iXH 진공 펌프용 전원 케이블을 만드는 데 사용되는 Edwards 전원 커넥터 키트. 이는 Edwards iXH 시리즈 반도체 진공 펌프용 입력 주 전원 케이블을 만드는 Edwards iXH 건식 반도체 펌프 플러그 키트입니다. iXH100, iXH610, iXH1210H, iXH1220H 및 기타 모델과 함께 작동합니다.

Edwards QDP, iQDP, iH, & iL 워터 커넥터 플러그/더스트 캡, 암형 퀵 커플링 ISO B, 3/8 NPT(National Pipe Thread)용으로 설계됨 이것은 고무 플러그 전용이며 피팅이 없습니다. 이 퀵 커플링 보호 커버는 Edwards QDP, iQDP, iH 및 iL 워터 커넥터 수형 플러그 캡에 맞도록 설계되었습니다.

Edwards QDP, iQDP, iH 및 iL 워터 커넥터, 수형 퀵 커플러, ISO B, 황동, 3/8 커플러 본체 X 3/8 수형 NPT. Edwards QDP, iQDP, iH 및 iL 워터 커넥터, 수형 퀵 커플러, ISO B, 황동, 3/8 커플러 본체 X 3/8 수형 NPT(국내 파이프 나사산).

Edwards QDP, iQDP, iH 및 iL 워터 커넥터, 암형 퀵 커플링, ISO B, 황동, 3/8 커플러 본체 X 3/8. Edwards QDP, iQDP, iH 및 iL 워터 커넥터, 암형 퀵 커플링, ISO B, 황동, 3/8 커플러 본체 X 3/8 암나사 NPT(국내 파이프 나사산).

M8x1.25, 30mm 미터법 소켓 나사, 100개 상자, LF63-100 Edwards iH600, iH1000 및 iH1800 건식 반도체 펌프용 피팅 및 흡입 나사 이것은 M8x1.25, 30mm 길이 미터법 소켓 헤드 캡 나사 100개로 구성된 상자입니다. , 클래스 12.9 합금강, 흑색 산화물 마감. 이 나사는 탭 나사 구멍 ISO LF NW63, NW80 및 NW100 피팅에 맞습니다. 이 나사는 Edwards Dry Semiconductor 진공 펌프 모델 iH600, iH1000 및 iH1800의 흡입구에도 맞습니다.

Edwards iQ 시스템 터미네이터 플러그, iQDP 및 iH 건식 반도체 진공 펌프용Edwards iQ 시스템 터미네이터 플러그, iQDP-40 및 iQDP-80 건식 반도체 진공 펌프용. 이 플러그가 없으면 시스템에 전원을 공급할 수 없습니다.

반도체 펌프 iL70, IH600, IH600MK, IH600MK2용 Edwards Transit Seal Big 반도체 펌프 iL70, IH600, IH600MK, IH600MK2용 Edwards Transit Seal Big. iH600 PTFE SEAL-B.

IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용 Edwards 2단계 로터 클로 Edwards 진공 부품 번호 40801724 이러한 Edwards 2단계 로터는 Edwards IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용입니다. 부품의 분해도는 아래 AVAILABLE DOWNLOADS에서 .pdf를 다운로드하여 볼 수 있습니다.

IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용 Edwards 3단계 X 로터 클로Edwards 진공 부품 번호 40801726 이 Edwards 3단계 X 로터는 Edwards IH 80 및 IH 160 진공 펌프용입니다. 부품의 분해도는 아래 AVAILABLE DOWNLOADS에서 .pdf를 다운로드하여 볼 수 있습니다.

IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용 Edwards 4단계 X 로터 클로Edwards 진공 부품 번호 40801728 이 Edwards 4단계 X 로터는 Edwards IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용입니다. 부품의 분해도는 아래 AVAILABLE DOWNLOADS에서 .pdf를 다운로드하여 볼 수 있습니다.

Edwards IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용 Edwards 2단계 Y 로터 클로 Edwards 진공 부품 번호 40801725 이러한 Edwards 2단계 로터는 Edwards IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용입니다. 부품의 분해도는 아래 AVAILABLE DOWNLOADS에서 .pdf를 다운로드하여 볼 수 있습니다.

IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용 Edwards 3단계 Y 로터 클로 Edwards 진공 부품 번호 40801727 이 Edwards 3단계 Y 로터는 Edwards IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용입니다. 부품의 분해도는 아래 AVAILABLE DOWNLOADS에서 .pdf를 다운로드하여 볼 수 있습니다.

IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용 Edwards 4단계 Y 로터 클로 Edwards 진공 부품 번호 40801729 이 Edwards 4단계 Y 로터는 Edwards IH 80 및 IH 160 진공 펌프용입니다. 부품의 분해도는 아래 AVAILABLE DOWNLOADS에서 .pdf를 다운로드하여 볼 수 있습니다.

IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용 Edwards HV 로터 클로Edwards 진공 부품 번호 40801723 이 Edwards HV 로터는 Edwards IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용입니다. 부품의 분해도는 아래 AVAILABLE DOWNLOADS에서 .pdf를 다운로드하여 볼 수 있습니다.

IH 80 및 IH 160 건식 진공 펌프용 Edwards LV 로터 Edwards 진공 부품 번호 40801730 이 Edwards LV 로터는 Edwards IH 80 및 IH 160 진공 펌프용입니다. 다운로드 옆에 있는 .pdf를 다운로드하면 부품 분해도를 볼 수 있습니다.

