Edwards GX100L 건식 진공 펌프, 62 CFM 200-230V 50/60Hz, 3.75mtorr. 최종 압력 Edwards 부품 번호 A54710958 Edwards GX 건식 진공 펌프 시리즈는 주요 정밀 검사 사이에 유지 관리가 필요 없다는 새로운 표준을 설정합니다. 효율성이 향상되면 소유 비용이 낮아지고 압력 범위 전체에 걸쳐 지속적인 펌핑 기능이 제공됩니다. GX 드라이펌프에는 웹 페이지를 통해 주요 데이터를 볼 수 있는 이더넷 연결은 물론 지속적인 펌프 가용성을 보장하는 포괄적인 네트워킹 옵션 세트가 포함되어 있습니다. GX 펌프는 청정 프로세스부터 중간 부하 프로세스까지의 응용 분야를 처리하기 위해 다양한 최고 속도와 변형으로 제공됩니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 개별 제조공장 요구 사항에 맞게 GX 건식 펌프를 구성할 수 있습니다. 초소형 설치 공간으로 인해 온툴, 근접 또는 원격 설치 옵션이 가능합니다. 더 많은 사양과 옵션을 보려면 AVAILABLE DOWNLOADS(사용 가능한 다운로드)로 스크롤하여 datasheet.pdf를 다운로드하세요. 이 Edwards GX100L 건식 반도체 진공 펌프는 새 제품이며 Edwards 부품 번호 A547-10-958(A54710958)입니다.

Edwards iGX100L 건식 진공 펌프, 62 CFM 200-230V 50/60Hz, 3.75mtorr. 최종 압력 Edwards 부품 번호 A54610958 Edwards iGX 건식 진공 펌프 시리즈는 주요 정밀 검사 사이에 유지 관리가 전혀 필요하지 않은 새로운 표준을 설정합니다. 효율성이 향상되면 소유 비용이 낮아지고 압력 범위 전체에 걸쳐 지속적인 펌핑 기능이 제공됩니다. iGX 드라이펌프에는 웹 페이지를 통해 주요 데이터를 볼 수 있는 이더넷 연결은 물론 지속적인 펌프 가용성을 보장하는 포괄적인 네트워킹 옵션 세트가 포함되어 있습니다. iGX 펌프는 청정 공정부터 중간 부하 공정까지의 응용 분야를 처리하기 위해 다양한 최고 속도와 변형으로 제공됩니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 개별 공장 요구 사항에 맞게 iGX 건식 펌프를 구성할 수 있습니다. 초소형 설치 공간으로 인해 온툴(on-tool), 근접 또는 원격 설치 옵션이 가능합니다. 더 많은 사양과 옵션을 보려면 AVAILABLE DOWNLOADS(사용 가능한 다운로드)로 스크롤하여 datasheet.pdf를 다운로드하세요. 이 Edwards iGX100L 건식 반도체 진공 펌프는 새 제품이며 Edwards 부품 번호 A546-10-958(A54610958)입니다.

Edwards iGX100M 건식 진공 펌프, 62 CFM 200-230V 50/60Hz, 3.75mtorr. 최대 압력 Edwards 부품 번호 A54612958 Edwards iGX 건식 진공 펌프 시리즈는 주요 정밀 검사 사이에 유지 관리가 필요하지 않은 새로운 표준을 설정합니다. 효율성이 향상되면 소유 비용이 낮아지고 압력 범위 전체에 걸쳐 지속적인 펌핑 기능이 제공됩니다. iGX 드라이펌프에는 웹 페이지를 통해 주요 데이터를 볼 수 있는 이더넷 연결은 물론 지속적인 펌프 가용성을 보장하는 포괄적인 네트워킹 옵션 세트가 포함되어 있습니다. iGX 펌프는 청정 공정부터 중간 부하 공정까지의 응용 분야를 처리하기 위해 다양한 최고 속도와 변형으로 제공됩니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 개별 공장 요구 사항에 맞게 iGX 건식 펌프를 구성할 수 있습니다. 초소형 설치 공간으로 인해 온툴(on-tool), 근접 또는 원격 설치 옵션이 가능합니다. 더 많은 사양과 옵션을 보려면 AVAILABLE DOWNLOADS(사용 가능한 다운로드)로 스크롤하여 datasheet.pdf를 다운로드하세요. 이 Edwards iGX100M 건식 반도체 진공 펌프는 새 제품이며 Edwards 부품 번호 A546-12-958(A54612958)입니다.

