이상적인 진공 가스 실린더 혼합 어셈블리, 304L 스테인레스 스틸 실린더, Matheson 3530A 단일 스테이지 조절기 실린더 등급: DOT-3E-1800, 304L 스테인레스 스틸 이상적인 진공 가스 실린더 혼합 어셈블리는 다양한 응용 분야에서 공정 가스의 혼합을 단순화하도록 설계되었습니다. . 가스 조절기 및 가스 조절기 퍼지 밸브 어셈블리가 완비된 이 시스템은 고압 니들 밸브(최대 6000PSI)를 사용하여 혼합 실린더로의 가스 흐름을 정밀하게 제어합니다. 이 시스템에 장착된 실린더는 304L 스테인리스 스틸이고 벽 두께가 2.4mm이며 권장 최대 1800PSI(@ 37°C)까지 가압할 수 있습니다. 내부 PTFE 코팅 또는 내부 전자연마 마감 처리된 실린더도 이 웹사이트에서 제공됩니다. 실린더 최대 압력 등급은 온도에 따라 다릅니다. 실린더에 해당 온도 제한 이상으로 압력을 가하지 마십시오. 퍼지 시스템은 실린더를 사용하지 않는 동안 조절기를 깨끗하게 유지하는 데 중요합니다. 부식성 가스가 혼합되면 결국 조절기의 씰이 침식되어 시간이 지남에 따라 작동하지 않게 됩니다. 이를 방지하기 위해 퍼지 조립 라인을 불활성 가스 실린더와 진공 펌프에 연결할 수 있습니다. 레귤레이터의 수명을 크게 연장하려면 어느 정도의 부식성 물질이 포함된 혼합 어셈블리를 사용한 후에는 불활성 가스로 레귤레이터를 여러 번 비우고 퍼지하는 것이 좋습니다. 잠재적 응용 분야는 다음과 같습니다: 질량 분석기 잔류 가스 분석기(RGA) 테스트 기체 상 크로마토그래피 인큐베이터 가스 혼합물 저장 반도체 가스 샘플링 레이저 분광학 전구체 전달 외기권 시료 저장 화학 가스용 가스 충전 레이저 일반 가스 혼합 및 저장 응용 분야

이상적인 진공 가스 실린더 혼합 어셈블리, 304L 스테인레스 스틸 실린더, Matheson 3530A 단일 단계 조절기 실린더 등급: DOT-3E-1800 이상적인 진공 가스 실린더 혼합 어셈블리는 다양한 응용 분야에서 공정 가스의 혼합을 단순화하도록 설계되었습니다. 가스 조절기 및 가스 조절기 퍼지 밸브 어셈블리가 완비된 이 시스템은 고압 니들 밸브(최대 6000PSI)를 사용하여 혼합 실린더로의 가스 흐름을 정밀하게 제어합니다. 이 시스템에 장착된 실린더는 304L 스테인리스 스틸이고 벽 두께가 2.4mm이며 권장 최대 1800PSI(@ 37°C)까지 가압할 수 있습니다. 내부 PTFE 코팅 또는 내부 전자연마 마감 처리된 실린더도 이 웹사이트에서 제공됩니다. 실린더 최대 압력 등급은 온도에 따라 다릅니다. 실린더에 해당 온도 제한 이상으로 압력을 가하지 마십시오. 퍼지 시스템은 실린더를 사용하지 않는 동안 조절기를 깨끗하게 유지하는 데 중요합니다. 부식성 가스가 혼합되면 결국 조절기의 씰이 침식되어 시간이 지남에 따라 작동하지 않게 됩니다. 이를 방지하기 위해 퍼지 조립 라인을 불활성 가스 실린더와 진공 펌프에 연결할 수 있습니다. 레귤레이터의 수명을 크게 연장하려면 어느 정도의 부식성 물질이 포함된 혼합 어셈블리를 사용한 후에는 불활성 가스로 레귤레이터를 여러 번 비우고 퍼지하는 것이 좋습니다. 잠재적 응용 분야는 다음과 같습니다: 질량 분석기 잔류 가스 분석기(RGA) 테스트 기체 상 크로마토그래피 인큐베이터 가스 혼합물 저장 반도체 가스 샘플링 레이저 분광학 전구체 전달 외기권 시료 저장 화학 가스용 가스 충전 레이저 일반 가스 혼합 및 저장 응용 분야

원자층 증착(ALD) 액체 전구체 증기 전달 실린더 시스템 실린더 볼륨: 150cm3 실린더 등급: DOT-3E-1800 화학 증기 증착(CVD), 금속 유기 공정에서는 액체 전구체에서 기체상 증기의 제어된 전달이 필요합니다. 화학 기상 증착(MOCVD) 및 원자층 증착(ALD). 이러한 액체 증기 가스 전달 실린더에는 버퍼 가스 흐름에 전구체 증기를 포함하는 데 도움이 되는 통합 버블러가 포함되어 있습니다. 이러한 증기 전달 실린더는 흡입구와 배출구에 ¼회전 볼 밸브가 있는 내화학성 316 스테인리스 스틸로 만들어졌습니다. 실린더는 최대 1800 PSI(@ 37°C)의 압력을 견딜 수 있는 등급입니다. 실린더 최대 압력 등급은 온도에 따라 다릅니다. 각각의 온도 한계를 초과하여 실린더에 압력을 가하지 마십시오. 흐름 방향은 각 밸브에 인쇄되어 있습니다. 버퍼 가스가 증착 공정을 향해 올바른 방향으로 흐를 때 실린더 바닥에 기포가 형성되어 전구체 액체를 통해 상승합니다. 이는 일반적으로 헬륨, 네온 또는 아르곤인 버퍼 가스에서 희석된 전구체 증기의 일정하고 안정된 흐름을 허용합니다. 이러한 액체 전구체 증기 전달 가스 실린더는 전구체의 증기압 및 농도를 제어하기 위해 가열되거나 냉각될 수 있습니다. 이를 통해 정확한 유량 농도가 생성될 수 있습니다. 입구 및 출구 밸브는 ¼인치 Swagelok® 피팅 볼 밸브이며 자연발화성 액체용 등급이 아닙니다. 인화성이 높은 자연 발화성 액체를 사용한 ALD 적용을 위해 당사의 전달 실린더는 안전성 향상을 위해 다이어프램 밸브로 업그레이드되어 트리메틸 알루미늄(TMA), 트리에틸 알루미늄(TEA), 디에틸 아연(DEZn) 및 트리메틸 갈륨과 같은 자연 발화성 액체에 적용 가능해졌습니다. (TMGa). Swagelok-TM Swagelok 회사