IH, QDP, IQDP 건식 펌프용 새로운 Edwards 배기 체크 밸브, KF 40 연결 플랜지 이러한 Edwards 진공 펌프 배기 체크 밸브는 일반적으로 전원이 꺼진 동안 공기가 펌프를 통해 역류하는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 이는 단순히 일방향 밸브이며 역방향 공기 흐름을 억제하도록 설계되었습니다. 이러한 체크 밸브 중 하나를 설치하더라도 펌프는 결국 대기압으로 증가합니다. 이러한 체크 밸브는 큰 공기 돌진으로 인해 공정 분말이 뒤로 쓸려가는 것을 방지하려는 노력에 도움이 됩니다. 이 제품은 일반적으로 Edwards 건식 반도체 펌프, iH, QDP 및 iQDP 건식 펌프에 사용됩니다.

IH, QDP, IQDP 건식 펌프용 새로운 Edwards 배기 체크 밸브 키트, KF 40 연결 플랜지이것은 Edwards 진공 펌프 배기 체크 밸브 키트입니다. 일반적으로 전원이 꺼진 동안 공기가 펌프를 통해 역류하는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 이는 단순히 일방향 밸브이며 역방향 공기 흐름을 억제하도록 설계되었습니다. 이러한 체크 밸브 중 하나를 설치하더라도 펌프는 결국 대기압으로 증가합니다. 이러한 체크 밸브는 대량의 공기 돌진으로 인해 공정 분말이 뒤로 쓸려가는 것을 방지하는 데 도움이 됩니다. 일반적으로 Edwards 건식 반도체 펌프, iH, QDP 및 iQDP 건식 펌프에 사용됩니다. 배기 체크 밸브 키트에는 다음이 포함됩니다: (2) KF-40 힌지 클램프(2) KF-40 과압 센터링 링(1) KF-40 배기 체크 밸브(1) KF-40 90도 엘보 스테인레스 스틸

기존의 구식 iH 시리즈 펌프가 있는 도구에 새로운 스타일의 iXL 또는 iXH 시리즈 건식 반도체 펌프를 설치하기 위한 Edwards EMO 케이블. Ideal Vacuum은 기존 스타일의 iH 시리즈 펌프를 IXL120N, iXH100 또는 iXH610 스타일로 교체할 수 있는 자체 인터페이스 케이블을 제공합니다. 이 EMO 케이블링은 반도체 도구의 하위 팹에 여러 개의 기존 스타일 iH 펌프가 부착되어 있는 응용 분야에 유용합니다. 이 인터페이스 모듈 케이블은 기존 스타일의 나머지 iH 펌프와 새로운 스타일의 iXL120N 교체 펌프를 통해 EMO 회로를 계속합니다. 연결 및 다양한 인터페이스 모듈은 아래에 자세히 설명되어 있습니다. 이 케이블은 일반적으로 왼쪽 iH에 있는 iTIM의 P2(출력)에서 iXL120N의 비상 정지(EMS) 커넥터, 오른쪽 iH 펌프에 있는 iTIM의 J1(입력)에 연결됩니다(자세한 내용은 PDF 형식의 애플리케이션 노트 참조). . 문제는 Edwards iH 시리즈 펌프가 이제 단종되어 더 이상 사용할 수 없다는 것입니다. Ideal Vacuum은 교체용 펌프, 로드록용 iXL120N, iXH100(iH80 대체), iXH610(iH600 대체) 등을 보유하고 있습니다. 새로운 iXL120N 펌프에는 기존 IH 펌프처럼 전면에 EMO 버튼이 없습니다(자세한 내용은 애플리케이션 노트 참조). Edwards iTIM은 하위 공장의 단일 반도체 도구에 여러 펌프가 연결된 구형 Edwards iH 시리즈 건식 반도체 진공 펌프로 구성되는 경우가 많습니다. EMO 케이블링은 iH 시리즈 펌프 중 하나에서 EMO를 누르면 도구를 종료하도록 설정되어 있으며 일반적으로 데이지 체인 구성으로 직렬로 케이블링되어 있습니다.

iXL 시리즈 진공 펌프용 전원 케이블을 만드는 데 사용되는 Edwards iXL 건식 반도체 펌프 플러그. 이는 Edwards iXL 시리즈 반도체 진공 펌프용 입력 주 전원 케이블을 만드는 Edwards iXL 건식 반도체 펌프 플러그 키트입니다. iXL120 및 기타 모델에서 작동합니다.

iH 펌프용 Edwards iTIM E73 & Al & T1 & 게이트 밸브 제어. PN: D37420000. iTIM은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 프로세스 도구로 IH 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. iTIM에는 다양한 고급 기능이 있습니다. • 각 iTIM에서 최대 3가지 다른 유형의 도구 인터페이스를 위한 디지털 연결.• 펌프 후면에 편리하게 장착, 신속한 2점 고정.• AUC 기능을 쉽게 사용자 정의할 수 있도록 구성 가능한 연결.• 게이트 밸브 제어가 포함됨 이 모듈은 표준입니다.• iTIM에는 특정 공정이나 레시피와 관련된 펌프 설정점을 저장할 수 있는 설정점 저장소가 있습니다. 이러한 설정값은 전원을 켤 때 펌프에 자동으로 로드되며, 펌프 교체 시 새 펌프도 포함됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 예를 들어 인터페이스 모듈을 변경하지 않고도 펌프를 iH에서 iHs로 업그레이드할 수 있습니다. 그러나 iTIM은 iM 모듈에 비해 향상된 성능을 제공합니다. 예를 들어 전체 AUC 기능은 iTIM을 통해서만 사용할 수 있습니다. iTIM은 모든 신규 설치에 권장됩니다. 자세한 지침은 505-872-0037로 전화해 주세요.