84FS 터보, ISO63 주입구, IDP3 스크롤 황삭, 랙 연속 기능을 갖춘 Agilent TPS-Flexy 진공 시스템 120V

TPS-flexy: DIY 진공청소기! Twistorr 84 FS Conflat ISO63 흡입구, 랙 컨트롤러 및 IDP3 스크롤 러핑 펌프를 사용하여 통합 터보 펌핑 시스템을 만드십시오. 이는 플러그 앤 펌프 고진공 및 초고진공 시스템입니다. 대기에서 UHV 1x10-9 Torr까지 넓은 펌핑 속도를 갖춘 고용량으로 제공되는 컴팩트하고 신뢰할 수 있는 완전 통합형 진공 솔루션입니다. 이제 혁신적으로 향상된 신뢰성을 갖춘 TwisTorr FS 터보분자 진공 펌프(84FS 또는 304FS)가 제공됩니다. 이 Agilent TPS-Flexy는 120VAC이지만 240VAC 모델도 사용 가능합니다. 시스템을 즉시 가동하고 실행하려면 Flexy Kit와 함께 제공되는 쉬운 조립 지침을 따르십시오.

Flexy Assembly에 대한 동영상을 보려면 아래 더보기 버튼을 클릭하세요.↯

응용 프로그램은 다음과 같습니다:

• UHV 시스템 펌프다운
• 이온펌프 황삭
• 램프 및 튜브 가공
• 크라이오펌프 재생
• 고진공 시스템 작동
• 고진공 및 초고진공 시스템 베이크아웃

이 Agilent Varian TPS-Flexy에는 다음 구성 요소가 포함됩니다.

• Agilent Varian 84 FS TwisTorr 터보 분자 펌프, ISO63 주입구, 49l/s 질소, 부품 번호 X3502-64000
• Agilent Varian 84 랙 컨트롤러, PN X3508-64001
• 랙 및 온보드 컨트롤러용 Agilent Varian 공기 냉각 팬 키트, PN 9699290
• Agilent Varian IDP3 120V 건식 스크롤 러핑 펌프, PN IDP3B01
• ISO63 흡입 스크린, 부품 번호 x3502-68001
• AC 전원 코드, 3미터, 부품 번호 9699958

이 Agilent Varian TPS-Flexy는 플러그를 꽂고 펌프다운만 하면 되는 완전한 독립형 진공 시스템입니다. 필요한 것은 챔버나 진공 프로세스에 연결하는 데 필요한 하드웨어와 압력 게이지뿐입니다.

Agilent Varian 84 FS 터보분자 진공 펌프에 대한 참고 사항
Agilent Varian TwisTorr 84 FS 터보분자 고진공 펌프는 이전 V-81M, V-81T 터보 펌프에 비해 새롭고 놀라운 개선 사항을 제공합니다. 이러한 개선 사항에는 Twistorr 드래그 스테이지 기술과 Agilent Floating Suspension이 포함됩니다. TwisTorr 드래그 스테이지는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해 높은 압축비를 생성하여 높은 처리량과 포라인 압력에 대한 높은 내성을 제공함으로써 더 작고 경제적인 배압 펌프를 사용할 수 있도록 합니다. 이 기술을 통해 에너지 효율적이고 낮은 작동 온도를 유지하는 컴팩트한 로터 설계가 가능해졌습니다. 애질런트 플로팅 서스펜션 시스템은 소음과 진동을 줄이고 최적의 베어링 작동 조건을 보장하여 작동 수명을 연장하고 시스템 가동 중지 시간을 최소화하며 시간이 지나도 안정적인 펌핑 성능을 보장합니다. Agilent TwisTorr 84 FS의 고유한 베어링과 건식 윤활 덕분에 오일과 유지 관리가 필요 없으며 펌프가 어떤 방향으로든 작동할 수 있습니다.

