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예어       부품 번호:      

× 진공펌프 모듈형 진공 챔버 스테인레스 스틸 진공 챔버 이상 용접 알루미늄 챔버 ExploraVAC 무제한 챔버 ExploraVAC 진공 챔버 피팅 및 플랜지 피드스루 진공 밸브 재구축 키트, 부품, 모터 진공 유체, 오일 및 그리스 터보 펌프 및 컨트롤러 필터 트랩 소음기 대류 및 진공 오븐 누출 감지 및 RGA 진공 압력 측정 재순환 냉각기 및 수조
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Agilent Varian VHS-6 수냉식 확산 펌프 ISO-200K, 9.5인치 OD, 외부 캡, 208V 2200W, L6193316

상태:
  새로운
부품 번호:
  P106800
보증:
  Varian Warranty

지금 이용 가능   1  

₩13,475,828.50

~에 판매: ₩12,128,248.43

Agilent Varian VHS-6 수냉식 확산 펌프 ISO-200K, 9.5인치 OD, 외부 캡, 208V 2200W, L6193316 12128248.43
통화: South Korean Won (KRW)

설명

Agilent Varian VHS-6 수냉식 진공 확산 펌프, ISO 200K 주입구 플랜지, 9.5인치 OD, 최대 펌핑 속도 2400l/s
확장 콜드 캡, 208VAC 2200W 히터, Agilent Varian 부품 번호 L6193316.

Agilent Varian VHS-6은 높은 펌핑 속도가 필요하고 공간 제약이 있어 소형 펌프가 필요한 응용 분야의 특별한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. VHS-6 펌프는 작동 범위가 2 x 10-3 ~ <5 x 10-9 Torr인 견고한 범용 장치입니다. Agilent Varian VHS-6은 높은 펌핑 속도(최대 정격 2400l/s) 공기와 높은 압력 허용 오차(무부하 시 0.65Torr, 최대 가스 부하 시 0.55Torr)로 인해 빠른 사이클링이 필요한 응용 분야에 이상적입니다. . 장치의 역류 속도는 냉각된 콜드 캡을 사용하지 않고 1x10-4 mg/cm 2 / min입니다.

이 Agilent Varian VHS-6 확산 펌프에는 다음이 포함됩니다.
  • ISO 200K 입구 플랜지 구멍 없음 결합을 위해 LF ISO 클로 클램프 사용
  • KF50 출구 포어라인 플랜지
  • 확장된 콜드캡
  • 2400 l/s 최대 펌핑 속도 공기
  • 208VAC @ 2200W 히터
  • Santovac 5 확산 펌프 오일과 함께 사용하도록 설계됨
확산 펌프는 고속 증기 제트를 사용하여 펌프 스로트의 가스 분자를 펌프 바닥과 배출구로 보냅니다. 오일 확산 펌프는 증기압이 낮은 오일로 작동됩니다. 그 목적은 용적형 펌프만 사용하여 가능한 것보다 더 높은 진공(낮은 압력)을 달성하는 것입니다. Agilent Varian VHS-6은 <5x10-9 Torr의 압력까지 펌프다운할 수 있습니다. 확산 펌프는 대기 중으로 직접 배출할 수 없으므로 일반적으로 기계식 전펌프, 러핑 펌프를 사용하여 배출구 압력을 약 1mTorr로 유지합니다.

Agilent Varian 확산 펌프는 신뢰성이 매우 높고 설계가 단순하며 소음이나 진동 없이 작동합니다. 확산 펌프는 여전히 고진공 압력을 생성하는 가장 경제적인 수단입니다. 또한 확산 펌프는 다른 유형의 고진공 펌프를 파괴할 수 있는 과잉 입자 및 반응성 가스와 같은 작동 조건을 견딜 수 있습니다. 단상 115, 208, 240VAC 히터 하니스와 표준 또는 확장 콜드 캡과 함께 주문할 수 있습니다. 우리는 이 펌프용 Santovac 5 확산 펌프 유체를 비축 및 판매합니다. 진공 응용 분야 및 유지 관리 요구 사항에 도움이 될 수 있는 추가 액세서리는 아래 "관련" 섹션을 참조하십시오. 당사는 이 웹사이트에서 별도로 판매되는 다양한 진공 그리스, 오일, 진공 피팅, 호스, 진공 게이지, 센서/트랜듀서, 부품 및 액세서리를 제공합니다.

