MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 0.4 ～ 20 sccm、RS - 485 シリアル通信プロトコル、4 VCR オス。MKS 部品番号: GM50A015201R5M020。MKS GM50A マスフローコントローラは、O2 または同等の物質を制御するように構成されており、フルスケール フロー範囲は 20 sccm、制御範囲は 0.4 ～ 20 sccm です。RS - 485 シリアル通信ポート、0 ～ 5 VDC または 4 ～ 20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。通常の応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスに対して設定点の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションを通じて設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 0.4 ～ 20 sccm、15 ピン D サブミニチュア、4 VCR オス。MKS 部品番号: GM50A013201RMM020。MKS GM50A マスフローコントローラは、N2 または同等のガスを制御するように構成でき、フルスケール フロー範囲は 20 sccm、制御範囲は 0.4 ～ 20 sccm です。このコントローラには、接地された 15 ピン D サブミニチュア アナログ コネクタ、0 ～ 5 VDC フロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングがあります。通常の応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスに対して設定点の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションを通じて設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 1 ～ 50 sccm、RS - 485 シリアル通信プロトコル、4 VCR オス。MKS 部品番号: GM50A013501R5M020。MKS GM50A マスフローコントローラは、N2 または同等の物質を制御するように構成されており、フルスケール フロー範囲は 50 sccm、制御範囲は 1 ～ 50 sccm です。RS - 485 シリアル通信ポート、0 ～ 5 VDC または 4 ～ 20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。通常の応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスに対して設定点の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションを通じて設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 4 ～ 200 sccm、RS - 485 シリアル通信プロトコル、4 VCR オス。MKS 部品番号: GM50A004202R5M020。MKS GM50A マスフローコントローラは、フルスケール フロー範囲 200 sccm、制御範囲 4 ～ 200 sccm で、Ar または同等の物質を制御するように構成されています。この 200sccm アルゴン ユニットは、ソフトウェアによって 141sccm に「ダウンレンジ」でき、制御可能な範囲が 4 ～ 200sccm から 2.8 ～ 141sccm アルゴンになります。RS - 485 シリアル通信ポート、0 ～ 5 VDC または 4 ～ 20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスの設定点精度が 1% になります。マルチレンジ機能は、MFC をルーターまたはコンピューターに Ethernet ケーブルで接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションで設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 1 ～ 50 sccm、RS - 485 シリアル通信プロトコル、4 VCR オス。MKS 部品番号: GM50A015501R5M020。MKS GM50A マスフローコントローラは、O2 または同等の物質を制御するように構成されており、フルスケール フロー範囲は 50 sccm、制御範囲は 1 ～ 50 sccm です。RS - 485 シリアル通信ポート、0 ～ 5 VDC または 4 ～ 20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。通常の応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスに対して設定点の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションを通じて設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 0.4 ～ 20 sccm、RS - 485 シリアル通信プロトコル、4 VCR オス。MKS 部品番号: GM50A013201R5M020。MKS GM50A マスフローコントローラは、N2 または同等の物質を制御するように構成されており、フルスケール フロー範囲は 50 sccm、制御範囲は 0.4 ～ 20 sccm です。RS - 485 シリアル通信ポート、0 ～ 5 VDC または 4 ～ 20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。通常の応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスに対して設定点の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションを通じて設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 1 ～ 50 sccm、15 ピン コネクタ、4 VCR オス。 PN: GM50A013501RMM020。 MKS 部品番号: GM50A013501RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、広範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® オスです。フルスケール流量範囲は 50 sccm、制御範囲は 1 ～ 50 sccm、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC 流量入力/出力信号を備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。 Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 2 ～ 100 sccm、15 ピン D サブミニチュア、4 VCR オス。 PN: GM50A013102RMM020。 MKS 部品番号: GM50A013102RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、広範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® オスです。フルスケール流量範囲は 100 sccm、制御範囲は 2 ～ 100 sccm、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC 流量入力/出力信号を備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。 Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 4 ～ 200 sccm、15 ピン D サブミニチュア。 MKS 部品番号: GM50A013202RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、広範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® オスです。フルスケール流量範囲は 200 sccm、制御範囲は 4 ～ 200 sccm、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC 流量入力/出力信号を備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。 Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 10 ～ 500 sccm、15 ピン D サブミニチュア、4 VCR オス。 MKS 部品番号: GM50A013502RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、広範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® です。フルスケール流量範囲は 500 sccm、制御範囲は 10 ～ 500 sccm、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC 流量入力/出力信号を備えています。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。 Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 20 ～ 1000 sccm、15 ピン D-サブミニチュア コネクタ、4 VCR オス。 MKS 部品番号: GM50A013103RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、広範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® オスです。フルスケール流量範囲は 1000 sccm、制御範囲は 20 ～ 1000 sccm、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC 流量入力/出力信号を備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。 Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS 946 ハーフラック真空ゲージ コントローラー電源および読み出し、カードなし、RS232 および RS485、6 チャンネル。 MKS 部品番号: 946-US-NANAN-NA。 MKS 946 は多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。これはカードのない生のユニットです。電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 の信号ケーブルとオプションのカードは、この Web サイトで入手できます。

MKS コントロール カード マスフロー コントローラー シリーズ 946 およびデュアル マスフロー コントローラー。 MKS 部品番号: 20000712。MKS コントロール カード マス フロー コントローラーは、946 およびデュアル マス フロー コントローラーと互換性があります。これらのカードは、流量トランスデューサを制御および表示するように設計されたコントローラで使用されます。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、最大 6 つのセンサーとゲージを同時に読み出し、制御します。

MKS 真空計ケーブルは、946 コントローラーを 179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A、長さ 10 フィート (3m) に接続します。 MKS 部品番号: 100016744。MKS マスフロー コントローラ ケーブルは、179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A マスフロー コントローラを 15 ピン タイプ D High-946 コントローラに接続します。密度超小型コネクタから 15 ピン標準超小型コネクタまで。こちらはケーブルのみです。 MKS 946 は、多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。

MKS 真空計ケーブルは、946 コントローラーを 179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A、長さ 25 フィート (7.5m) に接続します。 MKS 部品番号: 100016745。MKS マスフロー コントローラ ケーブルは、179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A マスフロー コントローラを 15 ピン タイプ D High- の 946 コントローラに接続します。密度超小型コネクタから 15 ピン標準超小型コネクタまで。こちらはケーブルのみです。 MKS 946 は、多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。