Bruker DektakXT-A 스타일러스 프로파일로미터, DXT 표면 프로파일 측정 시스템. 이 Bruker DektakXT® 스타일러스 프로파일로미터는 3D 자동 표면 매핑 및 분석 기능을 갖춘 고급 스타일러스 프로파일로미터(DXT-A)로, 최대 200mm 스캔을 위한 스티칭이 포함됩니다. 혁신적인 벤치탑 디자인을 특징으로 하며, 4Å의 탁월한 반복성과 최대 40%의 스캐닝 속도 향상을 실현합니다. 정확한 계단 높이 및 표면 거칠기 측정을 수집하는 데 필요한 모든 기능 외에도.
이 DektakXT-A 시스템은 다음을 포함합니다.- Win10 Pro 운영 체제와 Bruker Vision64 소프트웨어가 탑재된 Dell OptiPlex PC
- 4개의 공기 분리형 발
- 6인치 이동 거리의 모터화된 X/Y 스테이지, 모터화된 360도 회전
- 시스템에는 표준으로 2-3, 4-6 또는 8인치 진공 척이 포함됩니다.
- LIS 3, 1~15mg의 힘을 가진 저관성 센서
- 선택 가능한 배율을 갖춘 3.1M픽셀 컬러 카메라
- 스타터 스타일러스(2um 또는 12.5um 선택)
- 55mm 스캔 길이의 광학적으로 평평한 스캔 블록
- 4 Å 단계 높이 반복성, 1um 단계에서 1 시그마
- 최대 200mm 스캔을 위한 스티칭
- 3D 지도 수집 및 광범위한 데이터 분석
- 무제한 위치 수를 갖춘 자동 수집 기능
- 1년 한정 공장 보증
Dektak XT 시설 요구 사항, 치수, 무게 및 열 부하 표 1은 DektakXT 시스템의 시설 요구 사항을 나열합니다. 표 2는 치수, 무게 및 열 부하를 나열합니다. 힘 DXT-110V - 100/115 VAC 작동
100/115 VAC 작동을 위한 전원 구성. 표준 3단자 미국 콘센트를 사용하여 100/115V로 작동하는 미국과 국가에서 작동할 준비가 되었습니다.
환경용 인클로저 DXT-ENC - DXT 환경용 인클로저가 포함되어 있습니다.
컴퓨터 Bruker의 64비트 데스크톱 컴퓨터가 포함되어 있습니다. Dell OptiPlex, Win10 Pro 운영 체제, 3.2GHz 프로세서, Intel Core i5, 4GB(1x4G) 1600MHz DDR3L 메모리, Vision64# 운영 및 분석 소프트웨어가 포함된 500GB 하드 디스크 드라이브.
컴퓨터 모니터 VGA 호환 모니터가 필요합니다. 모니터는 1920x1080 @ 60HZ 해상도를 지원하고 DVI-D 포트를 포함해야 하며 DisplayPort와 호환되어야 합니다. 이 시스템은 모니터와 함께 제공되지 않으며 기본 가격에 포함되지 않습니다. 그러나 요청 시 완전히 새로운 호환 모니터를 청구하여 제공할 수 있습니다.
XY 단계 DXT-AUTO - 모터화 XY 150 X 150MM 스테이지,
R 스테이지 DXT-R-AUTO - 모터화된 R-THETA DXT-S/A 샘플 플래터 옵션 DXT-SET-WVC - 웨이퍼 진공 척 패키지 1,620.00 1,620.00
웨이퍼 진공 척 패키지
이 웨이퍼 진공 척 패키지는 다음으로 구성됩니다: 2-3인치(838-203), 4-6인치(838-189), 8인치(838-195) 웨이퍼 진공 척. 가격은 기본 시스템 가격에 추가됩니다.
스타터 스타일러스
DXT-STYL-2UM-B - 스타일러스, LIS 3, 2UM RAD-TYPE B 2um 반경 스타일러스 팁이 있는 이 스타터 스타일러스는 설치 후 즉시 작동할 수 있도록 이 시스템과 함께 무료로 제공됩니다. 팁의 SEM 이미지는 포함되지 않습니다.
애플리케이션 패키지
DXT-STITCH - 스티칭 기능 Vision64#Stitching 기능을 사용하면 DXT-A 시스템에서 여러 스캔을 스티칭하여 6인치(150mm)의 모터화된 이동을 포함하는 매끄러운 스캔을 생성할 수 있습니다. 실리콘 웨이퍼와 유사한 평탄도의 샘플에서 2D 필름 응력을 측정하는 데 가장 유용합니다. 스티칭 기능은 이 DektakXT Advanced System(DXT-A)에 포함되어 있습니다.
DXT-3D MAP - 3D 매핑 및 분석 기능 Vision64 3D 매핑 기능에는 DXT-A Advanced Systems에서 수집된 3D 맵의 실시간 시각화가 포함됩니다. 3D 매핑은 스티칭을 사용하여 대형 맵을 포함한 모든 크기의 3D 데이터 세트를 생성하는 기능을 제공합니다. 이 기능과 함께 고급 필터링 및 데이터 세트 조작을 위한 Vision64 3D 분석의 전체 제품군을 사용할 수 있습니다.
DXT-2D 응력 - 2D 응력 측정 기능 Vision64 2D 응력 측정 기능은 인장 및 압축 응력을 동시에 계산합니다. 5차 다항식 적합과 사용자가 선택할 수 있는 탄성 상수를 활용하여 2D 응력 기능은 정확한 결과를 얻습니다. 스티칭 기능과 함께 사용하여 DXT-Advanced 시스템에서 평평한 웨이퍼의 더 큰 영역을 측정할 수 있습니다. 웨이퍼 진공 척과 함께 주문한 시스템에는 크롬 볼 베어링과 펜 자석이 포함됩니다.
DXT-AUTOMATION - 자동 측정 수집 Vision64 Automation 기능은 여러 위치에서 라인 스캔 및 3D 맵을 자동으로 수집합니다. 작업자는 자동화 레시피를 사용하여 버튼을 간단히 클릭하여 일련의 분석을 수행할 수 있습니다. 이 DXT-A 표준 기능은 샘플의 여러 위치에서 반복적인 측정이 필요한 생산 QA/QC 환경에서 유용합니다.
고객 설치 키트 DektakXT는 이 키트로 자체 설치가 가능하도록 설계되었습니다. 고객이 시스템 기능의 포장 풀기, 설정 및 초기 검증을 안내하는 교육용 비디오가 제공됩니다. 운영자가 데이터 수집 및 분석을 안내하는 추가 비디오 세트가 제공됩니다. 이 포괄적인 짧은 비디오 세트는 운영자가 DXT 작동을 빠르게 능숙하게 수행할 수 있도록 하며 시스템의 작동 수명 동안 참조로 사용할 수 있습니다.
