IH, QDP, IQDP 건식 펌프용 새로운 Edwards 배기 체크 밸브, KF 40 연결 플랜지
이러한 Edwards 진공 펌프 배기 체크 밸브는 일반적으로 전원이 꺼진 동안 공기가 펌프를 통해 역류하는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 이는 단순히 일방향 밸브이며 역방향 공기 흐름을 억제하도록 설계되었습니다. 이러한 체크 밸브 중 하나를 설치하더라도 펌프는 결국 대기압으로 증가합니다. 이러한 체크 밸브는 큰 공기 돌진으로 인해 공정 분말이 뒤로 쓸려가는 것을 방지하려는 노력에 도움이 됩니다. 이 제품은 일반적으로 Edwards 건식 반도체 펌프, iH, QDP 및 iQDP 건식 펌프에 사용됩니다.