새 Edwards iGX100M 건식 진공 펌프, 62 CFM 380-460V 50/60Hz, 3.75 mtorr. 최종 압력 Edwards 부품 번호 A54612959 Edwards iGX 건식 진공 펌프 시리즈는 주요 정밀 검사 사이에 유지 관리가 필요하지 않은 새로운 표준을 설정합니다. 효율성이 향상되면 소유 비용이 낮아지고 압력 범위 전체에 걸쳐 지속적인 펌핑 기능이 제공됩니다. iGX 드라이펌프에는 웹 페이지를 통해 주요 데이터를 볼 수 있는 이더넷 연결은 물론 지속적인 펌프 가용성을 보장하는 포괄적인 네트워킹 옵션 세트가 포함되어 있습니다. iGX 펌프는 청정 공정부터 중간 부하 공정까지의 응용 분야를 처리하기 위해 다양한 최고 속도와 변형으로 제공됩니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 개별 공장 요구 사항에 맞게 iGX 건식 펌프를 구성할 수 있습니다. 초소형 설치 공간으로 인해 온툴(on-tool), 근접 또는 원격 설치 옵션이 가능합니다. 더 많은 사양과 옵션을 보려면 AVAILABLE DOWNLOADS(사용 가능한 다운로드)로 스크롤하여 datasheet.pdf를 다운로드하세요. 이 Edwards iGX100M 건식 반도체 진공 펌프는 새 제품이며 Edwards 부품 번호 A54612959(A546-12-959)입니다.

Edwards GX, iGX, iXH, iXM 및 iXL 펌프 디스플레이 터미널, 5Way, XLR 플러그, 휴대용 키패드 디스플레이 모듈. Edwards 부품 번호: D37280700 Edwards GX, iGX, iXH, IXM 및 iXL 펌프 디스플레이 터미널 5방향 XLR 플러그. 5방향 XLR 연결이 가능한 Edwards GX, iGX 및 iXL120 시리즈 건식 펌프 시스템용 휴대용 디스플레이. Edwards 진공 부품 번호 D37280700.

Edwards GXS 습식 공정 소음기 후면 수평 장착 키트 이 키트에는 M58808162 소음기 어셈블리가 포함되어 있지 않으며 장착 키트만 포함되어 있습니다. 이것은 Edwards GXS 소음기 후면 수평 장착 키트입니다. GXS 모델 펌프 후면에 Edwards GXS Wet Process 소음기를 수평으로 장착하는 데 필요한 모든 것이 함께 제공됩니다. Edwards 소음기 모델 번호 M58808162에만 적합합니다.

Edwards GX 및 iGX 펌프 전기 플러그 입력 전원 연결 키트, 3상 전원, D37370833 이것은 Edwards GX 및 iGX 펌프 전기 플러그 입력 전원 연결 키트, 3상 전원, Edwards 진공 부품 번호 D37370833입니다.

새로운 Edwards iGX 건식 펌핑 시스템 배기 엔클로저 키트 프로세스(N 및 M)용 체크 밸브 Edwards PN A507-44-000, A50744000 이는 배기 배출구용 체크 밸브 키트로, 배기 증기가 흡입되는 것을 방지합니다. Edwards iGX 건식 펌핑 시스템이 종료되었습니다. 체크 밸브는 또한 프로세스 N 및 M에 대한 배기 압력 펄스의 추가 감쇠를 제공합니다. Edwards iGX 건식 펌프 N 및 M 모델용 배기 체크 밸브, 엘보우, 트랩 O 링, 클램프 및 절연 재킷이 포함됩니다.

