TURBOVAC 950i TURBオバック 1350i ターボバック 1450i

TURBOVAC i シリーズ ポンプの通気バルブ用 Leybold エア フィルター、G 1/8 インチ コネクタ。ライボルト部品番号: 800110V0022。このライボルト エア フィルターは、通気バルブ (部品番号 P1012442)、停電通気バルブ (部品番号 P1012443)、またはパージ ガス スロットル (部品番号 P1012444) の G 1/8 インチ (BSPP) 入口に取り付けることができます。エアフィルターは、バルブ作動時にポンプ内へのゴミやホコリの侵入を防ぎます。このエアフィルターは、VENT ポートにバルブが配管されているすべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプに使用できます。TURBO.CONTROL i 表示ユニット (部品番号) を使用してください。 P109168) を使用して、バルブの正しいパラメータを設定します。手順については、シリアル インターフェイスのダウンロードを参照してください。この Leybold エア フィルタの部品番号は 800110V0022 です。この Leybold エア フィルタは、ベント バルブを備えたすべての TURBOVAC i シリーズ ターボ ポンプに適合します: TURBOVAC 90i TURBOVAC 250i TURBOVAC 350iターボバック 450i ターボバック 850i ターボバック 950i ターボバック 1350i ターボバック 1450i