Agilent Varian Conflat Turbo CF 6인치 주입구 스크린, 스플린터 쉴드, 터보 펌프를 이물질로부터 보호하는 데 사용됩니다.
Agilent Varian 부품 번호 PN 9699302. 이러한 Agilent Varian 주입구 스크린은 Conflat CF 6인치 흡입 플랜지가 있는 TwisTorr 305 FS 및 305-IC(통합 컨트롤러) 터보 분자 진공 펌프를 보호하도록 설계되었습니다. 이러한 터보 흡기 스플린터 실드는 펌프를 이물질로부터 보호하는 데 도움이 되며 Agilent Varian 부품 번호는 969-9302입니다.