원자층 증착(ALD) 액체 전구체 증기 전달 실린더 시스템
실린더 볼륨: 150cm 3
실린더 등급: DOT-3E-1800 화학 기상 증착(CVD), 금속 유기 화학 기상 증착(MOCVD) 및 원자층 증착(ALD) 공정에서는 액체 전구체로부터 가스상 증기의 제어된 전달이 필요합니다. 이러한 액체 증기 가스 전달 실린더에는 버퍼 가스 흐름에 전구체 증기를 포함하는 데 도움이 되는 통합 버블러가 포함되어 있습니다. 이러한 증기 전달 실린더는 흡입구와 배출구에 ¼ 회전 볼 밸브가 있는 내화학성 316 스테인리스 스틸로 만들어졌습니다. 실린더는 최대 1800 PSI(@ 37°C)의 압력을 견딜 수 있는 등급입니다.
실린더 최대 압력 등급은 온도에 따라 다릅니다. 각각의 온도 한계를 초과하여 실린더에 압력을 가하지 마십시오.
흐름 방향은 각 밸브에 인쇄되어 있으며, 버퍼 가스가 증착 공정을 향해 올바른 방향으로 흐를 때 실린더 바닥에 기포가 형성되어 전구체 액체를 통해 상승합니다. 이는 일반적으로 헬륨, 네온 또는 아르곤인 버퍼 가스에서 희석된 전구체 증기의 일정하고 안정적인 흐름을 허용합니다. 이러한 액체 전구체 증기 전달 가스 실린더는 전구체의 증기압 및 농도를 제어하기 위해 가열되거나 냉각될 수 있습니다. 이를 통해 정확한 유량 농도가 생성될 수 있습니다.
입구 및 출구 밸브는 ¼인치 Swagelok® 피팅 볼 밸브이며 자연발화성 액체용 등급이 아닙니다. 인화성이 높은 자연 발화성 액체를 사용한 ALD 적용을 위해 당사의 전달 실린더는 안전성 향상을 위해 다이어프램 밸브로 업그레이드되어 트리메틸 알루미늄(TMA), 트리에틸 알루미늄(TEA), 디에틸 아연(DEZn) 및 트리메틸 갈륨과 같은 자연 발화성 액체에 적용 가능해졌습니다. (TMGa).
Swagelok-TM Swagelok 회사