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예어       부품 번호:      

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기존의 구식 iH 시리즈 펌프가 있는 도구에 새로운 스타일의 iXL 또는 iXH 시리즈 건식 반도체 펌프를 설치하기 위한 Edwards EMO 케이블

상태:
  새로운
부품 번호:
  P1011999
보증:
  Against Product Defect

지금 이용 가능   97  

판매: ₩369,616.63

기존의 구식 iH 시리즈 펌프가 있는 도구에 새로운 스타일의 iXL 또는 iXH 시리즈 건식 반도체 펌프를 설치하기 위한 Edwards EMO 케이블 369616.63
통화: South Korean Won (KRW)

설명

기존의 구식 iH 시리즈 펌프가 있는 도구에 새로운 스타일의 iXL 또는 iXH 시리즈 건식 반도체 펌프를 설치하기 위한 Edwards EMO 케이블.

Ideal Vacuum은 기존 스타일의 iH 시리즈 펌프를 IXL120N, iXH100 또는 iXH610 스타일로 교체할 수 있는 자체 인터페이스 케이블을 제공합니다. 이 EMO 케이블링은 반도체 도구의 하위 팹에 여러 개의 기존 스타일 iH 펌프가 부착되어 있는 응용 분야에 유용합니다. 이 인터페이스 모듈 케이블은 기존 스타일의 나머지 iH 펌프와 새로운 스타일의 iXL120N 교체 펌프를 통해 EMO 회로를 계속합니다. 연결 및 다양한 인터페이스 모듈은 아래에 자세히 설명되어 있습니다. 이 케이블은 일반적으로 왼쪽 iH에 있는 iTIM의 P2(출력)에서 iXL120N의 비상 정지(EMS) 커넥터, 오른쪽 iH 펌프에 있는 iTIM의 J1(입력)에 연결됩니다(자세한 내용은 PDF 형식의 애플리케이션 노트 참조). .

문제는 Edwards iH 시리즈 펌프가 이제 단종되어 더 이상 사용할 수 없다는 것입니다. Ideal Vacuum은 교체용 펌프, 로드록용 iXL120N, iXH100(iH80 대체), iXH610(iH600 대체) 등을 보유하고 있습니다. 새로운 iXL120N 펌프에는 기존 IH 펌프처럼 전면에 EMO 버튼이 없습니다(자세한 내용은 애플리케이션 노트 참조). Edwards iTIM은 하위 공장의 단일 반도체 도구에 여러 펌프가 연결된 구형 Edwards iH 시리즈 건식 반도체 진공 펌프로 구성되는 경우가 많습니다. EMO 케이블링은 iH 시리즈 펌프 중 하나에서 EMO를 누르면 도구를 종료하도록 설정되어 있으며 일반적으로 데이지 체인 구성으로 직렬로 케이블링되어 있습니다.
Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
문의하기
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 뉴 멕시코 87109-5805 USA

핸드폰: (505) 872-0037
팩스: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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