Edwards SPI 마이크로 TIM 모듈
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SPI Micro TIM 모듈은 Micro TIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards SPI 도구 인터페이스를 제공합니다. SPI Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. SPI Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다.
- EPX 시리즈
- iGX 시리즈
- GX 시리즈
- iXH 시리즈
- iXL 시리즈
- 또한 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다.
이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다.
병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.