Agilent Varian TPS 모바일 진공 시스템(74FS 터보, ISO63 주입구, 모바일 카트에 IDP-07 건식 스크롤 펌프 포함)

이러한 Agilent Varian TPS 모바일 시스템에는 펌핑 속도가 60l/s인 Agilent 74 FS 터보 펌프, ISO-63K 흡입 플랜지, IDP-7 건식 스크롤 러핑 펌프 및 74-FS AG 랙 마운트 컨트롤러가 함께 제공됩니다. 이 제품은 플러그 앤 플레이 방식으로 완전 독립형 초고진공 펌핑 시스템으로, 플러그를 꽂고 펌프다운만 하면 됩니다. 필요한 것은 챔버나 진공 프로세스에 연결하는 데 필요한 하드웨어와 압력 게이지뿐입니다. CF 플랜지가 장착된 Agilent 74 FS 터보 펌프는 최종 압력이 10-10 Torr 범위인 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(전체 금속 흡입 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버가 완전히 깨끗하고 구워진 경우). 밖으로). ISO-K 플랜지가 장착된 Agilent 74 FS 터보 펌프는 (고무/탄성중합체 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해) 최종 압력이 10-8 Torr 범위로 제한됩니다. 이 펌프의 흡입 플랜지(CF 플랜지만 해당)는 터보가 수냉식일 때 최대 100°C까지 구워질 수 있습니다.

응용 프로그램은 다음과 같습니다:

• UHV 시스템 펌프다운
• 이온펌프 황삭
• 램프 및 튜브 가공
• 크라이오펌프 재생
• 고진공 시스템 작동
• 고진공 및 초고진공 시스템 베이크아웃

이 Agilent Varian TPS-mobile에는 다음 구성 요소가 포함됩니다.

• Agilent Varian 74 FS TwisTorr 터보 분자 펌프, ISO-63 주입구, 60l/s 질소
• Agilent Varian 74 AG FS 랙 컨트롤러
• 랙 컨트롤러용 Agilent Varian 공기 냉각 팬 키트
• Agilent Varian IDP-07 건식 스크롤 러핑 펌프
• 스크린이 있는 ISO63 입구
• 바퀴가 있고 펌프 높이 조절이 가능한 이동식 카트
• AC 전원 코드, 3미터

Agilent Varian 74 FS 터보분자 진공 펌프에 대한 참고 사항
이러한 Agilent Varian TwisTorr 74-FS 터보분자 고진공 펌프는 최적화된 열 설계 매핑과 함께 새롭게 설계된 미로 Twistorr 드래그 스테이지 기술과 AFS(Agilent Floating Suspension)를 포함하여 새롭고 향상된 성능을 제공합니다. TwisTorr 드래그 스테이지는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해 높은 압축비를 생성하여 높은 처리량과 포라인 압력에 대한 높은 내성을 제공함으로써 더 작고 경제적인 배압 펌프를 사용할 수 있도록 합니다. 이 기술을 통해 에너지 효율적이고 낮은 작동 온도를 유지하는 컴팩트한 로터 설계가 가능해졌습니다. 애질런트 플로팅 서스펜션 시스템은 소음과 진동을 줄이고 최적의 베어링 작동 조건을 보장하여 수명을 연장하고 시스템 가동 중지 시간을 최소화하며 장기간 안정적인 펌핑 성능을 보장합니다. 영구 윤활 기능이 있는 독특한 세라믹 볼 베어링은 오일과 유지 관리를 필요로 하지 않으며 어떤 방향에서도 펌프 작동이 가능합니다. 애질런트 터보 펌프는 컴팩트한 크기가 공간 요구 사항이 엄격한 산업의 요구 사항을 충족하는 실제 응용 분야에서 최적의 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 이러한 새로운 Agilent TwisTorr 74 FS 터보 펌프는 유지보수가 거의 필요하지 않습니다. TwisTorr 74 FS 터보 펌프에 대한 PDF 사용자 지침 매뉴얼을 아래에서 다운로드할 수 있습니다.

Agilent Varian 74FS AG 랙 컨트롤러에 대한 참고 사항
TwisTorr 74FS AG 랙 컨트롤러는 더 나은 제어 및 통신 기능을 가능하게 하는 새로운 향상된 기능을 갖춘 마이크로프로세서 제어 주파수 변환기입니다. 이는 전 세계적으로 100-240VAC와 완벽하게 호환되도록 설계된 소형 1/4 랙 장치입니다. 이 컨트롤러에는 RS 232/485 연결이 있고, 냉각 팬에 전원을 공급하고, 배기 밸브 제어를 구동하고, Agilent Varian 광범위한 게이지의 압력을 제공 및 획득하고, TwisTorr 74FS 시리즈 터보 펌프의 펌프 작동 매개변수를 제어합니다. 또한 자가 진단 및 보호 기능도 포함되어 있습니다. 이 컨트롤러는 10-3 ~ 10-9 Torr까지 측정되는 애질런트 활성 게이지를 자동으로 인식합니다. TwisTorr 74 FS AG 컨트롤러에 대한 PDF 사용자 사용 설명서는 아래에서 다운로드할 수 있습니다.

IDP-7 건식 스크롤 러핑 펌프에 대한 참고 사항
새로운 Agilent Varian IDP-07 건식 스크롤 진공 펌프는 55dBA 미만의 매우 조용하고 진동이 적은 작동을 위해 설계되었으며, 60Hz에서 5.4cfm(9.1m3/h)의 최고 펌핑 속도를 제공하고 20mTorr의 최종 압력을 생성합니다. . 새로운 Agilent IDP-07 건식 스크롤 펌프는 밀봉되어 있으며 헬륨 재순환은 물론 진공 오븐 및 배킹 펌프 응용 분야에도 적합합니다. 밀폐형 설계는 펌프를 통해 깨끗한 가스 경로를 제공하여 오일이나 그리스 오염의 위험을 제거하여 모터와 베어링이 대기압에서 작동하고 진공 공정 가스나 수증기에 노출되지 않도록 차단합니다. Agilent IDP-07은 50/60Hz에서 100-120V 또는 200-230 VAC 사이에서 쉽게 전환되는 작동 전압 범위를 위한 글로벌 단상 모터를 지원합니다. IDP-7에 대한 PDF 사용자 사용 설명서는 측면에서 다운로드할 수 있습니다.