Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA は、真空チャンバー内の残留ガスの特定と濃度の判定に役立つコンパクトな質量分析計です。リーク検出、ガス放出分析、コーティングおよびエッチング アプリケーションでの供給ガス品質管理、プロセスのトラブルシューティングなどに使用できます。

RGA はチャンバーに直接接続され、1×10 ^-6 Torr 未満、最適には約 2×10 ^-7 Torr の全圧で連続動作するよう設計されています。RGA を高圧で動作させると、イオン化装置、フィラメント、四重極の寿命が大幅に短くなります。AnalyzaVAC の内蔵圧力ゲージは、内部と付属の AutoZ ⁺ソフトウェアの両方で使用され、RGA への致命的な損傷を防止します (ほとんどの場合)。

中真空から大気圧までのチャンバー内のガスを測定するには、RGA を専用の高真空ポンプ システムを備えた別の小さなチャンバーに配置する必要があります。次に、RGA 真空システムをリーク バルブを介してチャンバーに接続します。これにより、RGA は繊細な四極プローブの周囲に高真空を維持しながら、メイン チャンバー内のガスをサンプリングできます。

このキットには、RGA を使用して高圧のガスを測定するために必要なものがすべて含まれています。

コンポーネントと機能:

• 理想的な真空分析VAC RGA。
• 1〜100 AMUのスキャン範囲。
• 電子増倍器信号増幅器。
• ファラデーカップ検出器。
• 内蔵のピラニゲージにより、高圧時に RGA がオンになるのを防ぎます。
• 高速高真空圧力測定用の内蔵熱陰極イオンゲージ。
• ワンスイッチで高真空操作が可能な Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS ターボ分子ポンプ ステーション。
• 手動の Agilent 可変リーク バルブにより、1000 Torr から高真空までのチャンバーの RGA サンプリングが可能になります。
• 他のガス源からの測定汚染を最小限に抑える全金属シールを備えた溶接マニホールド。
• Ideal Vacuum AutoZ ⁺基本バージョンソフトウェア。

Agilent Varian TPS-mini ポンプ ステーションと手動の Agilent 可変リーク バルブを組み合わせると、少なくとも 9 桁の圧力に及ぶチャンバーの正確なガス サンプリングが可能になります。ただし、単一のアイソレーション バルブ クラック ポイントは、範囲内のすべての圧力に適しているわけではありません。最良の結果を得るには、チャンバー圧力が変更されるたびにバルブを手動でリセットする必要があります。チャンバー圧力が現在の動作圧力と比較して 1 桁以上上昇する場合 (つまり、チャンバー ベント中)、RGA とポンプ システムの損傷を防ぐために、まずリーク バルブを閉じる必要があります。チャンバーが安定した圧力に達したら、RGA イオナイザをオフにし、RGA サブシステム内の目的の圧力に達するまでバルブを再度開きます。その後、RGA イオナイザをオンに戻して、測定を再開できます。

圧力サイクルを通じてリークバルブを特定の亀裂点に保つために、追加の手動ベローズバルブを使用して RGA をチャンバーから分離することができます。

理想的な真空AnalyzaVac RGAについて:

AnalyzaVAC は、現場で交換可能な 2 つのトリウム イリジウム フィラメントから熱電子放出される電子を使用して、プローブの先端にあるガスをイオン化することで動作します。結果として生じる陽イオンは、四重極フィルターに適用されるさまざまな無線周波数と DC 電圧の組み合わせを使用して、質量電荷比によって分離されます。正に帯電したイオンは四重極の中心を移動し、電子増倍管によって増幅されるか、プローブの端にあるファラデー カップ検出器によって直接検出されます。各ガスは、その元素の自然な同位体存在比と RGA の高エネルギー電子イオン化によって生じる分子の断片化を組み合わせた、独自のスペクトル フィンガープリントを生成します。

すべての AnalyzaVAC プローブには、1.5×10 ^-12 Torr ^*までの繰り返し可能で定量的かつ直線性の高い検出を提供するファラデー カップ検出器が付属しています。オプションの電子増倍管により、定性測定の感度が驚異の 6×10 ^-15 Torr ^*まで向上します。標準検出器と電子増倍管付き検出器はどちらも、適切に較正すると、10% ピーク高さで 0.5 AMU (またはそれ以上) の解像度を備えています。

Ideal Vacuum の有効期限のない基本 AutoZ ⁺ソフトウェアは、デスクトップまたはラップトップ コンピューターから AnalyzaVAC RGA システムを制御できる Windows 10 アプリケーションです。AutoZ ^{+ を}使用すると、オペレーターはすべての取得パラメータを制御できます。AutoZ ⁺はリアルタイムのデータ ストリーミングを提供し、収集したデータをアナログ スペクトル、質量ヒストグラム、および時間の経過に伴う傾向として表示できます。不要なピークやスペクトルの寄与を除去するために、ユーザーは以前に収集したスペクトルを使用してデータをベースライン化できます。

Ideal Vacuum のオプションのプレミアム AutoZ ⁺ソフトウェア アップグレードには、基本ソフトウェアのすべての機能が含まれており、高度なデータ ロギング、平均化、Ideal Vacuum の物質ライブラリへのアクセスによるスペクトル フィッティング、ライブラリへの化合物の追加機能が追加されます。プレミアム AutoZ ^{+ は}、強力な最小二乗アルゴリズムを使用して、一般的な残留ガスの部分圧を計算し、現在表示されているスペクトルへの寄与を識別し、未知のピークを分離します。プレミアム ソフトウェアは毎年更新する必要があります。そうしないと、基本バージョンに戻ります。

RGA アプリケーションの例:

• リークテスト
• プロセス監視
• ポンプダウンとベークアウトの監視
• 真空診断
• 供給ガス品質管理
• ガスおよび汚染物質の識別

* AnalyzaVAC プローブは精密機器です。プローブを不適切に使用したり、誤った取り扱いをしたり、長時間高圧で操作したりすると、プローブが汚染され、損傷する可能性があります。そのため、プローブは元のパッケージから取り出した後は保証されません。
Agilent TPS Mini Turbo には完全なメーカー保証が付いています。その他のコンポーネントの保証は、製品の欠陥に対してのみ適用されます。

RGA の最適な総動作圧力は、ほとんどのガスで 2×10 ^-7 Torr です。可変リーク バルブとターボ ポンプ システムを使用して RGA システム内部の圧力を下げる限り、外部圧力はこれよりずっと高くてもかまいません。RGA システム圧力を高くして長時間操作すると、プローブの早期劣化、ゲインの損失、スペクトル ドリフト、フィラメントとイオン化装置の焼損が発生します。RGA は、次の圧力領域で、対応する時間使用できます。
10 ^-4 Torr、数時間
10 ^-5 Torr、数日
10 ^-6 Torr、数か月
10 ^-7 Torr、数年
10 ^-8 Torr、無制限
フィラメントとイオナイザの煤汚染を防ぐために、有機蒸気は大気ガスの 2 分の 1 の圧力に保つ必要があります。フィラメントとイオナイザのガラス堆積を防ぐために、シリコン蒸気は大気ガスの少なくとも 10 分の 1 の圧力に保つ必要があります。腐食性蒸気も通常のガスよりも RGA にダメージを与えます。圧力を適切に管理することで、RGA を使用してこれらのガスを測定でき、費用のかかる修理は必要ありません。

*窒素ガス、5 秒の滞留時間、1 amu フルピーク幅、10% の高さ、70 eV の電子エネルギー、6 eV のイオンエネルギー、2 mA の電子放出で測定し、ベースライン ノイズから 3 つの標準偏差を計算します。