Edwards GXS 펌프 습식 공정 배기 소음기 GXS 펌핑 시스템에서 발생하는 소음을 줄이는 데 사용되는 소음기에는 습식 공정 배기 소음기와 건식 공정 배기 소음기의 두 가지 유형이 있습니다. 이것은 도장 탄소강으로 제작되고 펌프 처리 중에 생성될 수 있는 액체 또는 미립자를 담도록 설계된 습식 공정 배기 소음기입니다. 습식 공정 소음기는 수평으로 장착되고, 건식 공정 소음기는 수직으로 장착됩니다. 소음기는 분해하지 않고도 배수할 수 있으며 펌프 성능이 저하되는 경우 청소해야 합니다. 측면 또는 후면 위치에 장착할 수 있습니다. 소음기 설치 키트 링크: P108231

Edwards SPI Micro TIM 모듈D37360310SPI Micro TIM 모듈은 Micro TIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards SPI 도구 인터페이스를 제공합니다. SPI Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. SPI Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards MCM Micro TIM 모듈D37360320MCM MicroTIM 모듈은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards MCM 도구 인터페이스를 제공합니다. MCM Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. MCM Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 GXS 시리즈(MCM 버전만) CXS 시리즈(MCM 버전만) 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 예를 들어 인터페이스 모듈을 변경하지 않고도 펌프를 iH에서 iHs로 업그레이드할 수 있습니다. MCM Micro TIM은 GXS 및 CXS 시리즈 펌프와 AUC 호환됩니다. iH iTIM D37422000 - MCM과 동일합니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards TEL Micro TIM 모듈D37360330TEL Micro TIM 모듈은 Micro TIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards TEL 도구 인터페이스를 제공합니다. TEL Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. TEL Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Semi E73 Micro TIM 모듈D37360340Semi E73 Micro TIM 모듈은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Semi E73 호환 도구 인터페이스를 제공합니다. Semi E73 Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Semi E73 Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards LAM Alliance Micro TIM 모듈D37360350LAM Alliance MicroTIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 LAM Alliance 플랫폼에 도구 인터페이스를 제공합니다. LAM Alliance Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. LAM Alliance Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Novellus C3 Micro TIM 모듈D37360360Novellus C3 Micro TIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Novellus C3 플랫폼에 도구 인터페이스를 제공합니다. Novellus C3 Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Novellus C3 Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Hitachi Micro TIM 모듈D37360370Hitachi MicroTIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Hitachi 도구 인터페이스를 제공합니다. Hitachi Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. Hitachi Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

기존의 구식 iH 시리즈 펌프가 있는 도구에 새로운 스타일의 iXL 또는 iXH 시리즈 건식 반도체 펌프를 설치하기 위한 Edwards EMO 케이블. Ideal Vacuum은 기존 스타일의 iH 시리즈 펌프를 IXL120N, iXH100 또는 iXH610 스타일로 교체할 수 있는 자체 인터페이스 케이블을 제공합니다. 이 EMO 케이블링은 반도체 도구의 하위 팹에 여러 개의 기존 스타일 iH 펌프가 부착되어 있는 응용 분야에 유용합니다. 이 인터페이스 모듈 케이블은 기존 스타일의 나머지 iH 펌프와 새로운 스타일의 iXL120N 교체 펌프를 통해 EMO 회로를 계속합니다. 연결 및 다양한 인터페이스 모듈은 아래에 자세히 설명되어 있습니다. 이 케이블은 일반적으로 왼쪽 iH에 있는 iTIM의 P2(출력)에서 iXL120N의 비상 정지(EMS) 커넥터, 오른쪽 iH 펌프에 있는 iTIM의 J1(입력)에 연결됩니다(자세한 내용은 PDF 형식의 애플리케이션 노트 참조). . 문제는 Edwards iH 시리즈 펌프가 이제 단종되어 더 이상 사용할 수 없다는 것입니다. Ideal Vacuum은 교체용 펌프, 로드록용 iXL120N, iXH100(iH80 대체), iXH610(iH600 대체) 등을 보유하고 있습니다. 새로운 iXL120N 펌프에는 기존 IH 펌프처럼 전면에 EMO 버튼이 없습니다(자세한 내용은 애플리케이션 노트 참조). Edwards iTIM은 하위 공장의 단일 반도체 도구에 여러 펌프가 연결된 구형 Edwards iH 시리즈 건식 반도체 진공 펌프로 구성되는 경우가 많습니다. EMO 케이블링은 iH 시리즈 펌프 중 하나에서 EMO를 누르면 도구를 종료하도록 설정되어 있으며 일반적으로 데이지 체인 구성으로 직렬로 케이블링되어 있습니다.