Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 10 SCCM KF-16 x M12, 대부분의 중형 애질런트 터보분자 진공 펌프에 적합합니다.
Agilent Varian 부품 번호 PN: 969-9239. 이러한 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 10 SCCM 유량, KF-16 플랜지형 가스 공급 장치를 갖추고 있으며 M12 배출 포트 나사산이 있는 대부분의 중간 크기 터보분자 진공 펌프와 함께 작동하도록 설계되었습니다. 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9239가 있습니다.
다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.
- 트위스토 74FS
- 트위스토 84FS
- 트위스토 305FS
- 트위스토 305-IC
- 트위스토르 404 FS
- 트위스토 704FS
- 트위스토 804 FS
- 터보-V 1001