이러한 Agilent Varian VHS-6 확산 펌프에는 ISO 200K 흡입 플랜지가 있고 단상 208 VAC에서 작동하며 확장형 콜드 캡이 있으며 Agilent Varian 부품 번호 L6193316이 있습니다. Agilent Varian VHS-6 확산 펌프 사용자 사용 설명서는 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다. 이는 주문한 당일 배송되는 경우가 많은 일반적인 재고 품목입니다.


소책자

Specifications
Specification Value
Pumping Speed, Operating Range 1500 l/s air, 1,930 l/s He/H₂
Maximum Pumping Speed 2,400 l/s air w/standard cold cap; 950 w/extended cold cap
Maximum Throughput 2.4 T-l/s (3.2 mbar-l/s) in operating range, 3.5 T-l/s (4.5 mbar-l/s) @ 0.01 Torr
Operating Range 1.5x10⁻³ to < 5x10⁻⁹ Torr (2.10 x 10⁻³ < 6.5 x 10⁻⁹ mbar)
Maximum Forepressure No Load: 0.65 Torr (0.85 mbar)
Full Load: 0.55 Torr (0.72 mbar)
Recommended Backing Pump ≥ 17 cfm (29 m³/hr)
Backstreaming Rate < 5x10⁻⁴ mg/cm²/min (with standard cold cap)
Warmup Time 10 minutes
Cooldown Time 10 minutes (with quick cool coil)
Fluid Charge 500 cc - exact fluid charge available
Electrical Requirements 1 ph, 50/60 Hz, 120/208/240 VAC
Pump Power 2,200 Watts
Cooling Water Requirements 0.25 gpm (50 l/h) at 60-80 °F (15-26 °C)
Water Connections ⅛ in. FPT Tee

VHS-6 Diffusion Pump Replacement Parts List

Description Part No. Item
Standard Cold Cap Assembly 86488301 1
Extended Cold Cap Assembly F6455001 2
Sight Glass Repair Kit consisting of: L8908301 3
   Sight Glass L8816001 5.1
   Gasket, Teflon L9694001 5.1
   O-ring, Viton, Parker No. 2-113 CommI 5.1
   O-ring, Viton, Parker No. 2-226 CommI 5.1
Jet Assembly F3365301 4
Splash Baffle F4780301 5
Foreline Baffle Assembly L9172301 6
Thermal Switch Includes: L8912301 7
   Switch (set at 300 °F – 147 °C) 642906025 7a
   Lug 648056680 7b
   Wire 656179100 5.1
   Box Insulator 89867001 7d
Heaters (one heater required per pump) 8
   120 V / 2200 watt Heater Element 647306125 5.1
   208 V / 2200 watt Heater Element 647306175 5.1
   240 V / 2200 watt Heater Assembly 647306225 5.1
VHS-4 heater wire, 10 AWG, 24 inches (3 per pump required) X3901-68001 9
Lugs, Replacement, nickel 648056680 10
Heater Clamping Plate 86086301 11
Heater Insulation 86087001 12
Baffle Retaining Ring 699992156 13
O-Ring Kit includes: K0377184 14
   3 Butyl inlet flange O-ring, Parker No. 2-258 5.1
   10 Viton fill and drain O-rings (old style), Parker No. 2-112 5.1
   10 Viton fill and drain O-rings (new style, Parker No. 2-113 5.1
   1 Sight glass O-ring, Parker No. 2-226 5.1
   1 PTFE gasket 5.1
Screw, Rd hd machine, no. 8-32x31/416, stainless steel Screw 15
Stud, no. 8-32 x 1/2, stainless steel Stud 16
Screw, Socket hd cap, no. 8-32x11/44, stainless steel Screw 17
Centering ring for ISO inlet flange, 160K IC160SV 18
Centering ring for ISO foreline flange, KF40 KC40SV 19
Santovac 5 diffusion pump fluid, 500 cc 695405005
Installation and Operation Manual 699901021
Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
문의하기
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 뉴 멕시코 87109-5805 USA

핸드폰: (505) 872-0037
팩스: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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