Agilent Varian 티타늄 승화 펌프(TSP) 필라멘트 교체, 게터블 가스, OD ConfFlat 플랜지에서 2.75(2-3⁄4). Agilent Varian 부품 번호 9160050 TSP 카트리지는 2-3⁄4인치 OD ConFlat 플랜지로 제공되며 각각 1.1g의 사용 가능한 티타늄을 포함하는 3개의 티타늄-몰리브덴 필라멘트를 포함합니다. 카트리지 어셈블리는 최대 400°C까지 구울 수 있습니다. 티타늄 승화 펌프(TSP)는 일반적으로 UHV 시스템에서 수소 및 질소와 같은 게터링 가능한 가스를 펌핑하는 효과적인 방법으로 사용됩니다. 이온 펌프는 아르곤 및 메탄과 같은 얻을 수 없는 UHV 가스에 효과적이기 때문에 TSP는 종종 이온 펌핑과 결합됩니다. TSP는 이온펌프 내부에 추가하거나 별도의 펌핑 장치로 추가할 수 있습니다. TSP를 액체질소 냉각 크라이오패널과 함께 사용하면 매우 높은 물 펌핑 속도를 얻을 수 있습니다.
Varian은 필라멘트 소스와 티타늄 볼 소스라는 두 가지 유형의 티타늄 승화 펌프를 제공합니다. 필라멘트형 TSP 소스는 승화 사이에 꺼질 수 있어 열로 인한 가스 방출을 추가하지 않기 때문에 UHV 시스템에서 가장 많이 사용됩니다. 볼형 소스에는 더 많은 양의 티타늄이 포함되어 있어 더 높은 작동 압력과 같이 더 많은 티타늄을 사용하는 조건에서 작동할 때 수명이 길어집니다. 그러나 볼 소스는 티타늄 볼에 크랙이 발생하는 것을 방지하기 위해 승화 간 대기전력이 필요하다. 티타늄 승화 펌핑 효율에 영향을 미치는 요소에는 승화 속도, 주파수, 표면적 및 온도가 포함됩니다. 승화 펌핑 속도는 일반적으로 10 -7 mbar 미만의 일정한 값입니다.