Agilent Varian TwisTorr 터보 펌프는 실제 응용 분야에서 최적의 성능을 발휘하도록 설계되었으며 Agilent TPS 벤치 진공 시스템에 잘 통합됩니다. 이러한 새로운 Agilent TwisTorr 84 FS 터보 펌프는 유지보수가 거의 필요하지 않으며 오용으로부터 보호해 줍니다. 이 펌프에는 열 전달을 최적화하고 물 소비량과 소유 비용을 줄이는 구리 수냉 채널이 있습니다. ISO63 흡입 플랜지가 장착된 Agilent Varian TwistTorr 84 FS 터보 펌프는 질소 펌핑 속도가 49l/s이고 KF-16 포어라인 플랜지가 있으며 주변 작동 온도는 5°C ~ +35°C입니다. 이 84 FS 펌프의 시동 시간은 2분 미만, 회전 속도는 81000rpm입니다. 냉각 요구 사항은 주변 공기 온도가 5~35°C인 경우 최소 강제 공기 또는 최소 흐름의 수냉: 65l/h(0.30GPM), 수온은 +15°C~+25°C에서 한 번에 가능합니다. 수압은 45~75psi. TwisTorr 84 FS 터보 펌프에 대한 PDF 사용자 지침 매뉴얼을 아래에서 다운로드할 수 있습니다.

Agilent Varian 84FS AG 랙 컨트롤러에 대한 참고 사항
TwisTorr 84FS AG 랙 컨트롤러는 더 나은 제어 및 통신 기능을 가능하게 하는 새로운 향상된 기능을 갖춘 마이크로프로세서 제어 주파수 변환기입니다. 이는 전 세계적으로 100-240VAC와 완벽하게 호환되도록 설계된 소형 1/4 랙 장치입니다. 이 컨트롤러에는 RS 232/485 연결이 있고, 냉각 팬에 전원을 공급하고, 환기 밸브 제어를 구동하고, Agilent Varian 광범위한 게이지의 압력을 제공 및 획득하고, TwisTorr 84FS 시리즈 터보 펌프의 펌프 작동 매개변수를 제어합니다. 또한 자가 진단 및 보호 기능도 포함되어 있습니다. 이 컨트롤러는 10-3 ~ 10-9 Torr까지 측정되는 애질런트 활성 게이지를 자동으로 인식합니다. TwisTorr 84 FS AG 컨트롤러에 대한 PDF 사용자 사용 설명서를 아래에서 다운로드할 수 있습니다. 판막. 판막.
Agilent Varian IDP3 건식 스크롤 러핑 펌프에 대한 참고 사항
Agilent Varian IDP-3 건식 스크롤 진공 펌프는 경제적인 오일 프리 진공을 제공하는 소형 고성능 건식 펌프입니다. TPS 벤치 시스템과 쉽게 통합되며 다양한 응용 분야에 적합합니다. Agilent Varian IDP-3은 모터와 베어링이 진공 공간 외부에 있는 혁신적인 밀폐형 설계를 채택하여 펌핑된 모든 가스를 완전히 격리할 수 있습니다. IDP-3 스크롤 펌프에는 전원을 끌 때 대기로의 급격한 누출을 방지하기 위해 배기 밸브가 제공됩니다. 그러나 모든 진공 펌프는 전원이 꺼지면 흡입 라인 압력이 약간 증가합니다. 펌프가 꺼지면 소량의 펌프 잔해물이 진공 라인이나 챔버로 다시 운반될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 IDP3에는 전원이 꺼지면 자동으로 닫혀 이러한 오염을 제거하는 외부 유입 차단 밸브가 장착되어 있습니다. IDP3은 60l/m(2.1CFM)의 강력한 펌핑 속도와 2.5x10-1Torr 미만의 매우 낮은 기본 압력을 제공합니다. Agilent Varian IDP-3은 Agilent Varian의 특허 스크롤 펌프 기술의 모든 장점을 작고 가벼우며 비용 효과적인 패키지로 제공합니다. IDP-3용 사용자 친화적 교체 팁 씰 재구성 키트는 이 웹사이트 PN P102813에서 제공됩니다. IDP-3의 PDF 사용자 사용 설명서는 아래에서 다운로드할 수 있습니다.