IH, QDP, IQDP 건식 펌프, KF 40 연결 플랜지용 새 Edwards 배기 체크 밸브 키트
이것은 Edwards 진공 펌프 배기 체크 밸브 키트입니다. 일반적으로 전원이 꺼진 동안 공기가 펌프를 통해 역류하는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 이는 단순히 일방향 밸브이며 역방향 공기 흐름을 억제하도록 설계되었습니다. 이러한 체크 밸브 중 하나를 설치하더라도 펌프는 결국 대기압으로 증가합니다. 이러한 체크 밸브는 대량의 공기 돌진으로 인해 공정 분말이 뒤로 쓸려가는 것을 방지하는 데 도움이 됩니다. 이 제품은 일반적으로 Edwards 건식 반도체 펌프, iH, QDP 및 iQDP 건식 펌프에 사용됩니다.
배기 체크 밸브 키트에는 다음이 포함됩니다.
(2) KF-40 힌지 클램프
(2) KF-40 과압 센터링 링
(1) KF-40 배기 체크 밸브
(1) KF-40 90도 엘보 스테인레스 스틸